3개 타겟 플라즈마 스퍼터링 코터의 자세한 사용법
3타겟 플라즈마 스퍼터링 코터재료 과학, 물리 연구 및 기타 분야에서 널리 사용되는 첨단 장치입니다. 사용자가 이 장치를 올바르고 효과적으로 사용할 수 있도록 하기 위해 자세한 사용 방법은 다음과 같습니다.
I. 장비 준비:
1. 사용 전 반드시 다음 사항을 확인하세요.3타겟 플라즈마 스퍼터링 코터정전기 간섭을 방지하기 위해 올바르게 설치 및 접지되었습니다.
2. 장치의 모든 연결부를 점검하여 단단하고 손상되지 않았는지 확인하세요.
3. 기기의 전원을 켜고 예열합니다. 보통 10~15분 정도 걸립니다.
2세. 작업 프로세스:
1. 샘플 놓기: 처리할 샘플을 장치의 지정된 위치에 놓아 샘플이 단단히 고정되었는지 확인하세요.
2. 매개변수 설정: 실험 요구 사항에 따라 적절한 스퍼터링 전력, 시간, 가스 흐름 및 기타 매개변수를 설정합니다.
3. 스퍼터링 시작: 시작 버튼을 누르면 장치가 스퍼터링을 시작합니다. 이 과정에서는 장치 상태를 주의 깊게 살펴보고 모든 것이 정상인지 확인하십시오.
4. 스퍼터링 종료: 설정된 스퍼터링 시간에 도달하면 장치가 자동으로 멈춥니다. 이때 샘플을 꺼내어 후속 처리를 할 수 있습니다.
3세. 예방 조치:
1. 사용 중에는 반드시 전문가용 보호 안경과 장갑을 착용하여 튀는 부상을 예방하세요.
2. 스퍼터링 공정 중 장비 고장이나 안전 문제 등 비정상적인 상황이 발생한 경우 즉시 비상 정지 버튼을 누르고 전문업체에 검사 및 수리를 의뢰하십시오.
3. 장비의 장기적 안정적인 작동을 보장하기 위해 정기적으로 유지관리 및 서비스를 실시합니다.
위의 단계와 예방 조치를 따르면 사용자는 안전하고 효과적으로 사용할 수 있습니다.3타겟 플라즈마 스퍼터링 코터실험과 연구를 위해. 올바른 사용 방법을 숙지하면 장비를 보호할 수 있을 뿐만 아니라 실험 결과의 정확성과 신뢰성도 보장할 수 있습니다.