TQ6D-SP 석영 노즐이 업계를 선도하는 이유는 무엇일까요?

화학 기상 증착(CVD), 원자층 증착(ALD) 및 고순도 가스 공급 시스템에서 노즐은 가스 역학과 화학 반응 속도를 제어하는 ​​데 매우 중요한 구성 요소입니다. 이러한 환경은 일반적으로 고온, 부식성이 강한 가스, 그리고 엄격한 순도 요구 사항을 수반하는데, 이러한 조건에서 금속 노즐은 종종 제 역할을 하지 못합니다.

탁월한 물리화학적 특성을 지닌 TQ6D-SP 석영 노즐은 반도체 연구소 및 고급 제조 라인에서 선호되는 선택이 되었습니다.

A. 금속 오염

반도체 공정에서 철, 니켈, 크롬과 같은 미량의 금속 불순물조차도 소자 고장을 일으킬 수 있습니다. 스테인리스강 노즐은 패시베이션 처리 후에도 산성 가스 흐름에 노출되면 금속 이온을 방출할 수 있습니다.

B. 열팽창으로 인한 치수 불안정성

금속은 열팽창 계수가 높습니다. 1000°C의 용광로 내부에서 노즐 오리피스 직경은 미세하게 변할 수 있습니다. 이로 인해 가스 흐름장이 변동하여 박막 증착이 불균일해집니다.

C. 잦은 교체 및 가동 중단 시간 (짧은 수명)

세라믹 노즐은 고온에 대한 내성이 뛰어나지만, 인성이 부족하여 열 충격에 취약해 쉽게 파손됩니다. 노즐 교체를 위해 시스템을 자주 중단해야 하므로 생산 효율이 크게 저하됩니다.

TQ6D-SP 석영 노즐의 기술적 장점

A. 고순도 용융 실리카

TQ6D-SP 노즐은 석영 재질로 제작됩니다. 석영의 극히 낮은 수산화기(OH) 함량은 진공 환경에서 낮은 가스 방출률을 보장하여 휘발성 불순물의 유입을 방지합니다.

B. 탁월한 열적 특성 (극도로 낮은 열팽창 계수)

석영의 열팽창 계수는 약 5.5 × 10⁻⁷/°C로 스테인리스강의 극히 일부에 불과합니다. 따라서 TQ6D-SP 사출 성형의 형상은 상온에서 작동하든 최대 1100°C의 고온에서 작동하든 일정하게 유지됩니다.

이 노즐은 실험실 연구 환경에 특화되어 설계되었으며 다음과 같은 주요 이점을 제공합니다.

고온 저항성:고순도 석영으로 제작된 이 노즐은 최대 1100°C의 작동 온도를 견딜 수 있습니다. 따라서 고온로 튜브나 반응 챔버에 직접 삽입하여 분사할 수 있습니다. 이러한 조건에서는 일반적인 금속 또는 플라스틱 노즐은 녹거나 파손될 수 있습니다.

화학적 순도:석영은 탁월한 화학적 안정성을 제공하여 분무 공정 중 금속 이온 오염을 효과적으로 방지합니다. 이는 반도체 및 배터리 전극 재료와 같이 불순물에 매우 민감한 재료를 다루는 연구에 매우 중요합니다.

미세 분무:노즐 직경이 단 0.3mm에 불과하여 마이크론 수준의 미세 분무가 가능합니다. 정밀 주사기 펌프와 함께 사용하면 액적 크기와 분사 속도를 정밀하게 제어할 수 있어 균일한 코팅 또는 입자 형성을 보장합니다.

뛰어난 내식성:불산과 뜨거운 인산을 제외하면 석영은 대부분의 산, 염기 및 염 용액에 대해 화학적으로 불활성이므로 다양한 부식성 화학 시약을 분사하는 데 적합합니다.

간단한 구조와 손쉬운 통합:표준 1/4" 피팅과 PTFE 튜빙이 장착되어 있어 다양한 실험실 가스 및 액체 처리 시스템(예: 가스-액체 혼합 탱크 및 연동 펌프)과 쉽게 통합할 수 있습니다.

유지 관리 및 수명 연장 권장 사항

불산 사용을 피하십시오: 불산(HF)은 석영의 주요 적입니다. 세척 시 불산과의 접촉을 절대적으로 피해야 합니다.

표면 긁힘 방지: 석영은 단단하지만 깨지기 쉽습니다. 작은 표면 긁힘이라도 열 응력이 집중되는 지점이 될 수 있습니다. 취급 시에는 부드러운 끝이 달린 특수 핀셋을 사용하는 것이 좋습니다.

석영 결정화 방지: 장시간 고온 작동 시 노즐 표면에 염분이 쌓여 석영 결정화가 발생하는 것을 방지하기 위해 정기적으로 노즐을 청소하십시오.

선양커징의 TQ6D-SP를 선택해야 하는 이유는 무엇일까요?

당사는 표준 제품뿐만 아니라 고객의 특정 용광로 튜브 치수에 따른 오리피스 각도 맞춤 제작 서비스도 제공합니다. 이러한 세심한 배려를 통해 실험 데이터의 높은 재현성을 보장합니다.