1100℃ 대구경 튜브형 전기로 (6″/8.5″/11″)
1. 대구경 처리 챔버:
전기 튜브로는 대형 시료, 파일럿 규모 연구 및 반도체 웨이퍼 가공에 적합하도록 6인치, 8.5인치 및 11인치 석영 튜브와 함께 제공됩니다.
2. 독립적인 다중 구역 온도 조절:
전기 튜브로는 단일, 이중 및 삼중 구역 가열 옵션을 제공하여 까다로운 열처리 공정에 탁월한 온도 균일성을 제공합니다.
- Shenyang Kejing
- 중국 선양
- 10영업일
- 50세트
- 정보
고온 실험실 용광로 개요
이 대구경 튜브로는 표준 50mm 또는 80mm 튜브로보다 더 큰 내부 공간이 필요한 실험실 및 파일럿 규모 연구팀을 위해 제작되었습니다. 석영 튜브 환경에서 재료 소결, 어닐링, 확산 및 제어 분위기 열처리를 지원합니다.고온 실험실 용광로필요한 온도 균일성 및 공정 프로파일에 따라 단일 구역, 이중 구역 또는 삼중 구역 시스템으로 구성할 수 있습니다.
대구경 고온 실험실로는 시료 크기와 가열 시간이 중요한 선택 요소인 대형 시료, 석영 보트, 웨이퍼 관련 연구, 세라믹 부품, 분말 배치, 금속 부품 및 스케일업 실험에 특히 적합합니다.
고온 실험실 용광로 핵심부의 장점
대형 튜브 옵션: Φ6인치 × 1020mm, Φ8.5인치 × 1020mm 또는 Φ11인치 × 1020mm.
튜브 양쪽 끝에 경첩식 스테인리스 스틸 밀봉 플랜지가 있어 편리하게 사용할 수 있습니다.
벨로우즈, 펌프 및 KF40 배플 밸브 연결을 위한 KF40 진공 포트가 있는 우측 수냉식 플랜지.
고온 알루미나 코팅 처리된 고순도 알루미나 섬유 챔버는 가열 효율과 수명을 향상시킵니다.
다중 구역 모델에서는 각 구역별로 독립적인 온도 조절이 가능합니다.
고온 실험실용 용광로의 권장 사용 용도
웨이퍼 어닐링 및 확산 실험
대형 세라믹 시료 소결
배터리 소재 대량 생산 연구
분말야금 열처리
보호 분위기 어닐링
대형 시료의 진공 열처리
용광로 본체 및 대형 튜브 설계
이 용광로는 공랭식 시스템을 갖춘 이중 외피 구조를 채택하고 있습니다. 두 개의 알루미나 튜브 마개가 포함되어 있으며, 사용 시 튜브 양 끝에 삽입하여 일정한 온도 영역을 유지하고 밀봉 성능을 보호해야 합니다. 고순도 알루미나 섬유로 제작된 챔버는 에너지 손실을 줄여주고, 코팅된 용광로 내벽은 가열 효율을 향상시키고 챔버의 수명을 연장합니다.
원래 사양에 따르면, 이 용광로는 어닐링로 또는 확산로로 사용할 수 있으며, 적절한 튜브와 석영 보트 구성을 선택하면 해당 석영 보트에 놓인 최대 8인치 웨이퍼를 지지할 수 있습니다.
밀봉 플랜지 및 진공 연결
우측 수냉식 플랜지에는 KF40 진공 포트가 있어 KF40 벨로우즈, 펌프 및 KF40 배플 밸브와 편리하게 연결할 수 있습니다. 펌프에 KF25 인터페이스가 사용되는 경우 KF40-KF25 어댑터가 필요합니다. 내부 튜브 온도를 측정하기 위해 외장형 열전대, 보상선 및 온도계를 포함하는 온도 측정 세트를 옵션으로 추가할 수 있습니다.
온도 제어 시스템
본 전기로는 피디 자동 온도 제어 및 30단계 프로그래밍 가능 공정 기능을 갖춘 YD858 온도 컨트롤러를 포함합니다. 제어 정확도는 ±1°C입니다. 각 가열 구역은 독립적인 온도 제어 시스템을 갖추고 있어 필요한 공정 프로파일에 따라 단일 구역, 이중 구역 및 삼중 구역 모델을 선택할 수 있습니다.
기술 사양
| 제품명 | 튜브형 전기로 GSL-1100X-I/II/III-6”/8.5”/11”-S |
|---|---|
| 모델 | GSL-1100X-I/II/III-6인치/8.5인치/11인치-S |
| 전원 공급 장치 | 교류 220V, 50Hz |
| 힘 | 8kW |
| 온도 | 작동 온도 1000°C, 1시간 미만 동안 1100°C |
| 권장 난방률 | ≤10°C/최소 |
| 열전대 | 듀얼 K 타입; 하나는 온도 스캐너로 사용됩니다. |
| 발열체 | 몰리브덴이 첨가된 철-크롬-알루미늄 합금 |
| 난방 구역 길이 | 싱글존: 900mm; 듀얼존: 450 + 450mm; 쓰리존: 200 + 200 + 200mm |
| 튜브 크기 | Φ6인치 × 1020mm / Φ8.5인치 × 1020mm / Φ11인치 × 1020mm |
| 밀봉 플랜지 | KF40 진공 포트가 있는 우측 수냉식 플랜지 |
| 온도 조절기 | YD858 컨트롤러, 피디 자동 제어, 30세그먼트 프로그래밍 가능 제어 |
| 제어 정확도 | ±1°C |
| PC 연결 | 기본 DB9 PC 통신 포트 |
| 인증 참고 사항 | 사양서에 명시된 메트 인증 컨트롤러/시스템 참조 |
| 진공 시스템 | 옵션 사양인 이중 회전 날개 기계식 펌프는 10까지 도달할 수 있습니다.-2토르(토르); 선택 사양으로 국내산 또는 수입산 고진공 시스템을 사용하면 10까지 도달할 수 있습니다.-5토르 또는 그 이상. 다중 진공 |
| 선택 사양인 냉각기 | CW-5000; 압축기 출력 0.3kW; 유량 16L/최소; 탱크 용량 6L; 온도 조절 범위 5~30°C |
| 치수 | 1880mm(길이) × 700mm(폭) × 930mm(높이) |
| 무게 | 약 200kg |
| 보증 | 1년 보증 및 평생 유지보수 제공; 발열체, 석영관, 시료 도가니 등의 소모품은 포함되지 않습니다. |
| 규정 준수 | CE 인증을 획득했으며, UL 또는 CSA 인증은 추가 비용으로 제공됩니다. |
선택 사양 진공 및 냉각 시스템
일반적인 진공 용도의 경우, 이중 회전 날개 기계식 펌프는 약 10의 진공도를 달성할 수 있습니다.-2더 높은 진공도가 필요한 경우, 10 Torr에 도달하기 위해 국내 또는 수입 고진공 시스템을 선택할 수 있습니다.-5토르 또는 그 이상. 수냉식 플랜지 작동이 필요한 경우 CW-5000 수냉 시스템을 사용할 수 있습니다.
선택 가이드: 6인치, 8.5인치 또는 11인치 튜브형 전기로
| 튜브 크기 | 권장 사용법 |
|---|---|
| 6인치 튜브형 전기로 | 대규모 실험실 시료, 석영 보트 처리, 제어 분위기 소결 및 중규모 연구 배치. |
| 8.5인치 튜브로 | 웨이퍼 관련 실험, 더 큰 세라믹, 더 넓은 보트 및 더 많은 내부 공간을 필요로 하는 연구 과정. |
| 11인치 튜브로 | 대규모 시료 처리, 파일럿 규모의 열 연구 및 튜브 직경이 주요 선택 요소인 실험에 적합합니다. |
안전 주의사항
석영관 내부의 압력은 상대 압력 0.02 MPa를 초과해서는 안 됩니다. 실린더에서 석영관으로 가스를 주입할 때는 감압 밸브를 설치해야 합니다. 안전한 작동을 위해서는 0.02 MPa 미만의 압력을 유지하는 것이 좋습니다.
원래 사양에서는 시료 가열 중 입구 밸브와 배기 밸브를 모두 닫는 것을 권장하지 않습니다. 만약 공정상 밸브를 닫아야 하는 경우, 압력계를 항상 모니터링해야 합니다. 표시된 압력이 0.02 MPa를 초과하면 튜브 파열이나 플랜지 이탈과 같은 사고를 방지하기 위해 즉시 배출 밸브를 열어야 합니다.
자주 묻는 질문
사용 가능한 튜브 크기는 무엇입니까?
이 용광로는 Φ6인치 × 1020mm, Φ8.5인치 × 1020mm 및 Φ11인치 × 1020mm 튜브 옵션으로 제공됩니다.
최고 기온은 몇 도입니까?
작동 온도는 1000°C이며, 용광로는 1시간 이내에 1100°C에 도달할 수 있습니다.
여러 개의 난방 구역으로 설정할 수 있습니까?
예. 단일 구역, 이중 구역 및 삼중 구역 난방 구성이 가능합니다. 난방 구역 길이는 각각 900mm, 450+450mm 및 200+200+200mm입니다.
이 제품은 어떤 진공 인터페이스를 사용합니까?
우측 수냉식 플랜지에는 KF40 진공 포트가 사용됩니다. KF25 펌프 인터페이스에 연결할 때는 KF40-KF25 어댑터가 필요합니다.
수냉식은 선택 사항인가요?
예. 옵션 사양인 CW-5000 칠러는 0.3kW 압축기, 16L/최소 유량, 6L 탱크 용량 및 5~30°C의 온도 제어 범위를 갖추고 있습니다.
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