부식 방지 스핀 코터 (6K RPM &앰프 ; 6" 웨이퍼 최대 .)

브랜드 Shenyang Kejing

제품 산지 중국 심양

납품 가격 근무일 기준 10일

공급 능력 50세트

VTC
-200P 진공 스핀 코터는 반도체 공정, 크리스탈, 광 디스크, 제판 및 표면 코팅 등에 적합합니다. 장비는 12 세트의 프로그램을 저장할 수 있으며 각 세트에는 6개의 실행 단계가 있습니다. 챔버 상부 커버는 시료를 가열할 수 있어(옵션 기능) 점도가 높은 박막 소재의 코팅 공정에 유리합니다.

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부식 방지 스핀 코터 (6K RPM &앰프 ; 6" 웨이퍼 최대 .)

주요 특징

1. 장비는 12개의 프로그램 세트를 저장할 수 있으며 각 세트에는 6개의 실행 단계가 포함되어 있습니다. 각 단계의 가속 및 감속 비율 설정 범위: 100rpm/s-2000rpm/s, 각 단계 시간 범위: 0-60s

2. 샘플은 작동하기 쉬운 진공 흡착에 의해 고정됩니다.

3. 진공도는 -0.08MPa에 도달할 수 있습니다.

4. 배치 도구를 사용하여 샘플을 쉽게 중앙에 배치하여 오정렬로 인한 진동이나 튀어나오는 현상을 줄일 수 있습니다.

5. 샘플 사양에 따라 다른 척을 사용할 수 있으며 교체가 편리하고 간단합니다.

6. 24V 브러시리스 DC 모터가 채택되어 높은 신뢰성, 강력한 적응성, 간단한 수리 및 유지 보수, 저소음, 작은 진동, 안정적인 작동, 빠르고 안정적인 시동, 가속 후 안정적인 작동의 장점을 가지고 일관성을 보장합니다. 코팅 두께의 균일성.

7. 이 기계는 글러브 박스에서 사용할 수 있지만 제어부와 진공 펌프는 박스 외부에 두어야 합니다.

8. 불활성 가스 분위기(예: 아르곤 , N2)에서 코팅이 가능합니다.

9. 오일리스 병렬 바 진공 펌프는 작은 크기, 간단한 구조, 쉬운 작동, 편리한 유지 보수 및 환경 오염이 없다는 장점이 있습니다.

10. 챔버는 수명이 더 긴 PP 재질로 되어 있어 화학적 부식에 대한 저항력과 우수한 응력 균열을 개선하고 기계 본체는 내구성이 뛰어나고 가벼운 무게의 주조 알루미늄 구조를 채택했습니다.

11. 영어 운영 체제

12. 오픈 커버 보호 기능이 있습니다. 코팅 공정 중 또는 코팅 종료 시 맨 위 Cover가 열리면 즉시 정지할 때까지 빠르게 감속합니다.

13. 컨트롤러는 보다 직관적이고 신뢰할 수 있는 LCD 수치 디스플레이가 있는 단일 컨트롤 박스를 채택합니다.

티기술적 매개변수

상품명	VTC -200P 진공 스핀 코터
제품 모델	VTC -200P
설치 조건	이 장비는 고도 1000m 이하, 온도 25℃±15℃, 습도 55%Rh ±10%Rh에서 사용해야 합니다. 1. 물: 물 인레트와 출구로 갖추는 2. 전기: AC220V 50Hz, 접지가 잘 되어야 함 세 번째 가스: N/A 4. 작업대: 크기 600mm×600mm×700mm, 하중 50kg 이상 5. 환기장치 : 필요
주요 매개변수 (사양)	1. 전원 공급 장치: 220V 50HZ 2. 모터 전원: 360W/24V 3. 속도 범위: 조정가능한 500rpm-6000rpm 4. 프로그램 작동: 12개의 프로그램 그룹을 저장할 수 있으며 각 그룹에는 6개의 실행 단계가 포함됩니다. 5. 각 단계의 가속 및 감속 비율 설정 범위: 100rpm/s-2000rpm/s, 각 단계의 시간 범위: 0-60s. 6. 척의 크기: φ100mm 7. 기계는 가열 기능을 갖출 수 있습니다: ; ;* 가열 범위: RT -100℃ ; ;* 상부커버와 싱크대/물탱크는 PP재질입니다. ; ;* 온도는 호스트 프로그램 제어와 관련되지 않은 독립 컨트롤러를 사용합니다.
제품 치수 및 무게	차원: φ250mm×360mm 무게:20kg

에스표준 액세서리

아니요.	이름	수량	그림
1	진공 척(φ100mm)	1개
2	오링	1개	-
3	중앙 포지셔너/로케이터(포지셔닝 스터드 4개 포함)	1개
4	에폭시 인젝터/주사기(20ml)	1개
5	인젝터/주사기 브라켓	1개	-
6	오일리스 진공 펌프	1개