부식방지 스핀코터 (6K RPM &앰프; 6" 웨이퍼 맥스.) -

브랜드 Shenyang Kejing

제품 산지 중국 선양

납품 가격 22 영업일

공급 능력 50세트

VTC-200P 진공 회전 Coater는 반도체 공정, 크리스탈, 광 디스크, 제판 및 표면 코팅 등에 적합합니다. 장비는 12개의 프로그램 세트를 저장할 수 있으며 각 세트에는 6개의 실행 단계가 포함되어 있습니다. 챔버의 상부 커버는 샘플을 가열할 수 있으며(옵션 기능), 이는 점도가 높은 박막 재료의 코팅 공정에 유리합니다.

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부식방지 스핀코터 (6K RPM &앰프; 6" 웨이퍼 맥스.) -

주요 특징

1. 장비는 12개의 프로그램 세트를 저장할 수 있으며 각 세트에는 6개의 실행 단계가 포함되어 있습니다. 각 단계의 가속 및 감속 속도 설정 범위: 100rpm/s-2000rpm/s, 각 단계의 시간 범위: 0-60s

2. 시료는 진공 흡착 방식으로 고정되므로 조작이 간편합니다.

3. 진공도는 -0.08MPa에 도달할 수 있습니다.

4. 위치 지정 도구를 사용하여 샘플의 중심을 쉽게 맞출 수 있어 오정렬로 인한 진동이나 튀어나옴을 줄일 수 있습니다.

5. 샘플 사양에 따라 다양한 척을 사용할 수 있으며 교체가 편리하고 간단합니다.

6. 24V 브러시리스 DC 모터가 채택되었으며 높은 신뢰성, 강력한 적응성, 간단한 수리 및 유지 관리, 저소음, 작은 진동, 안정적인 작동, 빠르고 안정적인 시동, 가속 후 안정적인 작동, 일관성 및 코팅 두께의 균일성.

7. 이 기계는 글러브 박스 안에 사용할 수 있지만, 제어 부품과 진공 펌프는 박스 외부에 배치해야 합니다.

8. 불활성 가스 분위기(아르곤, N2 등)에서도 코팅이 가능합니다.

9. 오일리스 평행봉 진공 펌프는 작은 크기, 간단한 구조, 쉬운 작동, 편리한 유지 관리 및 환경 오염이 없다는 장점이 있습니다.

10. 챔버는 화학적 부식 및 우수한 응력 균열에 대한 저항성을 향상시키기 위해 수명이 긴 PP 재질로 만들어졌으며 기계 본체는 내구성이 뛰어나고 무게가 가벼운 주조 알루미늄 구조를 채택했습니다.

11. 영어 운영 체제

12. 오픈커버 보호기능이 있습니다. 코팅 작업 중이나 코팅이 끝난 후 탑 커버를 열면 기계는 즉시 정지할 때까지 급격하게 감속합니다.

13. 컨트롤러는 보다 직관적이고 신뢰할 수 있는 LCD 숫자 디스플레이가 있는 단일 제어 상자를 채택합니다.

티기술적 매개변수

상품명	VTC-200P 진공 스핀 코터
제품 모델	VTC-200P
설치 조건	1. 온도 및 습도: 10-85%RH (25℃에서 결로 현상이 없을 때) 온도: 0-45℃. 2. 장비 주변에는 강한 지진원이나 부식성 가스가 없습니다. 3. 물: 장비에는 하수 배출구가 장착되어 있습니다. 4. 전기: 단상: AC220V 50Hz 국가 표준 3극 소켓 10A는 잘 접지되어야 합니다. 5. 가스: 진공 음압(진공 펌프) 배기 유량은 70L/M 이상입니다(장비는 보호용 불활성 가스를 통과할 수 있음). 6. 작업대 : 800X600X700mm를 권장하고 100KG 이상의 하중을 견딜 수 있습니다 (단단한 시멘트 플랫폼이 더 좋습니다) 7. 환기 장치: 특별한 요구 사항 없음
주요 매개변수 (사양)	1. 전원 공급 장치 인터페이스: 보험이 포함된 전원 소켓: AC220V 50Hz, 보험 튜브 사양은 10A, Φ5×20mm입니다(이 장치는 AC110V 50/60Hz 제품 사용자 정의를 지원합니다.) 2. 총 전력: 150W 이하(외부 진공 펌프 제외) 3. 코팅 호스트 캐비티(재질): 폴리프로필렌 4. 시료 트레이(흡착컵): Φ100 폴리프로필렌 진공흡착컵 1(가열 기능 포함, 폴리테트라플루오로에틸렌으로 제작됨) 5. 작동 모드: 12개의 프로그램 세트를 저장할 수 있으며, 각 프로그램 세트에는 6개의 작동 단계가 포함되어 있습니다. 6. 코팅 속도: 500rpm-6000rpm 7. 가속 및 감속률: 각 가속 및 감속 설정 범위: 100 rpm -2000 rpm 8. 코팅 시간: 각 시간 범위: 0-60s 9. 속도 안정성: ±1% 10. 제어 모드: PCB 단일 칩 마이크로컴퓨터 키 제어 LMC LCD 디스플레이 11. 가열 모드: 표준 장비에는 이 기능이 없습니다(이 기계는 호스트 제어와 관련되지 않은 가열 기능, 독립적인 온도 제어 시스템으로 사용자 정의할 수 있습니다). 12. 가열 온도: 사용자 정의 가능한 온도 상한: RT-100℃ 13. 가열 전력 : AC220V 1000W 14. 온도 조절 정확도: ±2℃
제품 크기 및 무게	치수: 본체: Φ250mmX360mm 통제 상자: 330mmX380mmX150mm 무게: 15kg

에스표준 액세서리

아니요.	이름	수량	그림
1	진공척(Φ100mm)	1개
2	O-링	1개
3	중앙 포지셔너/로케이터(포지셔닝 스터드 4개 포함)	1개
4	에폭시 주입기/주사기(20ml)	1개
5	주입기/주사기 브래킷	1개
6	오일리스 진공 펌프	1개