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연속 다중 챔버 증발 코팅 시스템
1. 당사의 진공 증착 코팅기는 연속적인 시료 주입이 가능하여 전문적인 실험이나 프로젝트에 매우 적합합니다.
2. 당사의 진공 증착 코팅기는 완전 자동화되어 있어 인건비와 교육비를 절감할 수 있습니다.
3. 증발 진공 코팅기는 4개의 작업 구역을 갖추고 있어 프로젝트 진행 속도를 높이고 개별 가열이 가능합니다.
- Shenyang Kejing
- 중국 선양
- 10영업일
- 50세트
- 정보
증발 진공 코팅기 소개:
GSL-1800X-지프-오전 연속 증착 코팅기는 고진공, 연속 시료 주입 방식의 전문가용 증착 코팅 장비입니다. 이 장비는 이송 챔버와 증착 코팅 챔버로 구성된 다중 챔버 구조를 채택하여 안정적인 진공 환경에서 연속적인 시료 이송 및 자동 코팅 작업을 가능하게 합니다. 기판 홀더는 주파수 변조 모터에 의해 구동되어 두 챔버 사이를 왕복하며 완전 자동 동기식 작동을 구현합니다. 연속 증착 코팅기의 왕복 위치와 속도는 설정 가능하며, 이중 챔버 위치 지정 및 원점 재설정 기능을 통해 실험 효율과 코팅 재현성을 크게 향상시킵니다.
연속 증착 코팅 장비는 산소에 민감한 금속 재료(예: 티타늄, 알루미늄, 금 등) 및 저분자 유기 재료의 증착 코팅에 특히 적합합니다. 이 열 증착 진공 코팅 시스템은 각각 독립적인 증착 공정을 수행할 수 있는 4개의 독립적으로 제어되는 증착 가열 보트를 갖추고 있습니다. 각 가열 보트 위에 설치된 회전식 칸막이 구조는 단일 보트 작동 시 다른 보트를 효과적으로 차폐하여 증착 재료의 교차 오염을 방지하고 코팅 순도를 보장합니다.
일부 설정을 변경함으로써 열증발 진공 코팅 시스템은 다양한 유기 재료의 증착 코팅도 지원할 수 있어 OLED 발광 소자 및 유기 태양 전지(OPV)와 같은 첨단 소재 연구에 이상적입니다. 챔버 하단에는 5개의 수냉식 전극이 위치하여 고온 증착 과정에서 전극을 지속적으로 보호함으로써 열 용융 손상을 방지하고 시스템의 내구성과 안정성을 향상시킵니다.
GSL-1800X-지프-오전 열증착 진공 코팅 시스템은 신뢰성이 매우 높은 금속 진공 챔버를 사용하여 최대 5.0 × 10⁻⁷ Torr의 시스템 진공도를 구현합니다. 시료 스테이지는 시료를 가열(상온 ~ 500℃)할 수 있어 고품질 박막 증착을 위한 안정적이고 제어 가능한 열 환경을 제공합니다. 높은 진공 성능, 공정 유연성 및 탁월한 비용 효율성을 갖춘 이 열증착 진공 코팅 시스템은 고진공 증착 코팅 연구를 수행하는 연구 기관 및 연구실에 이상적인 선택입니다.

증발 진공 코팅기의 장점:
• 다중 챔버 설계의 연속 증발 코팅기: 이송 챔버와 증발 코팅 챔버로 구성되어 시료의 신속하고 연속적인 증발 코팅이 가능합니다.
• 중앙 집중식 진공 제어 관리: 진공 장치가 통합 제어 박스에 내장되어 있어 작동이 간편합니다.
• 독립적인 증발 전류 제어: 증발 속도를 정밀하게 조절할 수 있습니다.
· 챔버에는 KF40 바이패스 밸브 1개(펌핑 효율 향상을 위해 전펌프에 직접 연결됨), CF150 게이트 밸브 1개(분자 펌프에 직접 연결됨), KF16 플랜지 1개(저항계 장착용), CF35 플랜지 6개(이온화계용 1개, 2핀 전극용 1개, 막 두께계용 1개, 예비 인터페이스 3개)가 장착되어 있습니다.
· 고효율 수냉 시스템: 챔버 하단에 5개의 수냉식 전극이 위치하여 4개의 증착 가열 보트를 동시에 지원합니다.
· 증발 진공 코팅 장비의 샘플 스테이지는 설치 및 작동이 용이하도록 상단 장착형으로 설계되었습니다.
· 고해상도 박막 두께 측정기(옵션): 알루미늄 박막 두께 측정 정확도 최대 0.1Å.
· 증발식 진공 코팅기는 장기간 작동 안정성을 보장하기 위해 순환수 냉각기를 장착할 수 있습니다.
진공 증착 코팅기의 기술 사양:
| 제품명 | GSL-1800X-지프-오전 연속 증발 코팅기 |
| 제품 모델 | GSL-1800X-지프-오전 |
진공 코팅 시스템 설치 요구 사항 | 1이 열증발 진공 코팅 시스템은 온도 25℃±15℃, 상대 습도 55%RH±10%의 환경에서 사용하기에 적합합니다. 2. 물 공급원: 열증발 진공 코팅 시스템은 자체 순환식 냉각수 시스템을 갖추고 있으며, 정제수 또는 탈이온수를 추가해야 합니다. 3. 진공 코팅 시스템의 전원 공급 장치: 단상 에어컨 220V 50Hz, 안정적인 접지가 필요합니다. 4. 진공 코팅 시스템 작업대: 바닥 설치형이며, 장비의 안정적인 설치를 위해 최소 2제곱미터의 바닥 면적을 권장합니다. 5. 환기: 작동 안전과 효과적인 열 방출을 보장하기 위해 양호한 환기 또는 배기 시스템이 필요합니다. |
| 진공 코팅 시스템의 매개변수 | 1. 전원 입력: 단상 AC220V, 50/60Hz, p소비전력 <2.16kW (진공 펌프 제외). 2. 증발 출력: 전압 에어컨 0~8V 연속 조절 가능, 최대 증발 전류 200A, 최대 증발 전력 <1.6kW. 3. 진공 챔버: 내경 Ø300mm × 높이 360mm, 스테인리스강 재질, 내벽 전해연마 처리. 4. 관찰창: 직경 100mm, 특수 밀봉링을 사용하여 기밀성을 확보합니다. 5. 진공 펌프: 고속 터보분자 펌프, 펌핑 속도 600L/s. 6. 작동 진공도: 8.0×10⁻⁴아빠. 7. 극한 진공도: 8.0×10⁻⁵아빠. 8. 누출률: 6.7×10⁻⁸아빠·L/s. 9. 시료 스테이지: 직경 φ120mm. 10. 증발용 보트와 시료 받침대 사이의 거리: 140~200mm로 조절 가능. 11. 냉각수 필요량: 15L/분 12. 시료 단계 가열 온도: 실온~500℃, 자동 온도 제어 및 온도 측정 기능 지원. |
| 규정 준수 | CE 인증을 획득했으며, UL 또는 CSA 인증은 추가 비용으로 제공됩니다. |
회사 소개:
당사는 과학 연구 시장에 집중하는 기업으로서, 주요 고객은 대학, 연구 기관 및 연구소입니다. 혁신적인 기술, 고객 중심 경영, 그리고 전문적이고 효율적인 과학 연구 서비스 제공을 통해 사회에 기여하는 데 항상 전념하고 있습니다. 당사의 목표는 신뢰와 존경을 받으며 국제적인 영향력과 경쟁력을 갖춘 과학 연구 기기 분야의 선두 기업이 되는 것입니다.

