고진공 마그네트론 스퍼터링 장비

마그네트론 스퍼터링 장비 소개:

비티씨씨-600G 고진공 마그네트론 스퍼터링 코터는 새롭게 독립적으로 개발된 코팅 장비로, 단층 또는 다층 강유전체 필름, 전도성 필름, 합금 필름, 반도체 필름, 세라믹 필름, 유전체 필름, 광학 필름, 산화물 필름, 경질 필름, 폴리테트라플루오로에틸렌 필름 등을 제조하는 데 사용할 수 있습니다. 비티씨씨-600G 마그네트론 스퍼터링 장비는 여러 개의 타겟 건을 장착할 수 있으며, 매칭 RF 전원 공급 장치는 비전도성 타겟 재료의 스퍼터링 코팅에 사용되고, 매칭 직류 전원 공급 장치는 전도성 재료의 스퍼터링 코팅에 사용됩니다. 유사한 장비와 비교할 때, 마그네트론 스퍼터링 장비는 널리 사용될 뿐만 아니라 소형이고 조작이 쉬운 장점이 있습니다. 특히 고체 전해질 및 OLED에 대한 실험실 연구에 적합한 재료 필름의 실험실 제조에 이상적인 장비입니다.

마그네트론 스퍼터링 장비의 주요 특징:

·진공 마그네트론 스퍼터링 장비는 여러 개의 타겟 건을 장착할 수 있으며, 일치하는 RF 전원 공급 장치는 비전도성 타겟 재료의 스퍼터링 코팅에 사용되고, 일치하는 직류 전원 공급 장치는 전도성 재료의 스퍼터링 코팅에 사용됩니다(타겟 건은 고객 요구에 따라 임의로 교체 가능).

·진공 마그네트론 스퍼터링 장비는 다양한 박막을 제조할 수 있으며 널리 사용됩니다.

·진공 마그네트론 스퍼터링 장비는 크기가 작고 조작이 쉽습니다.

·전체 기계는 모듈형 설계로 되어 있으며, 진공 챔버, 진공 펌프 그룹, 제어 전원 공급 장치는 분리형 설계로 사용자의 실제 요구에 따라 조정이 가능합니다.

·전원은 사용자의 실제 요구에 따라 선택할 수 있습니다. 하나의 전원 공급기로 여러 개의 표적 총을 제어할 수도 있고, 여러 개의 전원 공급기로 단일 표적 총을 제어할 수도 있습니다.

진공 마그네트론 스퍼터링 장비의 기술적 매개변수:

제품 이름	비티씨씨-600G 고진공 마그네트론 스퍼터링 장비
제품 모델	비티씨씨-600G
주요 매개변수	1. 구조: 데스크탑 전면 도어 구조, 후면 배기 시스템.
	2. 최대 진공도: 6.0X10-5Pa.
	3. 누설률: 1h≤0.5Pa.
	4. 배출시간은 대기에서 5.0X10-3까지 약 20분이다.
	5. 진공펌프 그룹: 기계식 펌프 + 분자 펌프.
	6. 샘플 스테이지: φ140, 실온 -500℃, 정확도 ±1℃(실제 필요에 따라 온도 증가 가능) 회전은 5rpm-20rpm 내에서 조정 가능. 고객 요구에 따라 바이어스 기능을 추가하여 더 높은 품질의 코팅을 달성할 수 있습니다.
	7. 가스 충전 시스템: 질량 유량계 2개(아르곤/질소 각각).
	8. 타겟 헤드와 샘플 스테이지의 중심 축 사이의 각도는 34°입니다.
	9. 타겟 헤드의 개수 : 3개(서로 120°).
	10. 타겟포 냉각방식 : 수냉.
	11. 타겟 소재 크기 : φ2″, 두께 0.1-5mm (두께는 타겟 소재에 따라 다름).
	12. 제품 사양: · 크기: 전체 기계 크기: 700mm×852mm×1529mm

마그네트론 스퍼터링 장비의 옵션 액세서리:

보증:

1년 제한 보증, 평생 지원(부적절한 보관 조건으로 인한 녹슨 부품 제외)

기호 논리학:

회사 소개：

우리는 코팅 기계의 연구 개발 및 생산에 중점을 둔 하이테크 기업이며, 업계의 선두 주자이기도 합니다. 당사의 모든 제품은 설계자에 의해 신중하게 설계되고 엄격하게 테스트되었으며, 장비 성능과 정확도가 높습니다. 당사는 제품 자체에만 집중하는 것이 아니라 기술 혁신과 고객 관계에도 주의를 기울이고 있으며, 글로벌 고객에게 고급 실험 장비를 제공하기 위해 최선을 다하고 있습니다.