페로브스카이트 태양 전지용 고진공 스프레이 열분해 코터

a. 3상 5선 시스템. 5선: 380VAC(+/-5%), 50Hz, 3개의 활선, 1개의 접지선, 1개의 중성선. 최대 전력 8KW, 최대 전류 32A.

b. 또한, 독립적인 쉘 접지선이 필요합니다.

2. 물:

유량 15~20리터/분, 섭씨 15~25도, 물 입구 및 출구 압력 차이 1~2kg, 물 입구 압력 2~3kg, 장비의 물 입구 및 출구 외경은 12mm입니다(더 나은 고무 물 파이프 사용을 권장합니다). 장비의 물 입구 앞에 볼 밸브를 설치하여 수압과 물 흐름을 쉽게 조절할 수 있도록 하는 것이 좋습니다.

3. 가스:

a. 압축공기: 건조, 깨끗, 무수, 무오일 압축공기, 8mm 플라스틱 공기 파이프, 압력 5.5-6

킬로그램(0.55-0.6MPA).

b. 일반 질소: 건조 질소, 장비 챔버의 진공을 깨는 데 사용됩니다. 8mm 플라스틱 공기 파이프, 압력 1-2kg(0.1-0.2MPA).

1. 진공 전용 304 스테인리스 챔버, 내부 전해연마, 진공 챔버 직경은 폭 약 400mm, 깊이 400mm, 높이 450mm이며, 수직 전면 및 후면 도어 구조를 갖습니다.

2. 전면 도어 레일은 수입 더블 레일 디자인을 채택하여 외관이 더욱 조화롭고 수동 잠금이 가능합니다. 후면 도어는 수동 힌지 구조를 채택하여 조이고 밀봉하기 쉽습니다. 시스템은 다중 조각 구조의 스테인리스 스틸 라이너를 제공하여 분해 및 설치가 쉽습니다. 진공 챔버의 내부 및 외부 표면은 연마됩니다. 챔버에는 조명 및 필름 두께 게이지와 같은 장비 인터페이스가 장착되어 있습니다.

3. 진공 챔버의 왼쪽은 메인 밸브와 분자 펌프, 진공 측정 인터페이스에 연결됩니다. 상단에는 회전 수냉식 샘플 스테이지, 샘플 스테이지 배플 및 필름 두께 게이지 프로브 인터페이스가 장착되어 있습니다. 하단 플레이트에는 금속 증발 전극 2세트, 유기 소스 4세트, 필름 두께 게이지 프로브 설치 포트 2개가 장착되어 있습니다.

4. 유리 관찰창이 있는 전면 및 후면 도어: 진공 챔버의 전면 도어에는 방벽이 있는 직경 4인치의 관찰창 1개, 오염 방지 유리 장착; 후면 도어에는 각각 소스와 샘플을 관찰할 수 있는 작은 관찰창 2개, 오염 방지 유리 장착.

2세. 증발원 : 금속 증발원과 비금속 증발원을 모두 갖추고 있음

3세. 완전한 경보 시스템: 물 부족 및 저전압 감지 및 보호, 위상 시퀀스 감지 및 보호, 온도 감지 및 보호, 진공 시스템 감지 및 보호. 물 부족, 과전류, 과전압, 펌프 및 전극의 회로 파손과 같은 비정상 조건에 대한 경보 및 해당 보호 조치 구현; 완전한 논리 프로그램 연동 보호 시스템.

4.4.. 제어 방법:

파나소닉 PLC+터치스크린 수동 자동 제어; 속도 및 최종 두께를 입력할 수 있으며, 피디 조정은 증발 전력 출력을 자동으로 제어합니다. 제어 내용: 기계식 펌프, 분자 펌프, 공압, 전자기 밸브, 진공 게이지 등; 자동 진공, 자동 코팅, 자동 배기 등;

완전한 인터록 보호(하드웨어, 소프트웨어 인터록), 수동 및 자동 모드에서 장비는 완전한 인터록 보호를 받아 인력과 장비의 안전을 보장합니다. 또한, 이 시스템에는 물 흐름 감지 알람 장치가 장착되어 있습니다.

V. 구조적 특징: 이 시스템은 쉬운 이동을 위해 범용 바퀴와 발을 갖추고 있습니다. (그림에서 보여지는 대로)

우리. 세부:

기계식 펌프 앞에 분자체를 설치하고, 공기 배출구에 필터, 셔터 등의 보호 부품을 설치한다. 가스 경로는 먼지가 발생하지 않도록 설계한다. 유기물은 내부에 독립적으로 설치한다.

모든 샘플 스테이지, 소스 배플, 샘플 스테이지 회전은 자기 유체로 밀봉되어 시스템의 장기적 안정성을 보장합니다.

릴레이, 단자대, 수도관 및 가스관 조인트, 솔레노이드 밸브 및 기타 소형 부품은 모두 고품질 정품입니다.

1. 진공 시스템:

중커 케이 그리스 윤활 분자 펌프의 FF-200/1300 구경을 사용하고, 펌핑 속도: 1300 L/S + 페이웨 VRD-16 기계식 펌프 진공 시스템, 8인치 공압 플래퍼 밸브, 진공 측정: 저진공 게이지 1개와 고진공 게이지 1개(대기압에서 3E-9torr까지), 저진공 및 고진공 측정의 자동 제어 전환. 진공 판독값은 프로세스 제어를 위해 PLC에 입력됩니다.

진공 밸브: 모델: DN40mm 플래퍼 밸브 2세트, 중커 케이 디엔200 공압 메인 밸브 1세트.

진공 밀봉: 분리형 정적 밀봉은 불소고무 링으로 밀봉되며, 드물게 분해되는 정적 밀봉은 무산소 구리로 밀봉됩니다.

2. 진공 한계:

2.0×10-5Pa보다 우수합니다. 누설률: 5×10－8Pa*L/S(국가 표준)보다 우수합니다. 12시간 동안 정지한 후 진공도는 ≤5Pa입니다.

3. 펌핑 속도 : 펌핑 시간 : 대기압 ~ 5×10-4Pa 20분 이내

1. 서랍형 구조로 최대 150*150mm의 샘플을 운반할 수 있으며 공압 기판 배플이 장착되어 있습니다.

2. 기판과 증발원 사이의 거리는 전기적으로 조절 가능하며, 전기 리프팅 조절의 최대 거리는 60mm입니다.

3. 샘플 스테이지는 회전 가능하며 수냉 기능이 있습니다. 샘플 스테이지의 회전 속도는 0~30rpm까지 연속 조정 가능합니다.

1. 고진공 전자빔 증발 코팅 기계는 보트형 증발 소스 2세트를 갖추고 있습니다. 금속 소스는 수냉 구리 전극 + 증발 보트 구조(최대 온도 1500도)를 채택합니다. 고진공 전자빔 증발 코팅 기계는 2.4kw 증발 전원 공급 장치를 갖추고 있습니다. 증발 소스 전원 공급 장치에는 정전류 및 정전압의 두 가지 구동 모드가 있으며, 이는 전환할 수 있습니다. 증발 전원 공급 장치는 소프트웨어 또는 수동으로 제어할 수 있습니다. 증발 전원 공급 장치는 필름 두께 미터 피디(폐쇄 루프 제어)를 통해 증발 속도를 자동으로 조정할 수도 있습니다. 디지털 디스플레이가 있습니다.

2. 고진공 전자빔 증발 코팅 기계는 4세트의 유기 증발 빔 소스로, 4개의 유기 증발 전원 공급 장치, 온도 표시 기능이 있는 유기 증발 소스, 유기 빔 소스로는 일본 전도성 온도 컨트롤러를 사용합니다. 4세트의 도가니를 장착, 가열 온도: 0-700도 섭씨; 조정 가능한 각도 범위: 0-15도,

1. 전원 공급 : 직류 5V (±10%), 최대 전류 400mA.

2. 주파수 분해능: ±0.03Hz.

3. 필름 두께 분해능: 0.0136Å(알루미늄).

4. 필름 두께 정확도: ±0.5%, 특히 센서 위치, 재료 응력, 온도 및 밀도와 같은 프로세스 조건에 따라 달라집니다.

5. 측정 속도: 100ms-1s/시간, 조정 가능.

6. 측정 범위: 500000Å(알루미늄).

냉각기