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고진공 박막 제조 장비
1. 박막제조장비는 선양 케징의 기술로 개발되어 내구성과 안정성이 뛰어납니다.
2. 회사 자체 공장에서 박막 제조 장비를 생산하고 테스트하여 품질과 코팅 수준을 보장합니다.
3. 우리는 풀서비스를 제공하므로 안심하고 사용하실 수 있으며 박막제조장비의 역할을 극대화할 수 있습니다.
- Shenyang Kejing
- 선양, 중국
- 22 작업일
- 50세트
- 정보
연구를 위한 진공 코팅 장비 소개:
비티씨씨-600GD 마그네트론 스퍼터링 코팅 장비는 새롭게 독립적으로 개발된 코팅 장비로, 단층 또는 다층 강유전체 박막, 전도성 박막, 합금 박막, 반도체 박막, 세라믹 박막, 유전체 박막, 광학 박막, 산화물 박막, 경질 박막, 폴리테트라플루오로에틸렌 박막 등을 제조하는 데 사용할 수 있습니다. 비티씨씨-600GD 마그네트론 스퍼터링 코팅 장비는 최대 4개의 타겟 건을 장착할 수 있으며, 비전도성 타겟 재료의 스퍼터링 코팅을 위한 RF 전원 공급 장치와 전도성 재료의 스퍼터링 코팅을 위한 직류 전원 공급 장치가 있습니다. 유사한 장비와 비교할 때, 마그네트론 스퍼터링 코팅 장비는 널리 사용될 뿐만 아니라 소형이고 조작이 쉬운 장점이 있습니다. 특히 고체 전해질 및 OLED에 대한 실험실 연구에 적합한 재료 필름의 실험실 제조에 이상적인 장비입니다.
연구를 위한 진공 코팅 장비의 주요 특징:
1. 최대 4개의 타겟 건을 선택할 수 있으며, 매칭되는 RF 전원 공급 장치는 비전도성 타겟 재료의 스퍼터링 코팅에 사용되고, 매칭되는 직류 전원 공급 장치는 전도성 재료의 스퍼터링 코팅에 사용됩니다(타겟 건은 고객 요구에 따라 임의로 교체 가능).
2. 다양한 종류의 박막을 제조할 수 있으며, 응용범위가 넓습니다.
3. 연구용 진공 코팅 장비는 크기가 작고 조작이 간편합니다.
4. 박막 제조 장비는 전체 기계가 모듈식 설계이며, 진공 챔버, 진공 펌프 그룹, 제어 전원 공급 장치는 분리형 설계로 사용자의 실제 요구에 따라 조정할 수 있습니다.
5. 박막 제조 기구는 사용자의 실제 요구에 따라 전원을 선택할 수 있습니다. 하나의 전원 공급기는 여러 개의 표적 총을 제어할 수 있고, 여러 개의 전원 공급기는 단일 표적 총을 제어할 수 있습니다.
연구를 위한 진공 코팅 장비의 기술적 매개변수:
제품 이름 | 비티씨씨-600GD 마그네트론 스퍼터링 코팅 장비 |
제품 모델 | 비티씨씨-600GD |
설치 조건 | 본 장비는 25℃±15℃의 온도와 55%Rh±10%Rh의 습도에서 사용해야 합니다. 1. 물 : 연구용 진공코팅 장비에는 자체순환 냉각수 장치(순수 또는 탈이온수)가 장착되어 있습니다. 2. 전기 : AC220V 50Hz, 접지가 잘 되어 있어야 함 3. 가스 : 장비 챔버는 아르곤(순도 99.99% 이상)으로 채워야 하며, 아르곤 가스 실린더(Ø6mm 이중 페룰 커넥터 포함)와 감압 밸브를 직접 준비해야 합니다. 4. 작업대 : 크기 1500mm×600mm×700mm, 하중 지지력 200kg 이상 5. 환기장치 : 필수 |
주요 매개변수 | 1. 전원 전압 : 220V 50Hz. |
2. 총 전력 : <3.5KW. | |
3. 챔버 내경 : Ø300mm. | |
4. 최대 진공도 8.0x10-5Pa. | |
5. 작동 온도: RT-500℃, 정확도 ±1℃ (온도는 실제 필요에 따라 증가할 수 있음). | |
6. 타겟포의 수 : 4개. | |
7. 표적총의 냉각방식 : 수냉. | |
8. 타겟 크기: Ø2″, 두께 0.1mm-5mm(두께는 타겟 재료에 따라 다름). | |
9. 직류 스퍼터링 전력: 500W(옵션). | |
10. RF 스퍼터링 전력: 300W. | |
11. 샘플 스테이지 : Ø140mm. | |
12. 샘플 단계 속도: 1rpm-20rpm 내에서 조정 가능. | |
13. 보호가스 : 아르, N2 및 기타 불활성가스. | |
14. 유입 가스 경로: 질량 유량계는 2개의 유입 경로를 제어하며, 1개의 유량은 100 SCCM이고, 1개의 유량은 200 SCCM입니다. | |
15. 제품 사양: · 크기: 호스트 크기: 800mm×1000mm×1300mm; · 무게 : 190kg |
마그네트론 스퍼터링 코팅 장비의 표준 부속품:
| 아니요. | 이름 | 수량 | 그림 |
| 1 | 직류 전력 제어 시스템 | (선택사항) 설정 | - |
| 2 | RF 전력 제어 시스템 | 1 세트 | - |
| 3 | 필름 두께 모니터 시스템 | 1 세트 | - |
| 4 | 분자펌프 | 1개 단위 | - |
| 5 | 냉각기 | 1개 단위 | - |
| 6 | 폴리에스터 우레탄 튜브(Ø6mm) | 4분 | - |
박막 제조 장비의 옵션 액세서리:
| 아니요. | 이름 | 기능 | 그림 |
| 1 | 금, 인듐, 은, 백금 등 다양한 대상 | (선택 과목) | - |
| 2 | 선택 사항인 강력한 자기 타겟을 사용하여 강자성 재료의 스퍼터링 코팅을 수행할 수 있습니다. | (선택 과목) | - |
보증:
1년 제한 보증, 평생 지원(부적절한 보관 조건으로 인한 녹슨 부품 제외)
기호 논리학:
회사 소개：
우리는 코팅 기계의 연구 개발 및 생산에 중점을 둔 하이테크 기업이며, 업계의 선두 주자이기도 합니다. 당사의 모든 제품은 설계자에 의해 신중하게 설계되고 엄격하게 테스트되었으며, 높은 수준의 장비 성능과 정확성을 갖추고 있습니다. 당사는 제품 자체에만 집중하는 것이 아니라 기술 혁신과 고객 관계에도 주의를 기울이고 있으며, 글로벌 고객에게 고급 실험 장비를 제공하기 위해 최선을 다하고 있습니다.
상담부터 애프터 세일즈까지, 우리는 모든 고객에게 일류 서비스를 제공할 수 있습니다. 우리의 전문 팀은 여러분에게 적합한 장비를 추천하고, 제품 사용 중에 기술 지원을 제공하고, 여러분의 질문에 답하고, 여러분이 프로젝트를 더 원활하게 수행할 수 있도록 도울 수 있습니다. 우리는 수년간의 경험을 통해 더 많은 회사가 목표를 달성할 수 있도록 도울 수 있다고 믿습니다.
선양 케징은 실용적, 헌신적, 근면함, 팀워크, 신뢰성, 혁신적, 책임감, 고객 중심의 고품질 제품, 선진 서비스를 모토로 삼아, 국내외 고객에게 뛰어난 제품과 서비스를 제공하기 위해 최선을 다하고 있습니다.
업계 동료 및 고객과 긴밀한 관계를 유지하기 위해 우리는 또한 국내외 주요 산업 전시회에 적극적으로 참여합니다. 매년 우리는 여러 중요한 산업 전시회에서 최신 기술과 제품을 선보입니다. 고객을 직접 만날 수 있는 이러한 플랫폼을 통해 더 많은 사람들이 우리를 이해하고 지원할 수 있습니다. 수년에 걸쳐 우리는 이러한 플랫폼에서 많은 고객과 협력 주문을 받았습니다. 그것은 우리의 업적을 보여주는 것일 뿐만 아니라 우리가 산업에 더 가까이 다가갈 수 있는 중요한 방법이기도 합니다.
