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마그네트론 스퍼터링 코터
1. 진공 마그네트론 스퍼터링 코팅기는 대용량 스퍼터링 진공 챔버와 전기장 내의 가스 이온화 특성에 따라 해당 면적의 스퍼터링 타겟을 사용하여 스퍼터링 코팅을 보다 균일하고 순수하게 만들 수 있습니다.
2. 진공 마그네트론 스퍼터링 코팅기의 스퍼터링 헤드는 펠티에 냉각 기술을 채택하여 고성능, 미세 입자 코팅을 얻습니다.
3. 진공 마그네트론 스퍼터링 코팅기는 수냉식 스퍼터링 헤드와 수냉식 스테이지를 사용할 수 있습니다.
- Shenyang Kejing
- 선양, 랴오닝
- 10일 근무
- 50세트
- 정보
물 냉각기를 갖춘 마그네트론 스퍼터 코팅 장비 소개:
GSL-1100X-에스피씨-16M 마그네트론 스퍼터 코팅 장비(수냉식)는 진공 환경에서 타겟에 입자를 충돌시켜 발생하는 스퍼터링 효과를 이용하여 타겟 원자 또는 분자를 고체 표면에서 방출시키고 기판에 증착시켜 박막을 형성합니다. 이는 물리 기상 증착(PVD) 박막 제조 기술의 한 유형입니다. 간단하고 신뢰성이 높으며 경제적인 이 코팅 장비는 실험실에서 다양한 복합 필름 샘플을 제조하고 비전도성 재료의 실험용 전극을 제작하는 데 적합합니다. 수냉식 마그네트론 스퍼터 코팅 장비는 실험실에서 주사 전자 현미경 샘플을 제조하는 데 사용할 수 있으며, 크기가 작아 실험실 공간을 절약할 수 있습니다. 조작이 간편하여 초보자에게 적합합니다.
PVD 스퍼터 코터의 장점:
1. PVD 스퍼터 코터에는 진공계와 스퍼터링 전류계가 장착되어 있어 실시간으로 작업 상태를 모니터링합니다.
2. PVD 스퍼터 코터는 스퍼터링 전류 컨트롤러와 마이크로 진공 공기 밸브를 조정하여 진공 챔버 압력, 이온화 전류를 제어하고 필요한 이온화 가스를 선택하여 최상의 코팅 효과를 얻습니다.
3. PVD 스퍼터 코터의 벨자 가장자리에 있는 고무 씰 링은 특수 설계를 채택하여 장기간 사용 시 유리 벨자가 붕괴되는 것을 방지합니다.
4. PVD 스퍼터 코터에 사용되는 세라믹 밀봉 고전압 전극 커넥터는 일반 고무 밀봉보다 내구성이 뛰어납니다.
PVD 스퍼터 코터의 기술적 매개변수:
제품명 | GSL-1100X-에스피씨-16M PVD 스퍼터 코터 |
제품 모델 | GSL-1100X-에스피씨-16M |
설치 조건 | 본 장비는 고도 1000m 미만, 온도 25℃±15℃, 습도 55%Rh±10%Rh의 환경에서 사용해야 합니다. 1. 물: 장비에는 자체 순환 냉각수 장치(순수 또는 탈이온수로 채워짐)가 장착되어야 합니다. 2. 전기 : AC220V 50Hz, 접지가 잘 되어야 합니다. 3. 가스: 장비 챔버에는 아르곤(순도 99.99% 이상)을 채워야 하며, 아르곤 가스 실린더(감압 밸브 장착)를 준비해야 합니다. 4. 작업대 : 크기 600mm×600mm×700mm, 하중 지지 용량 50kg 이상. 5. 환기 장치: 필요하지 않음. |
주요 매개변수 | 1. 타겟 : Ø50mm. 2. 진공 챔버: Ø160mm×120mm. 3. 진공도: ≤4×10-2mbar. 4. 최대 전류: 100mA. 5. 설정 가능한 제한 시간: 9999초. 6. 마이크로 진공 공기 밸브: Ø3mm 호스에 연결됨. 7. 제한 전압: 1600V DC. 8. 기계식 펌프: 2L/s. 9. 대상 물질: 크기 요구 사항: φ50mm×(0.1-0.5)mm(두께). 오, 애그, 구리 및 기타 금속의 스퍼터링에 적합합니다(당사에서 구매 가능). 10. 제품 사양: 크기: 360mm×300mm×380mm. 무게: 전체 무게: 50Kg. 주요 기계의 순중량: 15kg. |
PVD 스퍼터 코터의 표준 액세서리:
아니요. | 이름 | 수량 | 그림 |
1 | 골드 스퍼터링 타겟 | 1개 | -- |
2 | 입구 니들 밸브 | 1개 | -- |
3 | 퓨즈 | 2개 | -- |
PVD 스퍼터 코터의 옵션 액세서리:
아니요. | 이름 | 기능 | 그림 |
1 | 금, 인듐, 은, 백금 등 다양한 스퍼터링 타겟 | (선택 과목) | -- |
회사 소개:
저희는 제품 품질에 대한 높은 기준을 유지할 뿐만 아니라 물류 및 포장에도 세심한 주의를 기울입니다. 정밀 기기의 운송 과정은 매우 중요하며, 일단 손상되면 고객의 정상적인 생산에 영향을 미칩니다. 저희 포장팀은 엄격한 교육을 거쳐 정밀 기기 포장 기술을 완벽하게 숙달했습니다. 이를 위해 완벽한 물류 시스템을 구축하고 세계적인 물류 회사들과 협력하여 고객이 제품을 최단 시간 내에 받아보실 수 있도록 최선을 다하고 있습니다.