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마그네트론 스퍼터링 코터
1. 진공 마그네트론 스퍼터링 코팅기는 대용량 스퍼터링 진공 챔버와 전기장 내의 가스 이온화 특성에 따라 해당 면적의 스퍼터링 타겟을 사용하여 스퍼터링 코팅을 보다 균일하고 순수하게 만들 수 있습니다.
2. 진공 마그네트론 스퍼터링 코팅기의 스퍼터링 헤드는 펠티에 냉각 기술을 채택하여 고성능, 미세 입자 코팅을 얻습니다.
3. 진공 마그네트론 스퍼터링 코팅기는 수냉식 스퍼터링 헤드와 수냉식 스테이지를 사용할 수 있습니다.
- Shenyang Kejing
- 선양, 랴오닝
- 10일 근무
- 50세트
- 정보
수냉식 마그네트론 스퍼터 코팅기 소개:
GSL-1100X-에스피씨-16M 마그네트론 스퍼터 코팅 장비(수냉식)는 진공 환경에서 타겟에 입자를 충돌시켜 발생하는 스퍼터링 효과를 이용하여 타겟 원자 또는 분자를 고체 표면에서 방출시키고 기판에 증착시켜 박막을 형성합니다. 이는 물리 기상 증착(PVD) 박막 제조 기술의 한 유형입니다. 간단하고 신뢰성이 높으며 경제적인 이 코팅 장비는 실험실에서 다양한 복합 필름 샘플을 제조하고 비전도성 재료의 실험용 전극을 제작하는 데 적합합니다. 수냉식 마그네트론 스퍼터 코팅 장비는 실험실에서 주사 전자 현미경 샘플을 제조하는 데 사용할 수 있으며, 크기가 작아 실험실 공간을 절약할 수 있습니다. 조작이 간편하여 초보자도 쉽게 사용할 수 있습니다.
PVD 스퍼터 코터의 장점:
1. 장착진공 게이지그리고스퍼터링 전류계이 시스템을 사용하면 운영 조건을 실시간으로 모니터링할 수 있습니다.
2. 조정하여스퍼터링 전류 컨트롤러그리고마이크로 진공 밸브사용자는 챔버 압력, 이온화 전류를 제어하고 원하는 이온화 가스를 선택하여 최적의 필름 증착 조건을 달성할 수 있습니다.
3. 그고무 실링 링유리 종 모양의 유리병의 가장자리는 장기간 사용 후에도 유리가 깨지는 것을 방지하도록 특별히 디자인되었습니다.
4. 그세라믹 밀봉 고전압 전극 커넥터기존 고무 씰보다 내구성이 뛰어납니다.
5. 전기장 내에서 가스의 이온화 특성을 기반으로 시스템은대용량 스퍼터링 챔버그리고적절한 지역을 목표로 삼다보다 균일하고 순수한 스퍼터링 코팅을 보장합니다.
6. 그스퍼터링 헤드채택하다펠티에 냉각 기술미세한 입자 구조를 가진 고성능 코팅이 가능합니다.
7. 둘 다수냉식 스퍼터링 헤드그리고수냉식 샘플 홀더이용 가능합니다.
PVD 스퍼터 코터의 기술적 매개변수:
| 제품명 | GSL-1100X-에스피씨-16M PVD 스퍼터 코터 | |
| 제품 모델 | GSL-1100X-에스피씨-16M | |
| 설치 조건 | 본 장비는 25℃±15℃의 온도와 55%Rh±10%Rh의 습도에서 사용해야 합니다. 1. 물: 장비에는 자체 순환 냉각수 장치(순수 또는 탈이온수로 채워짐)가 장착되어야 합니다. 2. 전기: AC220V 50Hz, 접지가 잘 되어야 합니다. 3. 가스: 장비 챔버는 아르곤(순도 99.99% 이상)으로 채워야 하며, 아르곤 가스 실린더(감압 밸브 포함)를 준비해야 합니다. 4. 작업대 : 크기 600mm×600mm×700mm, 하중 지지 용량 50kg 이상. 5. 환기 장치: 필요하지 않음. | |
| 주요 매개변수 | 1. 타겟: Ø50mm. 2. 진공 챔버: Ø160mm×120mm. 3. 진공도 : ≤4×10-2엠바. 4. 최대 전류: 100mA. 5. 설정 가능한 제한 시간: 9999초. 6. 마이크로 진공 공기 밸브: Ø3mm 호스에 연결됨. 7. 제한 전압: 1600V DC. 8. 기계식 펌프: 2L/s. 9. 대상 소재: · 크기 요구 사항 : φ50mm×(0.1-0.5)mm(두께). · 오, 애그, 구리 및 기타 금속의 스퍼터링에 적합합니다(당사에서 구매 가능). | |
10. 제품 사양: · 크기: 360mm×300mm×380mm. · 무게: · 전체 무게: 50kg. · 주요 기계의 순중량: 15kg. |
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PVD 스퍼터 코터의 표준 액세서리:
| 아니요. | 이름 | 수량 | 그림 |
| 1 | 골드 스퍼터링 타겟 | 1개 | -- |
| 2 | 입구 니들 밸브 | 1개 | -- |
| 3 | 퓨즈 | 2개 | -- |
PVD 스퍼터 코터의 옵션 액세서리:
| 아니요. | 이름 | 기능 | 그림 |
| 1 | 금, 인듐, 은, 백금 등 다양한 스퍼터링 타겟 | (선택 과목) | -- |
회사 소개:
저희는 제품 품질에 대한 높은 기준을 유지할 뿐만 아니라 물류 및 포장에도 세심한 주의를 기울입니다. 정밀 기기의 운송 과정은 매우 중요하며, 일단 손상되면 고객의 정상적인 생산에 영향을 미칩니다. 저희 포장팀은 엄격한 교육을 거쳐 정밀 기기 포장 기술을 완벽하게 숙달했습니다. 이를 위해 완벽한 물류 시스템을 구축하고 세계적인 물류 회사들과 협력하여 고객이 제품을 최단 시간 내에 받아보실 수 있도록 최선을 다하고 있습니다.
