진공 펌프가 포함된 플라즈마 클리너

PCE-6 소형 플라즈마 청소기의 플라즈마 챔버는 Ø160mm×190mm 크기의 석영 챔버입니다. 사용된 RF 전력은 3.0MHz(1%)이며, 출력 전력은 7.2W, 10.2W, 29.6W 3단계로 조절 가능하다. 이 기계는 주로 공기, 산소, 아르곤 및 기타 가스의 플라즈마를 통해 기판의 산화물 층과 오염 물질을 제거하며 물체 표면의 특성 (예: 친수성 및 소수성 등)을 변경할 수도 있습니다.

브랜드: Shenyang Kejing
제품 산지: 중국 선양
납품 가격: 영업일 기준 10일
공급 능력: 50세트

정보

주요 특징

1. 제어판의 버튼과 스위치를 통해 RF 전원, 진공 펌프의 개폐, 청소 시간을 제어 및 조정할 수 있습니다.

2. 시간, 전력, 진공도 및 기타 정보는 4개의 디지털 튜브 그룹에 표시됩니다.

3. 흡입 공기 흐름을 정밀하게 제어하고 대기 공기로 챔버를 청소할 수 있는 3방향 밸브가 장착되어 있습니다. 흡기 인터페이스는 6mm 카드 슬리브 인터페이스입니다.

4. 플라즈마 에칭 및 애싱 실험을 수행하기 위해 대용량 RF 전원 공급 장치를 선택합니다.

티기술적 매개변수

상품명	PCE-6 소형 플라즈마 클리너
제품 모델	PCE-6
주요 매개변수 (사양)	1. 전원 공급 장치: AC220V 50/60Hz 2. 출력 전력: 7.2W, 10.2W, 29.6W 3. 진공 펌프 전력: <500W 4. 총 전력: <600W 5. RF 주파수: 3.0MHz, 전력은 3단계로 수동으로 조정할 수 있습니다. 6. 플라즈마 챔버: Ø160mm×190mm의 고순도 석영 챔버, 플랜지에 Ø45mm의 관찰 창이 있는 알루미늄 접힌 플랜지로 밀봉됨 7. 진공 펌프: 120L/분, 직결형 2단 로터리 진공 펌프 8. 궁극적인 진공: 50mtorr 9. 가스 도입 : N 등 다양한 가스를 도입하여 플라즈마를 생성할 수 있습니다.₂, 아르, H₂, O2, 공기 및 혼합 가스(재료 특성에 따라 선택) 세척 및 에칭용
제품 크기 및 무게	차원: 400mm×300mm×300mm 안에여덟:10.2kg
옵션 액세서리	1. 2"-6"석영 보트/캐리어(기판 고정용) 2. 2-4채널 양성자 또는 플로트 가스 혼합 시스템