플라스마 3타겟 스퍼터링 장비
브랜드 Shenyang Kejing
제품 산지 선양, 랴오닝
납품 가격 10일 근무일
공급 능력 50세트
1. 삼 목표 혈장 스퍼터링 Coater에는 진공계와 스퍼터링 전류계가 장착되어 있어 언제든지 장비의 작동을 모니터링하여 안정적이고 신뢰할 수 있는 코팅 효과를 얻을 수 있습니다.
2. 3타겟 플라즈마 스퍼터링 코터는 스퍼터링 전류 컨트롤러와 마이크로 진공 공기 밸브를 통해 진공 챔버 압력, 이온화 전류를 조절하고 적절한 이온화 가스를 선택하여 코팅 효과를 최적화합니다.
3. 특별히 설계된 벨자 가장자리 고무 씰은 장기간 사용 후에도 유리 벨자가 깨지지 않도록 하여 삼 목표 혈장 스퍼터링 Coater의 내구성을 향상시킵니다.
3가지 타겟 스퍼터링 코터 소개:
지엘에스엘-1100X-에스피씨(주)-16-3 3개 타겟 스퍼터링 코터는 다이오드(직류) 직류 스퍼터링의 원리를 기반으로 설계된 간단하고 안정적이며 경제적인 코팅 장비입니다(직류 다이오드 스퍼터링 코팅은 진공 환경에서 타겟 재료의 입자 폭격으로 생성된 스퍼터링 효과를 사용하여 타겟 재료 원자 또는 분자를 고체 표면에서 방출하여 기판에 증착하여 박막을 형성하는 공정을 말합니다. 일종의 물리 기상 증착(물리화학적 특성) 박막 제조 기술입니다.) 3개 타겟 스퍼터링 코터의 특징은 진공 챔버에 3개의 타겟이 설치되어 있고 회전 샘플 스테이지가 동일한 샘플에 차례로 3개 재료를 코팅할 수 있다는 것입니다. 따라서 실험실에서 다양한 복합 필름 샘플을 준비하고 비전도성 재료를 위한 실험 전극을 생산하는 데 적합합니다. 3개 타겟 스퍼터링 코터는 크기가 작고 실험실 공간을 절약하며 작동이 쉽고 특히 실험실 사용에 적합합니다.
3개 타겟 헤드 플라즈마 스퍼터링 코터의 장점:
1. 3개의 타겟 헤드 플라즈마 스퍼터링 코터는 세라믹 밀봉 고전압 전극 조인트를 사용하는데, 이는 기존 고무 씰에 비해 내구성이 뛰어나고 유지 보수 비용을 줄여줍니다.
2. 3개 타겟 헤드 플라즈마 스퍼터링 코터는 대용량 스퍼터링 진공 챔버와 해당 면적의 스퍼터링 타겟을 사용하여 코팅의 균일성과 순도를 향상시킬 수 있습니다.
3. 3개의 타겟 헤드 플라즈마 스퍼터링 코터는 씨. 인증을 통과하였으며 안전 기준을 충족합니다.
3개 타겟 플라즈마 스퍼터링 코터의 기술적 매개변수:
| 제품 이름 | 지엘에스엘-1100X-에스피씨(주)-16-3 3개 타겟 헤드 플라스마 스퍼터링 코터 |
| 제품 모델 | 지엘에스엘-1100X-에스피씨(주)-16-3 |
| 설치 조건 | 본 장비는 고도 1000m 미만, 온도 25℃±15℃, 습도 55%Rh±10%Rh의 환경에서 사용해야 합니다. 1. 물: 필요하지 않음. 2. 전기 : AC220V 50Hz, 접지가 잘 되어 있어야 합니다. 3. 가스: 장비 챔버는 아르곤(순도 99.99% 이상)으로 채워야 하며, 압력 감소 밸브가 있는 아르곤 가스 실린더를 직접 준비해야 합니다. 4. 작업대 : 크기 600mm×600mm×700mm, 하중 지지 용량 50kg 이상. 5. 환기 장치 : 필요하지 않음. |
| 주요 매개변수 | 1. 타겟 직경 : Ø45mm. 2. 진공 챔버 : Ø160mm×120mm. 3. 진공도 : ≤4×10-2mbar. 4. 타겟 위치 : 3. 5. 최대 전류 : 50mA. 6. 설정 가능한 제한 시간: 900초. 7. 마이크로 진공 공기 밸브: Ø3mm 호스에 연결됨. 8. 제한 전압: 1600V 직류. 9. 기계식 펌프: 2L/s. |
3개 타겟 플라즈마 스퍼터링 코터의 표준 액세서리:
| 아니요. | 이름 | 수량 | 그림 |
| 1 | 골드 스퍼터링 타겟 | 1개 | -- |
| 2 | 구리 스퍼터링 타겟 | 1개 | -- |
| 3 | 알루미늄 스퍼터링 타겟 | 1개 | -- |
| 4 | 열 증발 액세서리 | 1 조각 | -- |
| 5 | 퓨즈 | 2개 | -- |
3개 타겟 스퍼터링 코터의 옵션 액세서리:
| 아니요. | 이름 | 기능 | 그림 |
| 1 | 금, 인듐, 은, 백금 등 다양한 스퍼터링 타겟 | (선택 과목) | -- |
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