- 집
- >
- 제품
- >
- 3타겟 마그네트론 스퍼터링 장비
- >
3타겟 마그네트론 스퍼터링 장비
1. 3타겟 코팅장비는 정밀도가 높고, 결과오차가 적으며, 사용시 안심이 더 큽니다.
2. 3타겟 코팅 장비는 조작이 간편하고 학습 시간을 단축합니다.
3. 3타겟 코팅 장비는 다양한 소재에 적합하여 여러 장비의 소모를 줄일 수 있습니다.
- Shenyang Kejing
- 중국 선양
- 10일 근무
- 50세트
- 정보
3타겟 진공코팅 장비 소개:
비티씨-600-3HD-1000 3타겟 진공 코팅 장비는 당사에서 새롭게 개발한 고진공 코팅 장비입니다. 단층 또는 다층 강유전체 필름, 전도성 필름, 합금 필름, 반도체 필름, 세라믹 필름, 유전체 필름, 광학 필름, 산화 필름, 경질 필름, 폴리테트라플루오로에틸렌 필름 등을 제조하는 데 사용할 수 있습니다. 비티씨-600-3HD-1000 3타겟 진공 코팅 장비는 3개의 타겟 건과 3개의 전원 공급 장치를 갖추고 있으며, 하나의 RF 전원 공급 장치는 비전도성 재료의 스퍼터링 코팅에 사용되고, 하나의 DC 전원 공급 장치는 전도성 재료의 스퍼터링 코팅에 사용되며, 강력한 자성 타겟은 강자성 재료의 스퍼터링 코팅에 사용할 수 있습니다. 유사한 장비와 비교하여 3타겟 진공 코팅 장비는 크기가 작고 조작이 쉬우며 광범위한 재료를 사용할 수 있다는 장점이 있습니다. 실험실에서 다양한 재료 필름을 제조하는 데 이상적인 장비입니다.
고진공 트리플 타겟 스퍼터 코터의 주요 특징:
1. 고진공 트리플 타겟 스퍼터 코터는 3개의 타겟 건을 갖추고 있으며, 2개의 매칭 RF 전원 공급 장치는 비전도성 타겟 재료의 스퍼터링 코팅에 사용되고, 1개의 매칭 DC 전원 공급 장치는 전도성 재료의 스퍼터링 코팅에 사용됩니다.
2. 고진공 트리플 타겟 스퍼터 코터는 다양한 박막을 제조할 수 있으며 널리 사용됩니다.
3. 고진공 트리플 타겟 스퍼터 코터는 크기가 작고 조작이 간편합니다.
3타겟 코팅 장비의 기술적 매개변수:
| 제품명 | 비티씨-600-3HD-1000 듀얼 타겟 마그네트론 스퍼터링 장비 |
제품 모델 | 비티씨-600-3HD-1000 |
| 설치 조건 | 본 장비는 온도 25℃±15℃, 습도 55%RH±10%RH의 조건에서 작동되어야 합니다. 1. 물: 장비에는 자체 순환 냉각기가 장착되어 있습니다(정제수나 탈이온수를 채웁니다). 2. 전원: AC 220V, 50Hz, 적절한 접지가 필요합니다. 3. 가스: 챔버는 아르곤 가스(순도 ≥ 99.99%)로 채워야 합니다. 사용자는 Ø6mm 이중 페룰 피팅이 있는 아르곤 실린더와 압력 조절기를 준비해야 합니다. 4. 작업대: 치수 1500mm × 600mm × 700mm, 하중 용량 ≥ 200kg. 5. 환기: 필수. |
주요 매개변수 | 1. 입력 전원: 220V/50Hz. 2. 스퍼터링 타겟의 개수: 3개. 3. 챔버 내경: Ø300mm. 4. 표적총의 냉각방식 : 수냉. 5. 최종 진공도: 7.4E-5pa. 6. 진공 챔버 사양: Φ300×330 mm. 7. 진공 시스템: VRD-16 기계식 펌프 FF-100/150 터보 분자 펌프. 8. 진공 회복: 시스템을 대기에서 5.0E-3pa≤30분으로 펌핑합니다(시스템을 짧은 시간 동안 대기에 노출시킵니다). 9. 팽창 시스템: 2방향 질량 유량계(1방향 아르곤 100scc, 1방향 아르곤 200scc) 특수 가스는 사용자 정의가 가능합니다. 10. 스퍼터링 타겟 사양: Φ2", 두께 0.1-5mm(두께는 타겟 소재에 따라 다름). 11. 샘플 스테이지: Φ70mm//가열 가능(실온 ~ 1000℃). |
제품 사양 | 호스트 크기 : 폭 900mm × 깊이 650mm × 높이 1100mm |
옵션 액세서리
| 아니요. | 이름 | 기능 범주 | 영상 |
| 1 | 다양한 타겟(금, 인듐, 은, 백금 등) | 선택 과목 | - |
| 2 | 강력한 자기 타겟(강자성체 스퍼터링용) | 선택 과목 | - |
| 3 | 마스크 | 선택 과목 | - |
| 4 | 진동 샘플 스테이지 | 선택 과목 | - |
| 5 | 이중 레이어 회전 코팅 고정 장치 | 선택 과목 |  |
보증:
1년 제한 보증, 평생 지원(부적절한 보관 조건으로 인한 녹슨 부품 제외).
기호 논리학
회사 소개:
저희 회사는 수년간 필름 제작 분야에 깊이 관여해 왔으며 풍부한 경험을 보유하고 있습니다. 다양한 소재에 적합한 다양한 장비를 보유하고 있어 고객의 다양한 요구를 충족시켜 드립니다. 장비의 효과 테스트도 도와드립니다. 샘플을 제공해 주시면 저희가 직접 샘플을 제작하여 제품의 효과를 더욱 직관적으로 확인하실 수 있도록 도와드립니다. 제품에 만족하시면 구매를 통해 더욱 원활하게 작업하실 수 있습니다.
상담부터 애프터서비스까지 모든 고객에게 최고의 서비스를 제공합니다. 저희 전문 팀은 고객님께 적합한 장비를 추천해 드리고, 제품 사용 중 기술 지원을 제공하며, 문의 사항에 답변하고, 프로젝트를 더욱 원활하게 진행할 수 있도록 도와드립니다. 저희는 오랜 경험을 바탕으로 더 많은 기업이 목표를 달성할 수 있도록 도울 수 있다고 확신합니다.
