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진공 가열 스핀 코터
1. VTC-100PAD 연구실용 스핀 코터는 반도체, 결정 및 광학 부품에 박막 및 코팅을 정밀하게 증착하도록 설계된 고성능 연구실용 스핀 코터입니다.
2. 연구실용 스핀 코터는 통합 가열 시스템(최대 100°C)과 내식성 PTFE 챔버를 갖추고 있어 페로브스카이트 태양 전지, 유기 전자 장치 및 첨단 재료 분석 분야 연구자들에게 최적의 솔루션입니다.
- Shenyang Kejing
- 중국 선양
- 10영업일
- 50세트
- 정보
VTC-100PAD 진공 가열 코팅기 소개:
VTC-100PAD 진공 가열 코팅기는 반도체, 결정, 광학 부품 및 인쇄판과 같은 재료의 표면 코팅 및 박막 준비 공정을 위해 설계되었습니다.
이 박막 준비 장비는 강산 및 강염기를 포함한 부식성 코팅 용액과 호환되므로 다양한 복잡한 공정의 요구 사항을 충족합니다. 이 장비는 가열 기능이 통합된 3인치 알루미늄 진공 척이 기본으로 제공되며, 다양한 시료 크기에 맞춰 여러 사양의 척을 맞춤 제작할 수도 있습니다.
작동 중에는 진공 흡착을 통해 시료가 시료 홀더에 고정되어 작동 안정성과 정밀한 위치 지정이 보장됩니다. 이 시스템은 다중 세그먼트 프로그래밍 제어를 지원하며, 각 프로그램은 6개의 개별 작동 단계로 구성됩니다. 이를 통해 회전 속도를 단계적으로 조정하고 부드럽게 가속할 수 있어 시료 표면의 박막 균일성을 효과적으로 향상시키고 재료 낭비를 최소화합니다.
이 장비는 콤팩트한 구조, 손쉬운 작동, 간편한 청소 및 유지 관리가 특징이며, 박막 제조 및 재료 연구 분야에서 대학, 연구 기관 및 관련 연구실에서 널리 활용되고 있습니다.
소형 스핀 코팅기의 기술 사양:
| 제품명 | VTC-100PAD 진공 가열 코팅기 (실험실용 스핀 코팅기) | |
| 제품 모델 | VTC-100PAD | |
| 박막 준비 장비의 설치 요구 사항 | 1. 온도 및 습도: 상대습도 10~85%(25°C, 비응축); 온도: 0~45°C. 2. 장비 주변 지역은 강한 진동원 및 부식성 가스가 없어야 합니다. 3. 물: 해당 장비에는 배수구가 장착되어 있습니다. 4. 전원: 단상 교류 220V, 50Hz; 표준 3핀 소켓(10A); 적절하게 접지되어야 합니다. 5. 가스: 진공 펌프를 통한 진공 공급, 펌핑 유량은 70L/min 이상이어야 합니다. (이 장비는 Ar 또는 N2와 같은 보호용 불활성 가스 주입도 지원합니다.) 6. 작업대: 권장 크기: 800 × 600 × 700 mm; 하중 지지력: 50kg (견고한 콘크리트 작업대를 권장합니다). 7. 환기: 특별한 요구 사항 없음. | |
| 박막 제조 장비의 주요 매개변수 | 1. 진공 가열 코팅기 전원 공급 장치: AC 220V, 50Hz | |
| 2. 코팅 챔버(재질): PTFE(폴리테트라플루오로에틸렌) | ||
| 3. 시료 홀더(진공척): 3인치 알루미늄 진공척 1개 (다른 크기는 요청 시 제공 가능) | ||
| 4. 작동 모드: 1개의 프로그램 세트가 포함되어 있으며, 각 세트는 6개의 개별 작동 단계로 구성됩니다. | ||
| 5. 코팅 속도: 500rpm ~ 10,000rpm (유효 범위); 속도 증가: 100rpm. | ||
| 6. 코팅 시간: 단계별 시간 범위: 1~9999초. | ||
| 7. 속도 안정성: ±1% | ||
| 8. 제어 시스템: PLC 프로그래머 + 터치스크린 인터페이스 | ||
| 9. 가열 방식: 저항선 가열; 가열 제어는 본체 제어 시스템에 통합되어 있습니다. | ||
| 10. 가열 온도: 실온(RT) ~ 100°C; 최대 가열 시간은 9999초까지 설정 가능합니다. 온도 제어는 프로그래밍된 순서와 연동하여 작동하도록 설정하거나 (전용 온도 활성화 키를 통해) 독립적으로 작동하도록 설정할 수 있습니다. | ||
| 11. 가열 전력: AC 220V, 150W; 온도 제어 정확도: ±5°C. | ||
12. 박막 제조 장비 사양: • 크기: 450mm × 280mm × 340mm; • 무게: 20kg |  | |
| 규정 준수 | CE 인증을 획득했으며, UL 또는 CSA 인증은 추가 비용으로 제공됩니다. | |
진공 가열 코팅기의 표준 부속품:
| 아니요. | 이름 | 수량 | 이미지 링크 |
| 1 | 3인치 진공척 (미터법 표준) | 1개 |  |
| 2 | 센터 얼라이너 (얼라이닝 포스트 4개 포함) | 1개 |  |
| 3 | 스포이드 | 1개 |  |
| 4 | 오일 프리 진공 펌프 | 1개 |  |
진공 가열 코팅기의 선택 사양 액세서리:
| 아니요. | 이름 | 기능 범주 | 이미지 링크 |
| 1 | 수입 피펫 | (선택 과목) |  |
| 2 | 국내산 피펫 | (선택 과목) |  |
| 3 | 진공 흡착컵 (기타 사이즈) | (선택 과목) |  |
박막 제조 장비의 주요 특징:
• 실험실용 스핀 코터는 진공 흡착 방식을 이용하여 시료를 고정하며, -0.08 MPa에 달하는 진공도를 통해 간단한 작동과 안정적인 위치 지정을 제공합니다.
• 실험실용 스핀 코터에는 시료 위치 지정 도구가 장착되어 있어 시료를 신속하게 중앙에 위치시킬 수 있으므로, 편심으로 인한 진동이나 시료 배출 문제를 완화합니다.
• 소형 스핀 코팅기는 다양한 시료 크기에 맞춰 여러 사양의 진공 척으로 구성할 수 있으며, 이 척에는 통합 가열 기능이 있고 쉽게 교체할 수 있습니다.
• 24V DC 브러시리스 모터를 사용하여 부드러운 작동, 저소음 및 최소한의 진동을 보장합니다. 안정적인 시동 및 가속 기능으로 증착된 코팅 두께의 일관성과 균일성을 효과적으로 보장합니다.
• 실험실용 스핀 코터는 오일이 필요 없는 이중 실린더 진공 펌프를 장착하고 있으며, 구조가 간단하고 설치 공간이 협소하며 유지 보수가 용이하고 오일 오염이 없다는 특징이 있습니다.
• 코팅 챔버는 폴리테트라플루오로에틸렌(PTFE)으로 제작되어 강산 및 강염기에 대한 내성이 뛰어나고 응력 균열에 대한 저항성이 우수하며 수명이 길습니다. 진공 가열 코팅기 본체는 주조 알루미늄 구조로 제작되어 견고함과 경량성을 모두 보장합니다.
• 실험실용 스핀 코터 시스템은 불활성 가스 분위기(예: Ar 또는 N₂) 내에서 수행되는 박막 제조 공정을 지원합니다.
• 실험실용 스핀 코터는 PLC 제어 시스템과 터치스크린 인터페이스를 탑재하여 직관적인 파라미터 표시와 편리하고 안정적인 작동을 보장합니다. • 박막 제조 장비는 뚜껑 열림 안전 보호 기능을 갖추고 있어 작동 중 뚜껑이 열리면 장비가 자동으로 감속하여 완전히 정지함으로써 작동 안전성을 향상시킵니다.
실험실용 스핀코터의 응용 분야:
페로브스카이트 태양전지: 현장 가열을 통한 결정화 최적화.
반도체 웨이퍼: 포토레지스트 코팅 및 표면 처리.
광학 코팅: 다층 필터 및 반사 방지 코팅.
생체재료: 바이오센서용 기능성 박막 코팅.
미세유체공학: 채널 코팅 및 PDMS 가공.
박막 제조 장비 관련 FAQ:
질문: 이 진공 가열 코팅기는 글러브박스 안에서 사용할 수 있습니까?
A: 네, 컴팩트한 크기와 진공/가스 포트 설계 덕분에 Ar/N2 글러브박스 환경에 완벽하게 호환됩니다.
Q: 이 장비가 처리할 수 있는 최대 기판 크기는 얼마입니까?
A: 기본 모델에는 3인치 척이 포함되어 있지만, 다양한 모양과 크기에 맞는 맞춤형 진공 척도 제공합니다.
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