진공관로의 작동 절차

재료 연구 개발 및 반도체 제조 분야의 B-끝 구매자를 위해 표준화된 운영을 숙지합니다.소형 진공관로실험 안전성, 데이터 재현성 및 장비 수명을 보장할 수 있습니다. 컴팩트한 디자인과 정밀한 온도 제어를 통해소형 진공관로대학 실험실, R&D 센터, 중소기업 등에서 소량 생산되는 고온 진공 실험에 가장 선호되는 선택이 되었습니다. 이 글에서는 전체 공정 운영 절차를 소개합니다.소형 진공관로장비의 성능을 최대한 발휘할 수 있도록 도와드립니다.

시작하기 전에 세 가지 검사를 완료해야 합니다.소형 진공관로잠재적 위험을 방지하기 위해 첫 번째 단계는 장비 상태 점검입니다. 퍼니스 외부 케이스가 손상되지 않았는지, 퍼니스 튜브가 갈라지지 않았는지, 전원 코드와 제어 라인이 단단히 연결되어 있는지, 그리고 진공 시스템이 느슨하거나 노후화되지 않았는지 확인해야 합니다. 두 번째 단계는 공랭 시스템을 점검하는 것입니다. 냉각 팬의 외관을 확인해야 합니다.소형 진공관로손상되지 않았고 공기 배출구가 막히지 않았는지 확인하십시오. 전원을 켠 후 팬이 정상적으로 작동하는지 테스트하고, 팬 방진망이 깨끗한지 확인하여 방열 불량으로 인한 과열 및 퍼니스 내부 부품 손상을 방지하십시오. 마지막으로 샘플 준비 및 툴링이 필요합니다. 장비의 150mm 가열 구역 길이 특성을 고려하여 적합한 소형 샘플 보트를 선택하고 샘플을 보트에 고르게 넣은 다음, 샘플 보트를 퍼니스 튜브 중앙의 가열 구역에 천천히 밀어 넣고 퍼니스 도어를 닫은 후 플랜지 버클을 조여 진공 밀봉면이 단단히 고정되도록 해야 합니다.

시동 단계에서는 진공 우선 원칙에 따라 작동해야 합니다. 먼저 진공 펌프의 전원을 켜고 진공 밸브를 천천히 엽니다. 진공도가 장비의 표준 값에 도달하면 10~15분 동안 계속 작동하여 노 튜브 내 잔류 공기를 제거합니다. 그런 다음 온도 제어 시스템을 시동하고 가열 곡선을 설정합니다. 가열 속도는 2~10℃/min이 권장됩니다. 1800℃는 단기간 최고 온도입니다.소형 진공관로1회 연속 사용은 30분을 초과할 수 없습니다. 일반 작업에는 800~1750℃의 온도를 사용하는 것이 좋으며, 이는 실리콘-몰리브덴 막대형 발열체의 수명을 연장할 수 있습니다.

가열 과정에서는 매개변수 변화에 동적으로 주의를 기울여야 합니다. 목표 온도에 도달하기 30분 전에는 5분마다 온도 제어 디스플레이 온도 및 진공 게이지 판독값을 기록하여 실제 온도와 설정값의 편차가 ≤±1℃가 되도록 하고 진공도에 비정상적인 변동이 없는지 확인해야 합니다. 동시에 10분마다 공랭식 시스템 상태를 확인하고 측면을 터치해야 합니다.소형 진공관로쉘을 점검하여 온도가 비정상적으로 상승하지 않고 팬이 안정적으로 작동하는지 확인합니다. 온도가 목표값에 도달하면 단열 단계로 진입합니다. 이때 진공 펌프를 계속 작동시켜야 하며, 단열 단계에서는 과도한 온도 변동이 실험 결과에 영향을 미치지 않도록 온도 매개변수를 자주 조정하지 않아야 합니다. 또한 단열 단계에서는 로 내부로 공기가 갑자기 유입되어 산화 반응을 일으키거나 급격한 압력 변화로 인해 로 내부가 파손되는 것을 방지하기 위해 로 문을 열거나 플랜지 버클을 조정하는 것이 금지됩니다.

실험 종료 후에는 공정에 따라 냉각이 필요합니다. 먼저 온도 조절 시스템의 가열 기능을 끄고 냉각 시스템과 진공 펌프를 계속 작동시킨 후, 퍼니스 내부 온도가 300℃ 이하로 떨어질 때까지 기다립니다. 그런 다음 진공 펌프를 끄고 진공 밸브를 천천히 열어 불활성 가스를 통과시켜 압력 균형을 맞춥니다. 온도가 100℃ 이하로 더 떨어지면 퍼니스 도어를 열어 샘플 보트를 꺼낼 수 있습니다. 물론, 후속 유지보수도 간과할 수 없습니다. 실험 종료 후에는 알코올에 적신 먼지 없는 천을 사용하여 퍼니스 튜브에 남아 있는 샘플 잔여물을 닦아내고 진공 밀봉 링의 마모 여부를 확인합니다. 변형되거나 노후화된 경우 적절한 시기에 교체해야 합니다. 마지막으로 모든 장비의 전원을 끄고 팬 방진망을 청소한 후, 이 실험의 온도 곡선, 진공도 변화 및 장비 작동 상태를 기록하고, 이후 유지보수 및 공정 최적화를 위한 참고 자료로 운영 일지를 작성합니다.소형 진공관로.