듀얼 가열 구역 분할형 관로의 가장 큰 장점은 무엇입니까?

이중 가열 구역 분할 관로가열 튜브 본체를 두 개의 독립적인 가열 영역으로 분할합니다. 각 영역에는 전용 가열 소자와 온도 제어 시스템이 장착되어 있어 하나의 영역과 하나의 제어 장치의 정밀한 작동을 구현합니다. 이 설계는 관형로의 단일 온도 영역에서 전체 온도 제어 및 균일한 온도 제어의 한계를 극복하며, 온도 구배가 발생하지 않습니다. 실험 또는 생산 요구에 따라 두 온도 영역에 서로 다른 목표 온도를 설정하고, 고정밀 온도 제어 시스템을 통해 각 온도 영역의 온도 변동을 ±1℃ 이내로 제어하여 온도 구배를 안정적이고 지속적으로 유지할 수 있습니다. 예를 들어, 반도체 재료의 기상 증착 공정에서 원료 증발 영역과 박막 성장 영역은 서로 다른 온도로 설정되어야 합니다. 증발 영역은 원료를 완전히 기화시키기 위해 더 높은 온도를 유지해야 하고, 성장 영역은 박막이 균일하게 증착되도록 더 낮은 온도로 제어해야 하므로, 독립적인 온도 제어 기능이 필요합니다.이중 가열 구역 분할 관로온도로 인해 단일 온도 구역 장비가 분리되지 않아 발생하는 원자재 낭비나 불안정한 필름 품질을 방지하여 이러한 요구 사항을 충족합니다.

그리고 우리의이중 가열 구역 분할 관로독립적인 이중 온도 구역에서 정밀한 온도 제어의 장점을 더욱 강화하여 B 단자 사용자에게 더 나은 성능 경험을 제공합니다. 우선, 가열 시스템 설계 시 U자형 1500등급 실리콘 카바이드 막대를 가열 소자로 사용했습니다. 기존 저항선이나 일반 실리콘 카본 막대를 가열하는 것과 비교했을 때, U자형 1500등급 실리콘 카바이드 막대는 고온 저항 안정성과 열 복사 효율이 뛰어나며, 노화나 감쇠 없이 1400℃의 고온에서 장시간 연속 작동할 수 있습니다. 동시에 가열 속도가 빨라 실험 또는 생산 주기를 크게 단축할 수 있습니다. 각 온도 구역의 실리콘 카바이드 막대는 대칭적이고 독립적으로 배열됩니다. 파티션에 고밀도 알루미나 단열재를 최적화하여 설계함으로써 두 온도 구역 사이의 열 전도 간섭을 효과적으로 차단하여 정확한 온도 구배가 필요한 실험에 신뢰성 있는 성능을 제공합니다.

또한, 온도 제어 시스템에는 듀얼 채널 독립 피아이디 지능형 온도 조절 장치가 장착되어 있으며, 온도 측정 소자로 고정밀 S형 열전대가 장착되어 있습니다. S형 열전대는 고온 영역에서 온도 측정 안정성과 정확도가 매우 뛰어나며, 두 온도 영역의 미묘한 온도 변화를 실시간으로 포착하여 온도 조절 장치에 피드백하여 적시에 정확한 온도 제어를 제공합니다. 이 시스템은 다단계 프로그램 가열, 정온 및 냉각 곡선의 사전 설정 및 자동 운전을 지원합니다. 사용자는 공정 요구 사항에 따라 다양한 온도 영역의 온도 변화 리듬을 한 번에 설정할 수 있으며, 장비는 수동 조작 없이 자동으로 작업을 수행하여 인적 오류를 줄일 뿐만 아니라 작업 효율을 향상시킵니다. 또한, 온도 제어 시스템에는 과열 경보, 단선 보호, 과전류 보호와 같은 다양한 안전 기능이 있습니다. 온도 구역 중 하나의 온도가 설정 범위를 초과하거나 S형 열전대에 접촉 불량 및 기타 고장이 발생하면 장비는 즉시 가열 전원 공급을 차단하고 가벼운 경보를 발생시켜 실험 및 생산 공정의 안전을 보호합니다.

이중 가열 구역 분할 관로독립적인 이중 온도 구역에서 정밀한 온도 제어라는 핵심 이점을 통해 이러한 분야의 기술적 혁신을 촉진하는 중요한 장비가 되었습니다.이중 가열 구역 분할 관로성능 면에서 국제적인 선두 수준에 도달할 뿐만 아니라, 맞춤형 솔루션과 풀사이클 서비스를 통해 B-터미널 사용자에게 더 높은 가치를 창출할 수 있습니다. 신뢰할 수 있는이중 가열 구역 분할 관로과학 연구 프로젝트나 생산 라인에 대한 문의는 언제든지 저희에게 연락주시면 무료로 제공해 드리겠습니다. 기술 컨설팅.