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마그네트론 스퍼터링 코터
1. 진공 마그네트론 스퍼터링 코팅기는 대용량 스퍼터링 진공 챔버와 전기장 내의 가스 이온화 특성에 따라 해당 면적의 스퍼터링 타겟을 사용하여 스퍼터링 코팅을 보다 균일하고 순수하게 만들 수 있습니다. 2. 진공 마그네트론 스퍼터링 코팅기의 스퍼터링 헤드는 펠티어 냉각 기술을 채택하여 고성능, 미세 입자 코팅을 얻습니다. 3. 진공 마그네트론 스퍼터링 코팅기는 수냉식 스퍼터링 헤드와 수냉식 스테이지를 사용할 수 있습니다.
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