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플라스마 3타겟 스퍼터링 장비
1. 삼 목표 혈장 스퍼터링 Coater에는 진공계와 스퍼터링 전류계가 장착되어 있어 언제든지 장비의 작동을 모니터링하여 안정적이고 신뢰할 수 있는 코팅 효과를 얻을 수 있습니다. 2. 3타겟 플라즈마 스퍼터링 코터는 스퍼터링 전류 컨트롤러와 마이크로 진공 공기 밸브를 통해 진공 챔버 압력, 이온화 전류를 조절하고 적절한 이온화 가스를 선택하여 코팅 효과를 최적화합니다. 3. 특별히 설계된 벨자 가장자리 고무 씰은 장기간 사용 후에도 유리 벨자가 깨지지 않도록 하여 삼 목표 혈장 스퍼터링 Coater의 내구성을 향상시킵니다.
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