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EQ-TM106 필름 두께 측정기
1. 본 실험실 코팅 검사 장비는 MBE, OLED 및 스퍼터링 공정에 사용되는 고정밀 QCM 박막 두께 측정기입니다. 코팅 두께가 실험 요구 사항을 충족하는지 확인합니다.
2. 또한 이 장비는 실시간 속도 제어, 0.0136Å 해상도 및 PC 데이터 내보내기 기능을 갖추고 있습니다.
3. 본 장비는 전담 사전 판매 및 사후 판매 지원을 제공합니다. 장비 오작동이나 부품 손상이 발생할 경우 즉시 당사에 연락해 주십시오. 당사는 이에 상응하는 1년 보증 서비스(인적 요인으로 인한 고장 제외)를 제공합니다.
- Shenyang Kejing
- 중국 선양
- 10영업일
- 50세트
- 정보
필름 준비 두께 측정기 소개:
EQ-TM106 박막 두께 모니터는 석영 수정 발진 원리와 첨단 주파수 측정 기술을 결합하여 박막 두께를 실시간으로 현장에서 모니터링합니다. 이 장비는 주로 MBE, OLED 열 증착, 마그네트론 스퍼터링 장비와 같은 박막 증착 공정에서 박막 두께와 증착 속도를 지속적으로 모니터링하는 데 사용됩니다.
EQ-TM106 모니터는 박막의 실시간 증착 속도를 기반으로 PWM(펄스 폭 변조) 아날로그 출력 신호를 생성합니다. 전용 두께 센서로서 외부 컨트롤러 및 증착 전원 공급 장치와 통합되어 증착 소스의 폐루프 속도 제어를 가능하게 함으로써 증착된 박막의 두께를 정밀하게 측정할 수 있도록 합니다.
EQ-TM106 박막 두께 측정기는 실험실 공간을 절약하는 컴팩트한 디자인을 특징으로 하며, 간단한 작동 원리와 사용자 친화적인 인터페이스를 갖추고 있어 실험실 규모의 박막 증착 응용 분야에 특히 적합합니다.
제품 기술 사양:
| 제품명 | EQ-TM106 필름 두께 측정기 | ||
| 제품 모델 | EQ-TM106 | ||
| 기술 사양 | EQ-TM106-1 모니터링 모듈 1. 전원 공급: DC 5V(±10%), 최대 전류 400mA 2. 주파수 분해능: ±0.03Hz 3. 박막 두께 분해능: 0.0136 Å (알루미늄) 4. 필름 두께 측정 정확도: ±0.5% (공정 조건, 특히 센서 위치, 재료 응력, 온도 및 밀도에 따라 달라질 수 있음) 5. 측정 속도: 측정당 100ms ~ 1초 (설정 가능) 6. 측정 범위: 500,000Å(알루미늄) 7. 표준 센서 크리스탈: 6MHz 8. 컴퓨터 인터페이스: RS-232/485 직렬 인터페이스 (설정 가능한 전송 속도: 1200, 2400, 4800, 9600, 19200, 38400; 데이터 비트: 8; 정지 비트: 1; 패리티: 없음) 9. 아날로그 출력: 8비트 해상도, PWM(펄스 폭 변조) 출력(오픈 컬렉터 또는 내부 5V 출력) 10. 작동 환경: 온도 0~50°C, 습도 5~85% RH(비응축) 11. 크기: 90mm × 50mm × 18mm | ||
EQ-TM106-2 디스플레이 장치 1. 입력 전원: AC 220V ±10% 2. 출력 전력: DC 5V 3A 3. 디스플레이: 12×2 디지털 튜브 및 LED 4. 통신 포트: RS-485 (선택 가능한 전송 속도: 1200, 2400, 4800, 9600, 19200, 38400; 데이터 비트: 8; 정지 비트: 1; 패리티: 없음) 5. 크기: 182mm × 65mm × 160mm | |||
EQ-TM106-3 프로브 1. 호환 크리스탈 주파수: 6MHz 2. 호환 가능한 크리스탈 크기: 직경 14mm 3. 장착 플랜지: CF35 4. 냉각수 배관: 직경 3mm; 길이: 300mm, 500mm, 1000mm 5. 냉각수 압력: <0.3MPa 6. 공압 셔터 튜브: 직경 3mm 7. 압축 공기 압력: <0.8MPa, >0.5MPa 8. 소성 온도: <200°C (물 흐름 시); 플랜지 <100°C (물 흐름 없음) 9. 전기 인터페이스: BNC 소켓 | |||
| 기본 부속품 | 1 | EQ-TM106-1 모니터링 모듈 | 1개 |
| 2 | EQ-TM106-2 디스플레이 장치 | 1개 | |
| 3 | EQ-TM106-3 프로브 | 1개 | |
박막 증착 모니터의 주요 특징:
1. 이 장치는 컴퓨터에 연결할 수 있습니다.
2. 디스플레이 장치는 깔끔하고 직관적이며 잘 정리된 인터페이스를 갖추고 있어 편리하고 신속한 조작이 가능합니다. 측정된 박막 두께, 증착 속도, 주파수 및 PWM 제어 출력 백분율을 포함한 작동 매개변수를 실시간으로 시각적으로 표시합니다.
3. 사용자는 소프트웨어 또는 디스플레이 장치를 통해 게이트 시간, 출력 모드, 속도 알고리즘, 재료 매개변수, 출력 범위 및 통신 매개변수와 같은 다양한 설정을 구성할 수 있으며 관련 측정 데이터를 Excel 파일로 직접 내보낼 수 있습니다.
4. 이 장치는 컴팩트한 크기, 높은 측정 정밀도, 간단한 작동 및 사용자 친화적인 편의성을 자랑합니다.
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정밀 재료 과학 장비에 투자할 때는 단순한 공급업체 이상의 것이 필요합니다. 바로 신뢰할 수 있는 기술 파트너가 필요한 것입니다.
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