1100℃ 이중 온도 구역 관형로

· 이중 가열 존 튜브로는 이중층 쉘 구조를 채택하고 공기 냉각 시스템을 갖추고 있습니다.

· 이중 가열 구역 분할 관로에는 2개의 알루미나 파이프 플러그가 장착되어 있습니다. 이중 가열 구역 분할 관로를 사용할 경우, 파이프를 로 파이프 양쪽 끝에 막아야 합니다(항온 구역과 밀봉 링의 밀봉을 보장하기 위해).

· 고순도 알루미나 섬유를 로 재료로 사용(표면은 고온 알루미나 코팅으로 코팅되어 있어 가열 효율을 높이고 로의 수명을 연장할 수 있음)

· 이 용광로는 어닐링 또는 확산 용광로로 사용할 수 있으며, 최대 8개의 웨이퍼를 해당 석영 보트에 놓을 수 있습니다(석영 보트 크기는 선택 사항입니다).

· 전원 공급 : AC 220V 50HZ

· 전력: 8KW

· 온도 : 1000℃ (1100℃<1h)

· 권장 가열 속도: ≤10℃/분

· 열전대 : 이중 K형(그 중 하나는 온도 검사기)

· 발열체 : 페로몰리브덴-크롬 알루미늄 합금

· 가열 구역 길이: 600mm (단일 온도 구역: 600mm; 이중 온도 구역: 300+300mm; 삼중 온도 구역: 200+200+200mm)

· 용광로 튜브 크기: φ6"*1020mm/φ8.5"*1020mm/φ11"*1020mm

· 이중 가열 구역 분할 관로는 힌지 플랜지와 O-링 씰로 밀봉되어 있습니다.

· 왼쪽의 수냉식 플랜지에는 진공 압력 게이지, 스테인리스 스틸 니들 밸브, 그리고 1/4 으으으으 파고다 노즐 조인트가 포함되어 있습니다. 오른쪽의 수냉식 플랜지에는 KF40 진공 인터페이스가 있어 KF40에서 사용하는 벨로우즈, 펌프, 그리고 KF40 배플 밸브에 편리하게 연결할 수 있습니다. (펌프가 KF25 인터페이스인 경우, 당사에서 구매할 수 있는 KF40-KF25 어댑터가 필요합니다.)

· 온도 테스트 장치 세트(보호 열전대, 보상 와이어 및 온도계)를 구매하여 용광로 튜브 내부 온도를 테스트할 수 있습니다.

· 이중 가열 구역 분할형 관로에는 YD858P 유형 온도 컨트롤러가 포함되어 있습니다.

· 피아이디 자동 온도 조절 시스템.

· 지능형 50세그먼트 프로그래밍 가능 제어.

· 온도 제어 정확도: ±1℃.

· 각 온도 구역은 독립적인 온도 제어 시스템에 의해 제어됩니다.

· 기본 DB9 피씨 통신 연결 포트입니다.

· 메트 인증 통과.

· 옵션인 컴퓨터 온도 제어 소프트웨어(YD858P 시리즈 컨트롤러용)를 사용하여 가열 곡선을 제어하고 데이터를 내보냅니다.

듀얼 가열 구역 분할 관로는 1년 보증 및 평생 유지 관리를 제공합니다.

특별 참고 사항：

1. 발열체, 석영관, 시료용기 등의 소모품은 포함되지 않습니다.

2. 부식성 및 산성 가스 사용으로 인한 손상은 보증 대상이 아닙니다.

· 듀얼가열존 고압관로 CE인증 통과

· 인증번호 : M.2021.206.C67998