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1200℃ 분할 진공관로
1. 소형 관로는 프리미엄 씨줄 전기 부품을 사용하여 뛰어난 품질과 효율성을 제공합니다.
2. 온도 제어 정밀도는 +/-1℃에 도달하여 정확한 실험 결과를 보장합니다.
3. 고순도 알루미나 소재로 제작되어 가열 효율이 향상되었습니다.
- Shenyang Kejing
- 중국 선양
- 10일 근무
- 50세트
- 정보
소형 관로에 대한 설명:
오티에프-1200X-5S는 최대 작동 온도가 1100°C인 세 인증 소형 튜브로입니다. 로 튜브는 130mm(또는 100mm) 고순도 석영관으로 제작되었습니다. 이 퍼니스에는 스테인리스 스틸 밀봉 플랜지 한 쌍이 장착되어 있어 진공 또는 대기 보호 조건에서 시료 열처리가 가능합니다. 온도 제어를 위해 ±1°C 정확도의 50단계 램핑 프로그램을 지원합니다. 이 진공관은 5인치 웨이퍼를 최대 용량으로 어닐링할 수 있습니다.
분할관로의 주요 특징:
1. 힌지 플랜지가 있는 5인치 석영관; 넓은 챔버 덕분에 상자형 분위기로 사용 가능(분할형 튜브로 인한 챔버 오염 문제 해소).
2. 4인치 기판의 어닐링이 가능합니다.
3. DIY 알디, CVD, PVD 증발로, 회전로 등의 모듈형 베이스로 활용 가능합니다. (자세한 내용은 전화 문의 바랍니다.)
4. 분할관로는 고순도 알루미나 섬유를 로실 소재로 사용하고, 표면에 고온 알루미나 코팅을 하여 가열 효율을 높였습니다.
5. 분할관로는 씨줄 전기 부품을 사용합니다.
참고: 힌지 플랜지는 선택 사항입니다.
분할관로의 기술적 매개변수:
제품 모델 | 1200℃ 소형 분리형 진공관로(진공관로) (관경 130mm). 오티에프-1200X-5S |
소형관로의 기본 매개변수 | 분할관로의 최대 작동 온도: 1100℃ (<0.5시간) 분할관로의 연속 작동 온도: 1000℃ 분할관로의 권장 가열 속도: ≤10℃/분 가열 구역 길이: 300mm 발열체: 모-도핑 FeCrAl 합금 전압: AC220V 50Hz 전력: 3KW 열전대: K형 |
소형관로의 구조 | 실리콘 개스킷으로 밀봉된 스테인리스 스틸 실링 플랜지 한 쌍이 장착되어 있습니다. 석영관 치수: φ130x750mm. 알루미나 튜브 플러그 2개가 포함되어 있습니다. 작동 중 이 플러그를 퍼니스 튜브 양쪽 끝에 꽂아 항온 구역과 플랜지의 밀봉 상태를 유지하십시오. 오른쪽 플랜지에는 진공 펌프를 연결하기 위한 KF25 인터페이스가 있습니다. 진공 범위: 10⁻² 토르(기계식 펌프 사용). -0.1~0.15MPa의 측정 범위를 갖는 기계식 압력 게이지가 설치됩니다. 이 장비는 피아이디 온도 조절 방식을 채택하고 50단계의 가열/냉각 프로그램을 지원합니다. 과열 보호 및 열전대 파손 보호 기능이 탑재되어 있습니다. |
진공관로의 온도 제어 | 진공관로에는 YD858P 온도 컨트롤러가 1개 포함되어 있습니다. 피아이디 자동 온도 조절 시스템; 지능형 50세그먼트 프로그래밍 가능 제어; 과열 보호 기능과 열전대 고장 경보 기능이 내장되어 있습니다. 온도 제어 정확도: ±1°C; 기본 DB9 피씨 통신 포트; 메트 인증 난방 프로필을 제어하고 데이터를 내보내는 데 사용할 수 있는 옵션 피씨 온도 제어 소프트웨어(YD858P 시리즈 컨트롤러용)가 있습니다. |
진공 시스템(선택 사항) | 듀얼 로터리 베인 기계식 펌프는 10⁻² 토크의 진공 수준을 달성합니다. 더 높은 진공(10⁻⁵ 토르 이상)이 필요한 경우, 국산 또는 수입 고진공 장치를 옵션으로 구입할 수 있습니다. |
제품 치수 및 무게 | 진공관로의 뚜껑 닫힘 치수: 440mm(L) x 440mm(W) x 460mm(H) 플랜지 지지대(각각 260mm) 포함 총 치수: 960mm(길이) x 440mm(폭) x 460mm(높이) 진공관로의 뚜껑을 열었을 때 치수: 440mm(길이) x 440mm(폭) x 700mm(높이) 플랜지 지지대(각 260mm) 포함, 총 길이: 960mm(L) x 650mm(W) x 700mm(H) 진공관로의 온도 조절 장치: 260mm(L) x 350mm(W) x 410mm(H) 진공관로의 무게 : 약 48KG |
인증 | 이 분할관로는 세 인증을 받았습니다. 인증번호: M.2021.206.C67997. 고객이 인증 비용을 부담하는 경우, 당사는 개별 장치가 독일 티유브이 인증이나 CAS 인증을 통과하도록 보장합니다. |
보증 기간 | 스플릿 튜브 퍼니스는 1년 보증과 평생 유지관리가 가능합니다. 특별 참고 사항: 발열체, 석영관, 샘플 등의 소모품은 보증 대상에서 제외됩니다. 부식성 가스 또는 산성 가스로 인한 손상은 보증 대상에서 제외됩니다. |
규정 준수 | 추가 비용으로 세 인증, UL 또는 CSA 인증을 받을 수 있습니다. |
우리 회사에 대하여:
당사는 모든 소형 튜브로에 대해 평생 기술 지원과 지속적인 업그레이드를 약속합니다. 소프트웨어 시스템 업데이트부터 하드웨어 기능 확장 및 업그레이드까지, 당사는 고객 요구에 유연하게 대응합니다. 체계적으로 관리되는 예비 부품 재고는 일반적인 소형 튜브로 부품의 기성품 가용성을 보장하고, 특수 액세서리의 신속한 맞춤 제작을 통해 소형 튜브로의 원활한 생산 및 실험 사용을 보장합니다. 또한 당사는 고객 피드백을 최우선으로 고려하여 정기적인 만족도 조사 및 재방문을 실시하고, 사용자 제안을 기반으로 소형 튜브로 및 서비스 프로세스를 최적화함으로써 고객과의 동반 성장 및 상생 협력이라는 장기적인 목표를 달성하고 있습니다.