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4개의 가열원을 갖춘 진공 열 증발 코팅기
GSL-1800X-ZF4 증발 코터는 고진공 증발 코터로, 특히 산소에 민감한 금속 필름(예: 티, 알, 오 등) 및 저분자 유기물의 증발 및 코팅에 적합합니다. 이 장비에는 4개의 증발 가열 보트가 장착되어 있으며, 각 보트는 독립적으로 증발을 수행할 수 있습니다.
- Shenyang Kejing
- 중국 선양
- 22일 근무
- 50세트
- 정보
제품 소개
GSL-1800X-ZF4 증발 코팅기는 산소에 민감한 금속 박막(예: 티, 알, 오) 및 저분자 유기 물질의 증착을 위해 특별히 설계된 고진공 증발 코팅 시스템입니다. 이 시스템에는 각각 독립적으로 작동할 수 있는 4개의 독립적인 가열 증발 보트가 장착되어 있습니다. 보트 위의 회전식 보호막은 증발 중 다른 3개의 보트를 보호하여 재료 간 교차 오염을 효과적으로 방지합니다. 옵션으로 구성을 조정하여 유기 물질 증착도 가능하므로 발광 소자 및 유기 태양 전지 연구 요구를 충족합니다. 따라서 고성능의 비용 효율적인 실험실용 코팅 시스템입니다.
챔버 바닥에는 5개의 수냉식 전극이 있어 작동 중 전극 온도를 유지하여 과열, 용융 또는 손상을 방지합니다. 이 장치는 최대 5.0×10의 진공도에 도달할 수 있는 금속 진공 챔버를 사용합니다.-7 토르. 샘플 스테이지는 실온에서 최대 500°C까지 가열되므로 고진공 증발 코팅 실험에 이상적입니다.
주요 특징
1. 진공 제어 장치는 모두 하나의 제어 상자에 조립되어 있습니다.
2. 독립형 증발 코팅 전류 컨트롤러를 채택하여 조작이 편리하고 빠릅니다.
3. 진공 챔버에는 KF40 사이드 펌핑 밸브 1개(효율을 높이기 위해 전단 기계식 펌프에 직접 연결), CF150 게이트 밸브 1개(분자 펌프에 직접 연결), KF16 플랜지 1개(저항 게이지 설치용), CF35 플랜지 6개(이온화 게이지 설치용 1개, 2코어 전극 설치용 1개, 필름 두께 게이지 설치용 1개) 및 예비 부품 3개가 장착되어 있습니다.
4. 챔버 바닥에는 5개의 수냉식 전극이 있어 4개의 증발 가열 보트를 지탱할 수 있습니다.
5. 샘플 스테이지는 챔버 상단에 설치됩니다.
6. 챔버 내에 고해상도 필름 두께 측정기를 설치할 수 있으며, 필름 두께 측정(알루미늄)의 분해능은 0.1Å입니다.
7. 순환식 물 쿨러를 사용할 수 있습니다.
기술적 매개변수
제품명 | GSL-1800X-ZF4 증발 코터 | |
제품 모델 | GSL-1800X-ZF4 | |
설치 조건 | 본 장비는 25℃±15℃의 온도와 55%Rh±10%Rh의 습도에서 사용해야 합니다. 1. 물: 장비에는 자체 순환식 물 냉각기(순수 또는 탈이온수로 채움)가 장착되어 있습니다. 2. 전기 : AC220V 50Hz, 접지가 잘 되어야 함 3. 작업대 : 바닥형, 면적 2m 이상2 5. 환기 장치 : 필요 | |
주요 매개변수 (사양) | 1. 입력 : 단상 AC220V, 50Hz/60Hz, 전력 <2.16kW (진공펌프 제외) 2. 증발 출력: 전압 AC 0-8V 연속 조정 가능, 한계 증발 전류 200A, 한계 증발 전력 <1.6kW 3. 진공 챔버 : Ø300mm(ID)×360mm(H), 스테인리스 스틸, 전해연마 내벽 4. 관찰창 : Ø100mm, 특수 밀봉 링으로 밀봉 5. 진공 펌프: 펌핑 속도가 600L/s인 고속 펌핑 속도 터보 분자 펌프 6. 진공도:8.0×10-4잘 7. 진공한계 : 8.0×10-5잘 8. 누설률: 6.7×10-8아빠·L/초 9. 샘플 스테이지: φ120 10. 증발보트와 샘플 스테이지 사이의 거리: 140-200mm 11. 필요한 냉각수: 15L/분 12. 샘플 스테이지 가열 온도 : 실온 ~ 500℃, 자동 온도 조절 및 온도 측정 | |
제품 크기 및 무게 | 13. 제품 사양: · 치수 : 900mm×1100mm×1800mm · 무게 : 230kg |
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보증
1년 제한 보증, 평생 지원(부적절한 보관 조건으로 인한 녹슨 부품 제외)
기호 논리학

