탈검: VTC-200-4P 스프레이 스핀 코터를 사용하여 습식 탈검 공정을 수행합니다. 유기 용매를 패턴 표면의 포토레지스트 필름에 떨어뜨려 포토레지스트 필름을 용해 및 제거하여 깨끗한 패턴을 형성합니다. 코팅에 사용 가능한 코팅 장비로는 VTC-100PA 진공 스핀 코터, VTC-100PA-Ⅰ 상부 커버 가열 진공 스핀 코터, VTC-100 진공 스핀 코터, VTC-200 진공 스핀 코터, VTC-200PV 진공 회전 코팅기, VTC-200-4P 스프레이 회전 코팅기, VTC-100PA-UV 자외선 스핀 코터 등이 있습니다. 공정에 따라 다양한 스핀 코터를 사용할 수 있습니다.

2025/06/16

스핀 코터의 작동 원리, 특성 및 응용

2022/07/13

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