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현대 재료 과학, 반도체 제조 및 광학 공학 분야에서 고도로 균일하고 결함 없는 박막을 제작하는 것은 전체 연구 개발 및 생산 워크플로에서 매우 중요한 단계입니다. 특히 박막 형성 환경, 결정화 온도 및 용액 호환성과 관련하여 최첨단 연구의 엄격한 요구 사항을 충족하기 위해 VTC-100PAD 진공 가열 스핀 코터는 포괄적이고 효율적이며 고정밀 솔루션을 제공합니다.

탈검: 비티씨-200-4P 스프레이 스핀 코터를 사용하여 습식 탈검 공정을 수행합니다. 유기 용매를 패턴 표면의 포토레지스트 필름에 떨어뜨려 포토레지스트 필름을 용해 및 제거하여 깨끗한 패턴을 형성합니다. 코팅에 사용 가능한 코팅 장비로는 비티씨-100PA 진공 스핀 코터, 비티씨-100PA-Ⅰ 상부 커버 가열 진공 스핀 코터, 비티씨-100 진공 스핀 코터, 비티씨-200 진공 스핀 코터, 비티씨-200PV 진공 회전 코팅기, 비티씨-200-4P 스프레이 회전 코팅기, 비티씨-100PA-자외선 자외선 스핀 코터 등이 있습니다. 공정에 따라 다양한 스핀 코터를 사용할 수 있습니다.