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튜브로의 사용은 단일 고온 가열에만 국한되지 않고 정밀한 온도 제어 하에 재료 준비, 수정 및 테스트를 중심으로 이루어지며, 실험실 소량 배치 연구 개발부터 산업 파일럿 테스트까지 전체 프로세스를 포괄하며 다양한 분야의 기술 혁신을 위한 안정적이고 신뢰할 수 있는 가열 환경 지원을 제공합니다.
개방형 진공관로의 최대 작동 온도는 1200℃이며, 두 온도 구역의 최대 일정 온도 구배는 200℃입니다. 고순도 석영관과 플랜지를 사용하여 정밀 실험의 온도 정확도 요건을 충족할 뿐만 아니라 다양한 배치 샘플 처리 시나리오에도 적용할 수 있습니다. 개방형 진공관로는 신에너지, 반도체, 세라믹, 대학의 과학 연구 등 다양한 분야에 적용되어 왔습니다.
재료 연구 및 개발과 반도체 제조 분야의 B-끝 구매자의 경우, 소형 진공관로의 표준화된 작동을 숙지하면 실험 안전성, 데이터 반복성 및 장비 수명을 보장할 수 있습니다.
진공관로는 기존 관로 구조에 진공 시스템을 통합하여 업그레이드된 새로운 유형의 열처리 장비입니다. 관로의 원래 가열 및 온도 제어 공정 유연성의 장점을 유지할 뿐만 아니라 진공 시스템을 도입하여 처리 캐비티의 높은 청정도 제어를 실현합니다. 진공관로는 이중층 쉘 구조와 지능형 온도 제어 시스템을 채택합니다. 퍼니스 재질은 고순도 다결정 알루미나 섬유 재질로 만들어졌으며, 이중층 퍼니스 쉘에는 대기를 통해 진공 처리할 수 있는 공랭 시스템이 장착되어 있습니다. 진공로는 고정밀 및 고품질 요구 사항이 있는 일부 소재의 가열에 적합합니다. 진공로는 소재 표면을 더 잘 보호하고 가스의 영향을 줄여 성형 정확도와 제품 수명을 향상시킬 수 있습니다.
실험실용 튜브로는 세 인증을 받은 가열 장치이며, 가열 소자는 1800등급 실리콘 몰리브덴 막대를 사용합니다. 가열 및 냉각은 50단계 프로그램으로 제어되며, 최대 온도는 1700℃에 이릅니다. 이 고온로는 진공 또는 불활성 가스 보호 하에서 재료의 소결 또는 어닐링에 널리 사용될 수 있습니다.