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100ºC 가열 커버가 있는 고속 스핀 코터
VTC -100PA-I 진공 스핀 코터는 반도체 공정, 결정, 광 디스크, 제판 및 표면 코팅 등에 적합합니다. 강산 및 강알칼리 코팅 용액에 사용할 수 있습니다. 장비는 시료의 크기에 따라 크기가 다른(표준용) 2개의 진공 척이 장착되어 있습니다. 장비는 12개의 프로그램 세트를 저장할 수 있으며 각 세트에는 6개의 실행 단계가 포함되어 있습니다.
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200ºC 가열 커버가 있는 고속 스핀 코터
VTC -100PA-II 진공 스핀 코터는 반도체 공정, 결정, 광 디스크, 제판 및 표면 코팅 등에 적합합니다. 강산 및 강알칼리 코팅 용액에 사용할 수 있습니다. 장비는 시료의 크기에 따라 크기가 다른(표준용) 2개의 진공 척이 장착되어 있습니다. 장비는 12개의 프로그램 세트를 저장할 수 있으며 각 세트에는 6개의 실행 단계가 포함되어 있습니다.
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