100ºC 가열 커버가 있는 고속 스핀 코터

VTC-100PA-I 진공 스핀 코터는 반도체 공정, 크리스털, 광디스크, 제판 및 표면 코팅 등에 적합합니다. 강산 및 강알칼리 코팅 용액에 사용할 수 있습니다. 이 장비에는 시료 크기에 따라 크기가 다른 두 개의 진공 척(표준)이 장착되어 있습니다. 이 장비는 12세트의 프로그램을 저장할 수 있으며, 각 세트에는 6개의 실행 단계가 있습니다.

브랜드: Shenyang Kejing
제품 산지: 중국 선양
납품 가격: 10일 근무
공급 능력: 50세트

정보

제품 소개
VTC-100PA-I 진공 스핀 코터는 반도체, 크리스털, 광디스크 및 포토리소그래피 분야의 표면 코팅 공정에 적합하도록 설계되었습니다. 강산 또는 강알칼리 용액을 사용하여 코팅을 준비하는 데 적합합니다. 이 시스템에는 크기가 다른 두 개의 진공 척이 기본으로 제공되어 사용자가 샘플 크기에 따라 적절한 척을 선택할 수 있습니다.

작동 중 샘플은 진공 척을 사용하여 샘플 스테이지에 단단히 고정됩니다. VTC-100PA-I는 최대 12개의 프로그램을 저장할 수 있으며, 각 프로그램은 6개의 순차적인 단계로 구성됩니다. 회전 속도는 스테이지마다 다르므로 장치가 최대 속도까지 점진적으로 상승할 수 있습니다. 이를 통해 샘플 표면에 균일한 박막이 형성되고, 재료 낭비가 최소화되며, 효율이 향상됩니다.

VTC-100PA-I는 간단한 조작, 손쉬운 세척, 그리고 컴팩트한 디자인을 특징으로 합니다. 대학 및 연구 기관의 박막 증착 공정 실험실에서 널리 사용되고 있습니다.

주요 특징

1. 진공흡착방식으로 시료를 고정하므로 조작이 간편합니다.

2. 진공도는 -0.08MPa에 도달할 수 있습니다.

3. 위치 조정 도구를 사용하면 샘플을 쉽게 중앙에 배치하여 정렬 불량으로 인한 진동이나 튀어나옴을 줄일 수 있습니다.

4. 샘플 사양에 따라 다양한 척을 사용할 수 있으며, 교체가 편리하고 간편합니다.

5. 24V 브러시리스 DC 모터를 채택하여 신뢰성이 높고 적응성이 강하며 수리 및 유지 보수가 간편하고 소음이 적고 진동이 적으며 작동이 안정적이며 시동이 빠르고 안정적이며 가속 후 작동이 안정되어 코팅 두께의 일관성과 균일성을 보장합니다.

6. 오일리스 평행봉 진공펌프는 크기가 작고, 구조가 간단하며, 조작이 간편하고, 유지관리가 편리하며, 환경오염이 없다는 장점이 있습니다.

7. 챔버는 화학적 부식에 대한 저항 능력과 우수한 응력 균열에 대한 저항 능력을 향상시키기 위해 더 긴 수명을 가진 폴리프로필렌 재질로 만들어졌으며, 기계 본체는 내구성이 뛰어나고 무게가 가벼운 주조 알루미늄 구조를 채택했습니다.

8. 코팅은 불활성 가스 분위기(예: Ar, N2)에서 수행될 수 있습니다.

9. 영어 운영체제

10. 덮개 열림 방지 기능이 있습니다. 코팅 과정 중 또는 코팅 종료 시 상단 덮개가 열리면 기계가 즉시 감속하여 정지합니다.

11. 제어 인터페이스는 터치스크린과 싱글보드 컴퓨터 제어 시스템을 채택하여 수치 표시가 더욱 직관적이고 안정적입니다.

티기술적 매개변수

제품명	VTC-100PA-I 진공 스핀 코터
제품 모델	VTC-100PA-I
설치 조건	1. 온도 및 습도: 10–85%RH(25°C, 비응축); 작동 온도: 0–45°C. 2. 환경: 강한 진동원과 부식성 가스가 없는 곳. 3. 물: 배수구가 장착되어 있습니다. 4. 전원 공급 장치: 단상 AC220V 50Hz 10A. 5. 가스: 펌핑 속도 ≥70 L/min의 진공(음압); 시스템은 보호 불활성 가스(예: Ar, N₂)에도 연결될 수 있습니다. 6. 작업대 : 권장 크기 800mm × 600mm × 700mm, 하중 용량 ≥50kg(견고한 콘크리트 테이블이 좋습니다). 7. 환기: 특별한 요구 사항 없음.
주요 매개변수 (사양)	1. 전원 공급 인터페이스: · 본체：AC220V 50Hz 10A · 난방: AC220V 50Hz 10A 2. 총 전력 소비량: ≤1150W (외부 진공 펌프 제외) 3. 코팅 챔버(재질): 폴리프로필렌 4. 샘플 홀더(진공척) : PTFE 진공척, Ø19mm, Ø60mm(각 1개) 5. 작동 모드: 최대 12개의 프로그래밍 가능한 레시피; 각 레시피에는 6개의 순차적 단계가 포함됩니다. 6. 회전 속도 범위: 500–10,000 rpm(효과적) 7. 가속/감속 속도: 단계당 100rpm에서 2000rpm까지 조정 가능 8. 코팅 시간: 단계당 0~60초 9. 속도 안정성: ±1% 10. 제어 시스템: 키패드 제어 및 LMC LCD 디스플레이가 있는 PCB 마이크로컨트롤러 11. 가열 방식 : 독립형 탄소섬유 가열관 시스템(본체 제어와 분리) 12. 가열 온도 범위: 실온 ~ 100°C 13. 가열 전력: AC220V, 1000W 14. 온도 제어 정확도: ±2°C
	15. 제품 사양: · 치수: 450mm×340mm×280mm · 무게 : 20kg

에스표준 액세서리

아니요.	이름	수량	그림
1	진공 척(O-링 포함) (Ø19mm 그리고Ø60mm)	2개
2	중앙 위치 지정기/위치 지정기(4개의 위치 지정 스터드 포함)	1개
3	에폭시 주입기/주사기(20ml)	1개
4	인젝터/주사기 브래킷	1개	-
5	오일리스 진공 펌프	1개
6	고무 파이프(클램프 포함)	1개	-