100ºC 가열 커버가 있는 고속 스핀 코터

브랜드 Shenyang Kejing

제품 산지 중국 심양

납품 가격 근무일 기준 10일

공급 능력 50세트

VTC
-100PA-I 진공 스핀 코터는 반도체 공정, 결정, 광 디스크, 제판 및 표면 코팅 등에 적합합니다. 강산 및 강알칼리 코팅 용액에 사용할 수 있습니다. 장비는 시료의 크기에 따라 크기가 다른(표준용) 2개의 진공 척이 장착되어 있습니다. 장비는 12개의 프로그램 세트를 저장할 수 있으며 각 세트에는 6개의 실행 단계가 포함되어 있습니다.

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100ºC 가열 커버가 있는 고속 스핀 코터

주요 특징

1. 샘플은 작동하기 쉬운 진공 흡착에 의해 고정됩니다.

2. 진공도는 -0.08MPa에 도달할 수 있습니다.

3. 배치 도구를 사용하여 샘플을 쉽게 중앙에 배치하여 오정렬로 인한 진동이나 튀어나오는 현상을 줄일 수 있습니다.

4. 샘플 사양에 따라 다른 척을 사용할 수 있으며 교체가 편리하고 간단합니다.

5. 24V 브러시리스 DC 모터가 채택되어 높은 신뢰성, 강력한 적응성, 간단한 수리 및 유지 보수, 저소음, 작은 진동, 안정적인 작동, 빠르고 안정적인 시동, 가속 후 안정적인 작동의 장점을 가지고 일관성을 보장합니다. 코팅 두께의 균일성.

6. 오일리스 병렬 바 진공 펌프는 작은 크기, 간단한 구조, 쉬운 작동, 편리한 유지 보수 및 환경 오염이 없다는 장점이 있습니다.

7. 챔버는 수명이 긴 폴리 프로필렌 재질로되어 화학적 부식 및 우수한 응력 균열에 대한 저항 능력을 향상시키고 기계 본체는 내구성이 뛰어나고 가벼운 주조 알루미늄 구조를 채택합니다.

8. 불활성 가스 분위기(예: 아르곤 , N2)에서 코팅이 가능합니다.

9. 영문 운영체제

10. 오픈 커버 보호 기능이 있습니다. 코팅 공정 중 또는 코팅 종료 시 맨 위 Cover가 열리면 즉시 정지할 때까지 빠르게 감속합니다.

11. 제어 인터페이스는 터치 스크린과 단일 보드 컴퓨터 제어 시스템을 채택하고 수치 표시는 보다 직관적이고 신뢰할 수 있습니다.

티기술적 매개변수

상품명	VTC -100PA-I 진공 스핀 코터
제품 모델	VTC -100PA-I
설치 조건	이 장비는 고도 1000m 이하, 온도 25℃±15℃, 습도 55%Rh ±10%Rh에서 사용해야 합니다. 1. 물: 물 인레트와 출구로 갖추는 2. 전기: AC220V 50Hz, 접지가 잘 되어야 함 세 번째 가스: N/A 4. 작업대: 크기 600mm×600mm×700mm, 하중 50kg 이상 5. 환기장치 : 필요
주요 매개변수 (사양)	1. 전원 공급 장치: 220V 50Hz 2. 모터 전원: 350W/24V 3. 속도 범위: 500rpm-10000rpm 4. 프로그램 작동: 프로그램의 12개 그룹을 저장할 수 있으며, 각 그룹에는 6개의 실행 단계, 각 단계의 시간 범위: 0-60초가 포함됩니다. 5. 가속 및 감속 비율의 설정 범위: 100rpm/s-2000rpm/s 6. 기계는 가열 기능을 갖출 수 있습니다: ; ;* VTC -100PA-II : RT -200℃, 전체 챔버 및 척은 고온 및 부식에 더 강한 PTFE로 제작됩니다. ; ;* VTC -100PA-I: RT -100℃, Chuck은 PTFE , 상부커버 및 싱크대/물탱크는 PP재질. ; ;* 온도는 호스트 프로그램 제어와 관련되지 않은 독립 컨트롤러를 사용합니다.
제품 치수 및 무게	차원: 450mm×280mm×340mm 무게:20kg

에스표준 액세서리

아니요.	이름	수량	그림
1	진공 척(O링 포함) (Ø19mm 그리고Ø60mm)	2개
2	중앙 포지셔너/로케이터(포지셔닝 스터드 4개 포함)	1개
3	에폭시 인젝터/주사기(20ml)	1개
4	인젝터/주사기 브라켓	1개
5	오일리스 진공 펌프	1개
6	고무관(클램프 포함)	1개