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3개의 스퍼터링 소스와 글로브 박스가 포함된 플라즈마 스퍼터링 코터
VGB-600-3HD 박막 배터리 준비 시스템은 글로브 박스 내에서 실험 작업을 수행할 수 있으며 단층 또는 다층 강유전체 필름, 전도성 필름, 합금 필름, 반도체 필름, 세라믹 필름, 유전체 필름, 광학 필름, 산화 필름, 경질 필름, PTFE 필름 등. 이 시스템에는 다양한 타겟 재료의 스퍼터링 코팅을 위한 3개의 타겟 건과 1개의 RF 전원 공급 장치가 장착되어 있습니다. RF 전원 공급 장치는 전송 스위치를 통해 모든 대상 헤드에 연결할 수 있습니다.
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