3개의 스퍼터링 소스와 글로브 박스가 포함된 플라즈마 스퍼터링 코터

제품 모델

VGB-600-3HD

주요 매개변수

(사양)

3헤드 마그네트론 스퍼터링 부품:

1. 전원 전압 : 220V 50Hz

2. 총 전력 : 2.5kW

3. 진공도 한계 : E-6mbar (당사 기계식 펌프 장비와 함께 사용하면 E-3mbar에 도달 가능)

4. 가열 온도: RT-500℃, 정확도 ±1℃ (온도는 실제 필요에 따라 증가될 수 있습니다.)

5. 표적 총의 수: 3 PC

6. 표적총의 냉각방식 : 수냉식

7. 대상 재료의 크기: Ø2″, 두께 0.1-5mm(다른 대상 재료로 인해 두께가 다름)

8. 스퍼터링 전원 공급 장치: 300W(RF)/500W(DC)

9. 샘플 스테이지: Ø140mm

10. 샘플 스테이지 속도: 1rpm ~ 20rpm 내에서 조정 가능

11. 작동 가스: 아르곤, N₂및 기타 불활성 가스

12. 흡입 공기 경로: 질량 유량계는 2개의 공기 흡입 경로를 제어합니다. 하나는 100SCCM이고 다른 하나는 200SCCM입니다.

글로브 박스 부분:

1. 전원 공급 장치: 단상 AC110V-220V 50Hz/60Hz

2. 쉘 재질: 304 스테인레스 스틸

3. 글로브 박스 챔버: 1220mm×760mm×900mm

4. 전면 챔버: 전면 챔버는 2개가 있으며, 대형 전면 챔버는 Ø360mm×600mm, 소형 전면 챔버는 Ø150mm×300mm입니다.

5. 챔버 환경 : 수분 함량 <1ppm (20℃, 1atm), 산소 함량 <1ppm (20℃, 1atm)

6. 작동 가스: N₂, 아르곤, 그 및 기타 불활성 가스

7. 제어 가스: 압축 공기 또는 불활성 가스

8. 환원가스: 작동가스와 H의 혼합물₂ (정화 시스템에 물 제거 기능만 있는 경우 환원 가스는 작동 가스와 동일합니다.)

9. 가스 정화 시스템:

독일 바스프 탈산재, 미국 UOP 고효율 흡수재, 정수시스템의 재생과정 자동제어, 수분 및 산소 자동 제거 기능, 가스 순도(수분 <1ppm, 산소 <1ppm 수준)를 지속적으로 유지 가능 ) 장기적으로는

10. 압력 제어 시스템: 챔버의 공기 압력은 PLC 터치 스크린으로 자동 제어될 수 있으며 제어 정확도는 ±1Pa이며 풋 스위치로 수동으로 제어할 수도 있습니다.

11. 여과 시스템 : 입구와 출구 끝 부분에 필터가 설치되어 있으며 여과 정확도는 0.3μm입니다.

12. 제어 시스템 : 지멘스 컬러 터치 스크린 (6 인치), PLC 제어 시스템, 중국어 및 영어 이중 언어 전환

    * 워터 프로브는 0-1000ppm 터치 스크린 디스플레이와 0.1ppm의 정확도를 갖춘 미국 GE 브랜드를 채택합니다.

    * 산소 송신기는 0-1000ppm 터치 스크린 디스플레이와 0.1ppm의 정확도를 갖춘 미국 AII 브랜드를 채택합니다.

    * 압력 센서는 -2500-2500Pa 터치 스크린 디스플레이와 ±1Pa의 정확도를 갖춘 미국 세트라 브랜드를 채택합니다.

13. 진공 펌프: 펌핑 속도 8.4m3/h-12m의 영국 에드워즈 브랜드³/시간

14. 장갑 : 미국 북쪽 브랜드 (부틸합성고무)

15. 조명 시스템 : 필립스 브랜드 (형광등)

제품 차원

3헤드 마그네트론 스퍼터링 부품: 950mm×460mm×810mm

글로브 박스 부분 : 2300mm×1500mm×1900mm