3개의 스퍼터링 소스와 글러브 박스를 갖춘 플라즈마 스퍼터링 코터
비지비(VGB)-600-3HD 박막 배터리 제조 시스템은 글러브 박스에서 실험 작업을 수행할 수 있으며, 단층 또는 다층 강유전체 박막, 전도성 박막, 합금 박막, 반도체 박막, 세라믹 박막, 유전체 박막, 광학 박막, 산화막, 경질 박막, PTFE 박막 등을 제조하는 데 사용됩니다. 이 시스템은 다양한 타겟 재료의 스퍼터링 코팅을 위한 타겟 건 3개와 RF 전원 공급 장치 1개를 갖추고 있습니다. RF 전원 공급 장치는 전환 스위치를 통해 모든 타겟 헤드에 연결할 수 있습니다.
- Shenyang Kejing
- 중국 선양
- 44일 근무
- 50세트
- 정보
제품 소개
그만큼비지비(VGB)-600-3HD 박막 배터리 증착 시스템글러브 박스 내부에서 사용하도록 설계되어 강유전체 필름, 전도성 필름, 합금 필름, 반도체 필름, 세라믹 필름, 유전체 필름, 광학 필름, 산화물 필름, 경질 코팅 및 PTFE 필름과 같은 단층 또는 다층 박막을 제조할 수 있습니다.
이 시스템은 다음을 갖추고 있습니다.세 개의 스퍼터링 건, 하나와 함께RF 전원 공급 장치전환 스위치를 통해 세 가지 타겟 중 어느 것으로든 전환할 수 있어 다양한 타겟 소재의 유연한 스퍼터링이 가능합니다.
유사한 장비와 비교했을 때 비지비(VGB)-600-3HD는 다음과 같은 기능을 제공합니다.더 광범위한 적용 다용성,컴팩트한 구조, 그리고쉬운 조작, 그것을 만드는실험실 박막 제조에 이상적인 기기. 특히 적합합니다박막 배터리, 고체 전해질, OLED 소재 연구.
기존의 마그네트론 스퍼터링 시스템과 달리 이 모델은 다음을 사용하여 스퍼터링을 지원합니다.리튬 및 리튬 기반 타겟 소재, 이를 선호하는 솔루션으로 만듭니다.신에너지 연구실에서의 박막 코팅 실험.
주요 특징
1. 본 시스템은 다양한 타겟 재료의 스퍼터링 코팅을 위한 타겟 건 3개와 RF 전원 공급 장치 1개를 갖추고 있습니다. RF 전원 공급 장치는 전환 스위치를 통해 모든 타겟 헤드에 연결할 수 있습니다. (타겟 건은 고객 요구에 따라 교체 가능합니다.)
2. 다양한 종류의 박막을 제조하여 광범위한 응용 분야에 적용할 수 있습니다.
3. 크기가 작고 조작이 간편함
4. 전체 기계의 모듈식 설계; 진공 챔버, 진공 펌프 그룹 및 제어 전원 공급 장치의 분리형/분할형 설계는 사용자의 실제 요구에 따라 조정 가능합니다.(선택 사항)
5. 사용자의 실제 필요에 따라 전원 공급 장치를 선택할 수 있습니다. 하나의 전원 공급 장치로 여러 개의 표적 총을 제어할 수도 있고, 여러 개의 전원 공급 장치가 하나의 표적 총을 제어할 수도 있습니다.
6. 실험 작업은 글러브 박스에서 진행할 수 있으며, 다양한 종류의 쉽게 산화되는 표적을 코팅 실험에 대체할 수 있습니다.
티기술적 매개변수
제품명 | 비지비(VGB)-600-3HD 박막 배터리 준비 시스템 |
제품 모델 | 비지비(VGB)-600-3HD |
주요 매개변수 (사양) | 3헤드 마그네트론 스퍼터링 부품: 1. 전원 전압 : 220V 50Hz 2. 총 전력: 2.5kW 3. 진공도 한계 : E-6mbar (당사 기계식 펌프 장비 사용 시 E-3mbar까지 도달 가능) 4. 가열 온도: RT-500℃, 정확도 ±1℃ (실제 필요에 따라 온도를 높일 수 있습니다.) 5. 타겟포 개수 : 3개 6. 타깃포 냉각방식 : 수냉 7. 타겟 소재 크기 : Ø2″, 두께 0.1-5mm (타겟 소재에 따라 두께가 다름) 8. 스퍼터링 전원 공급 장치: 300W(RF)/500W(DC) 9. 샘플 스테이지: Ø140mm 10. 샘플 스테이지 속도: 1rpm ~ 20rpm 내에서 조정 가능 11. 작동 가스: 아르, N2및 기타 불활성 가스 12. 흡입 공기 경로: 질량 유량계는 2개의 공기 흡입 경로를 제어하는데, 하나는 100SCCM이고 다른 하나는 200SCCM입니다. 글러브 박스 부분: 1. 전원 공급 : 단상 AC110V-220V 50Hz/60Hz 2. 쉘 소재 : 304 스테인리스 스틸 3. 글러브 박스 챔버: 1220mm×760mm×900mm 4. 전면 챔버: 전면 챔버는 2개로 구성되어 있으며, 대형 전면 챔버는 Ø360mm×600mm이고, 소형 전면 챔버는 Ø150mm×300mm입니다. 5. 챔버 환경 : 수분함량 <1ppm (20℃, 1atm), 산소함량 <1ppm (20℃, 1atm) 6. 작동 가스: N2, 아르, 그 및 기타 불활성 가스 7. 제어 가스 : 압축 공기 또는 불활성 가스 8. 환원가스 : 작동가스와 H2의 혼합물2 (정화 시스템이 물만 제거하는 기능만 가지고 있다면, 환원가스는 작동가스와 동일합니다.) 9. 가스 정화 시스템: 독일 바스프 탈산제, 미국 유오피 고효율 수분흡수제, 정화시스템 재생공정 자동제어, 자동 수분 및 산소 제거기능, 장기적으로 가스 순도(수분 <1ppm, 산소 <1ppm) 유지 가능 10. 압력 제어 시스템: 챔버의 공기 압력은 PLC 터치스크린으로 자동으로 제어할 수 있으며, 제어 정확도는 ±1Pa이며, 풋 스위치로 수동으로 제어할 수도 있습니다. 11. 여과 시스템: 입구와 출구 끝에 필터가 설치되어 있으며 여과 정확도는 0.3μm입니다. 12. 제어 시스템 : 지멘스 컬러 터치 스크린(6인치), PLC 제어 시스템, 중국어 및 영어 이중 언어 전환 * 수질 프로브는 미국 GE 브랜드를 채택하였으며, 0~1000ppm 터치 스크린 디스플레이와 0.1ppm의 정확도를 제공합니다. * 산소 송신기는 미국 알이 브랜드를 채택하였으며, 0~1000ppm 터치 스크린 디스플레이와 0.1ppm의 정확도를 제공합니다. * 압력 센서는 미국 세트라 브랜드를 채택하였으며, -2500-2500Pa 터치 스크린 디스플레이와 ±1Pa의 정확도를 제공합니다. 13. 진공 펌프: 펌핑 속도 8.4m3/h-12m의 영국 에드워즈 브랜드3/시간 14. 장갑 : 미국 북쪽 브랜드(부틸 합성고무) 15. 조명 시스템 : 필립스 브랜드(형광등) |
제품 치수 | 3헤드 마그네트론 스퍼터링 부분 : 950mm×460mm×810mm 글러브박스 부분 : 2300mm×1500mm×1900mm |
보증
1년 제한 보증, 평생 지원(부적절한 보관 조건으로 인한 녹슨 부품 제외)
기호 논리학
