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부식방지 스핀코터(6K RPM &앰프; 6" 웨이퍼 최대)

VTC-200P 진공 회전 Coater는 반도체 공정, 크리스탈, 광 디스크, 제판 및 표면 코팅 등에 적합합니다. 장비는 12개의 프로그램 세트를 저장할 수 있으며 각 세트에는 6개의 실행 단계가 포함되어 있습니다. 챔버의 상부 커버는 샘플을 가열할 수 있으며(옵션 기능), 이는 점도가 높은 박막 재료의 코팅 공정에 유리합니다.

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