부식 방지 스핀 코터(6K 분당 회전수 및 최대 6인치 웨이퍼)

비티씨-200P 진공 스핀 코터는 반도체 공정, 크리스털, 광디스크, 제판 및 표면 코팅 등에 적합합니다. 이 장비는 12세트의 프로그램을 저장할 수 있으며, 각 세트는 6단계의 실행 단계로 구성됩니다. 챔버 상단 커버는 시료를 가열할 수 있으며(옵션 기능), 이는 점도가 높은 박막 재료의 코팅 공정에 유용합니다.

브랜드: Shenyang Kejing
제품 산지: 중국 선양
납품 가격: 10일 근무
공급 능력: 50세트

정보

제품 소개

비티씨-200P 진공 스핀 코터는 반도체, 크리스털, 광디스크, 리소그래피 및 관련 분야의 표면 코팅 공정에 적합하도록 설계되었습니다. 강산 또는 강알칼리 용액을 사용하여 코팅을 준비하는 데 적합합니다.

챔버 자체는 진공 상태가 아니며, 작동 중 샘플은 진공 척 흡착을 통해 기판 홀더에 고정됩니다. 이 시스템은 최대 12개의 프로그램을 저장할 수 있으며, 각 프로그램은 6개의 순차적인 단계로 구성됩니다. 각 단계에 대해 서로 다른 회전 속도를 설정할 수 있어 코터가 최대 속도까지 점진적으로 가속됩니다. 이를 통해 재료 낭비를 최소화하면서 샘플 표면에 균일한 박막을 형성할 수 있습니다.

챔버의 상단 커버에는 선택적으로 가열 기능을 장착할 수 있으며, 이를 통해 점성이 높은 필름 소재의 코팅이 용이해집니다.

비티씨-200P 진공 스핀 코터는 간편한 조작, 편리한 세척, 컴팩트한 디자인 등의 장점을 갖추고 있어 대학 및 연구 기관의 실험실에서 박막 제조에 널리 사용됩니다.

주요 특징

1. 본 장비는 12세트의 프로그램을 저장할 수 있으며, 각 세트는 6단계의 실행 단계로 구성됩니다. 각 단계의 가속 및 감속 속도 설정 범위는 100rpm/s~2000rpm/s이고, 각 단계의 시간 범위는 0~60초입니다.

2. 진공흡착방식으로 시료를 고정하므로 조작이 간편합니다.

3. 진공도는 -0.08MPa에 도달할 수 있습니다.

4. 위치 조정 도구를 사용하면 샘플을 쉽게 중앙에 배치하여 정렬 불량으로 인한 진동이나 튀어나옴을 줄일 수 있습니다.

5. 샘플 사양에 따라 다양한 척을 사용할 수 있으며, 교체가 편리하고 간편합니다.

6. 24V 브러시리스 DC 모터를 채택하여 신뢰성이 높고 적응성이 강하며 수리 및 유지 보수가 간편하고 소음이 적고 진동이 적으며 작동이 안정적이며 시동이 빠르고 안정적이며 가속 후 작동이 안정되어 코팅 두께의 일관성과 균일성을 보장합니다.

7. 이 기계는 글러브 박스에서 사용할 수 있지만, 제어부와 진공 펌프는 박스 외부에 두어야 합니다.

8. 코팅은 불활성 가스 분위기(예: 아르, N2)에서 수행될 수 있습니다.

9. 오일리스 평행봉 진공 펌프는 크기가 작고 구조가 간단하며 조작이 간편하고 유지관리가 편리하며 환경오염이 없다는 장점이 있습니다.

10. 챔버는 화학적 부식에 대한 저항 능력과 우수한 응력 균열에 대한 저항 능력을 향상시키기 위해 더 긴 사용 수명을 가진 피피 재질로 만들어졌으며, 기계 본체는 내구성이 뛰어나고 무게가 가벼운 주조 알루미늄 구조를 채택했습니다.

11. 영어 운영체제

12. 덮개 열림 방지 기능이 있습니다. 코팅 과정 중 또는 코팅 종료 시 상단 덮개가 열리면 기계가 즉시 감속하여 정지합니다.

13. 컨트롤러는 액정표시장치 숫자 디스플레이가 있는 단일 제어 상자를 채택하여 직관적이고 안정적입니다.

티기술적 매개변수

제품명	비티씨-200P 진공 스핀 코터
제품 모델	비티씨-200P
설치 조건	1. 온도 및 습도: 10–85%RH(25℃, 비응축); 온도: 0–45℃. 2. 환경: 장비 근처에 강한 진동원이나 부식성 가스가 없어야 합니다. 3. 물: 장비에는 배수구가 장착되어 있습니다. 4. 전원 공급 장치: 단상 AC220V, 50Hz10A. 5. 공기 공급: 진공 음압(진공 펌프)으로 펌핑 속도가 70L/분 이상입니다. 이 시스템은 보호 불활성 가스에도 연결될 수 있습니다. 6. 작업대: 권장 크기 800mm × 600mm × 700mm, 하중 용량 ≥ 100kg(견고한 콘크리트 테이블이 좋습니다). 7. 환기: 특별한 요구 사항 없음.
주요 매개변수 (사양)	1. 전원 공급 인터페이스: 퓨즈 전원 소켓: AC220V, 50Hz; 퓨즈 사양: 10A, φ5×20mm(AC110V 50/60Hz 사용자 정의 가능). 2. 총 전력: ≤150W(외부 진공 펌프 제외). 3. 메인 챔버(재질): 폴리프로필렌. 4. 기판 홀더(진공 척): Ø100 mm 폴리프로필렌 진공 척 ×1(가열 기능 장착 시 PTFE로 제작). 5. 작동 모드: 6단계로 구성된 12개 프로그램을 저장할 수 있습니다. 6. 회전 속도: 500rpm – 6000rpm. 7. 가속/감속 속도: 단계별 조정 가능 범위: 100rpm ~ 2000rpm. 8. 코팅 시간: 단계별 조정 가능 범위: 0~60초. 9. 속도 안정성: ±1%. 10. 제어 시스템: 키패드 작동이 가능한 PCB 마이크로컨트롤러와 엘엠씨 액정표시장치 디스플레이. 11. 가열 방식: 표준 구성에 포함되지 않음(선택적 가열 기능 사용 가능, 독립적인 온도 제어 시스템, 메인 컨트롤러와 통합되지 않음). 12. 가열 온도: 사용자 정의 가능한 온도 범위, RT – 100℃(상한). 13. 가열 전력: AC220V, 1000W. 14. 온도 제어 정확도: ±2℃.
	15. 제품 사양: · 치수: · 메인 유닛：φ250mm×360mm · 제어 박스：330mm × 380mm × 150mm · 무게：15kg

에스표준 액세서리

아니요.	이름	수량	그림
1	진공척(φ100mm)	1개
2	오링	1개	-
3	중앙 위치 지정기/위치 지정기(4개의 위치 지정 스터드 포함)	1개
4	에폭시 주입기/주사기(20ml)	1개
5	인젝터/주사기 브래킷	1개	-
6	오일리스 진공 펌프	1개