부식방지 스핀코터(6K RPM &앰프; 6" 웨이퍼 최대)

브랜드 Shenyang Kejing

제품 산지 중국 선양

납품 가격 영업일 기준 10일

공급 능력 50세트

VTC-200P 진공 회전 Coater는 반도체 공정, 크리스탈, 광 디스크, 제판 및 표면 코팅 등에 적합합니다. 장비는 12개의 프로그램 세트를 저장할 수 있으며 각 세트에는 6개의 실행 단계가 포함되어 있습니다. 챔버의 상부 커버는 샘플을 가열할 수 있으며(옵션 기능), 이는 점도가 높은 박막 재료의 코팅 공정에 유리합니다.

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부식방지 스핀코터(6K RPM &앰프; 6" 웨이퍼 최대)

주요 특징

1. 장비는 12개의 프로그램 세트를 저장할 수 있으며 각 세트에는 6개의 실행 단계가 포함되어 있습니다. 각 단계의 가속 및 감속 속도 설정 범위: 100rpm/s-2000rpm/s, 각 단계의 시간 범위: 0-60s

2. 시료는 진공 흡착 방식으로 고정되므로 조작이 간편합니다.

3. 진공도는 -0.08MPa에 도달할 수 있습니다.

4. 위치 지정 도구를 사용하여 샘플의 중심을 쉽게 맞출 수 있어 오정렬로 인한 진동이나 튀어나옴을 줄일 수 있습니다.

5. 샘플 사양에 따라 다양한 척을 사용할 수 있으며 교체가 편리하고 간단합니다.

6. 24V 브러시리스 DC 모터가 채택되었으며 높은 신뢰성, 강력한 적응성, 간단한 수리 및 유지 관리, 저소음, 작은 진동, 안정적인 작동, 빠르고 안정적인 시동, 가속 후 안정적인 작동, 일관성 및 코팅 두께의 균일성.

7. 이 기계는 글러브 박스 안에 사용할 수 있지만, 제어 부품과 진공 펌프는 박스 외부에 배치해야 합니다.

8. 불활성 가스 분위기(아르곤, N2 등)에서도 코팅이 가능합니다.

9. 오일리스 평행봉 진공 펌프는 작은 크기, 간단한 구조, 쉬운 작동, 편리한 유지 관리 및 환경 오염이 없다는 장점이 있습니다.

10. 챔버는 화학적 부식 및 우수한 응력 균열에 대한 저항성을 향상시키기 위해 수명이 긴 PP 재질로 만들어졌으며 기계 본체는 내구성이 뛰어나고 무게가 가벼운 주조 알루미늄 구조를 채택했습니다.

11. 영어 운영 체제

12. 오픈커버 보호기능이 있습니다. 코팅 작업 중이나 코팅이 끝난 후 탑 커버를 열면 기계는 즉시 정지할 때까지 급격하게 감속합니다.

13. 컨트롤러는 보다 직관적이고 신뢰할 수 있는 LCD 숫자 디스플레이가 있는 단일 제어 상자를 채택합니다.

티기술적 매개변수

상품명	VTC-200P 진공 스핀 코터
제품 모델	VTC-200P
설치 조건	본 장비는 고도 1000m 이하, 온도 25℃±15℃, 습도 55%Rh±10%Rh에서 사용해야 합니다. 1. 물 : 물 입구와 출구가 장착되어 있습니다. 2. 전기 : AC220V 50Hz, 접지가 양호해야합니다. 3. 가스: 해당 없음 4. 작업대: 크기 600mm×600mm×700mm, 50kg 이상 베어링 5. 환기 장치: 필요
주요 매개변수 (사양)	1. 전원 공급 장치: 220V 50HZ 2. 모터 힘: 360W/24V 3. 속도 범위: 조정가능한 500rpm-6000rpm 4. 프로그램 작동: 12개의 프로그램 그룹을 저장할 수 있으며 각 그룹에는 6개의 실행 단계가 포함됩니다. 5. 각 단계의 가속 및 감속 속도 설정 범위: 100rpm/s-2000rpm/s, 각 단계의 시간 범위: 0-60s. 6. 척 크기 : Φ100mm 7. 기계에는 가열 기능이 장착될 수 있습니다. * 가열 범위: RT-100℃ * 상판커버와 싱크대/물탱크 재질은 PP입니다. * 온도는 호스트 프로그램 제어와 관련이없는 독립 컨트롤러를 사용합니다.
제품 크기 및 무게	크기: Φ250mm×360mm 무게:20kg

에스표준 액세서리

아니요.	이름	수량	그림
1	진공척(Φ100mm)	1개
2	O-링	1개	-
3	중앙 포지셔너/로케이터(포지셔닝 스터드 4개 포함)	1개
4	에폭시 주입기/주사기(20ml)	1개
5	주입기/주사기 브래킷	1개	-
6	오일리스 진공 펌프	1개