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부식 방지 스핀 코터 (6K RPM &앰프 ; 6" 웨이퍼 최대 .)
VTC -200P 진공 스핀 코터는 반도체 공정, 크리스탈, 광 디스크, 제판 및 표면 코팅 등에 적합합니다. 장비는 12 세트의 프로그램을 저장할 수 있으며 각 세트에는 6개의 실행 단계가 있습니다. 챔버 상부 커버는 시료를 가열할 수 있어(옵션 기능) 점도가 높은 박막 소재의 코팅 공정에 유리합니다.
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방청 스핀 코터 (6K RPM &앰프 ; 6" 웨이퍼 최대 .) -
VTC -200P 진공 스핀 코터는 반도체 공정, 크리스탈, 광 디스크, 제판 및 표면 코팅 등에 적합합니다. 장비는 12 세트의 프로그램을 저장할 수 있으며 각 세트에는 6개의 실행 단계가 있습니다. 챔버 상부 커버는 시료를 가열할 수 있어(옵션 기능) 점도가 높은 박막 소재의 코팅 공정에 유리합니다.
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