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진공 및 대기 제어 스핀 코터
VTC-200PV 진공 스핀 코터는 반도체 공정, 크리스탈, 광 디스크, 제판 및 표면 코팅 등에 적합합니다. VTC-200PV 진공 스핀 코터의 챔버는 진공화되어 완전 진공 상태에서 샘플을 코팅할 수 있으므로 다음과 같은 작업에 적합합니다. 공기 중에서 쉽게 산화되고 변질되는 필름 재료. 챔버가 진공화될 때 샘플을 고정하기 위해 클램프가 사용됩니다. 장비는 12개의 프로그램 세트를 저장할 수 있으며 각 세트에는 6개의 실행 단계가 포함되어 있습니다.
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