진공 및 대기 제어 스핀 코터

브랜드 Shenyang Kejing

제품 산지 중국 선양

납품 가격 영업일 기준 10일

공급 능력 50세트

VTC-200PV 진공 스핀 코터는 반도체 공정, 크리스탈, 광 디스크, 제판 및 표면 코팅 등에 적합합니다. VTC-200PV 진공 스핀 코터의 챔버는 진공화되어 완전 진공 상태에서 샘플을 코팅할 수 있으므로 다음과 같은 작업에 적합합니다. 공기 중에서 쉽게 산화되고 변질되는 필름 재료. 챔버가 진공화될 때 샘플을 고정하기 위해 클램프가 사용됩니다. 장비는 12개의 프로그램 세트를 저장할 수 있으며 각 세트에는 6개의 실행 단계가 포함되어 있습니다.

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진공 및 대기 제어 스핀 코터

주요 특징

1. 장비는 12개의 프로그램 세트를 저장할 수 있으며 각 세트에는 6개의 실행 단계가 포함되어 있습니다. 각 단계의 가속 및 감속 속도 설정 범위: 100rpm/s-2000rpm/s, 각 단계의 시간 범위: 0-60s

2. 시료는 진공흡착 방식으로 고정되며 본딩이나 클램핑 방식으로도 고정이 가능하여 조작이 용이합니다.

3. 진공도는 -0.08MPa에 도달할 수 있습니다.

4. 위치 지정 도구를 사용하여 샘플의 중심을 쉽게 맞출 수 있어 오정렬로 인한 진동이나 튀어나옴을 줄일 수 있습니다.

5. 샘플 사양에 따라 다양한 척을 사용할 수 있으며 교체가 편리하고 간단합니다.

6. 24V 브러시리스 DC 모터가 채택되었으며 높은 신뢰성, 강력한 적응성, 간단한 수리 및 유지 관리, 저소음, 작은 진동, 안정적인 작동, 빠르고 안정적인 시동, 가속 후 안정적인 작동, 일관성 및 코팅 두께의 균일성.

7. 오일리스 평행봉 진공펌프는 시료를 진공흡착 방식으로 고정할 때 사용되며, 크기가 작고 구조가 간단하며 조작이 쉽고 유지관리가 편리하며 환경오염이 없는 장점이 있습니다.

8. 불활성 가스 분위기(아르곤, N2 등)에서도 코팅이 가능합니다.

9. 진공상태에서 코팅을 진행하는 경우 샘플 기판은 본딩이나 클램핑을 통해 고정됩니다.

10. 챔버는 화학적 부식 및 우수한 응력 균열에 대한 저항성을 향상시키기 위해 수명이 긴 PP 재질로 만들어졌으며 기계 본체는 내구성이 뛰어나고 무게가 가벼운 주조 알루미늄 구조를 채택했습니다.

11. 영어 운영 체제

12. 오픈커버 보호기능이 있습니다. 코팅 작업 중이나 코팅이 끝난 후 탑 커버를 열면 기계는 즉시 정지할 때까지 급격하게 감속합니다.

13. 컨트롤러는 보다 직관적이고 신뢰할 수 있는 LCD 수치 디스플레이가 있는 컨트롤 박스를 채택합니다.

티기술적 매개변수

상품명	VTC-200PV 진공 스핀 코터
제품 모델	VTC-200PV
설치 조건	1. 온도 및 습도: 10-85%RH (25℃에서 결로 현상이 없을 때) 온도: 0-45℃. 2. 장비 주변에는 강한 지진원이나 부식성 가스가 없습니다. 3. 물: 장비에는 하수 배출구가 장착되어 있습니다. 4. 전기: 단상: AC220V 50Hz 국가 표준 3극 소켓 10A는 잘 접지되어야 합니다. 5. 가스: 진공 음압(진공 펌프) 배기 유량은 70L/M 이상입니다(장비는 보호용 불활성 가스를 통과할 수 있음). 6. 작업대 : 1500X600X700mm를 권장하고 100KG 이상의 하중을 견딜 수 있습니다 (단단한 시멘트 플랫폼이 더 좋습니다) 7. 환기 장치: 특별한 요구 사항 없음
주요 매개변수 (사양)	1. 전원 공급 장치 인터페이스: 보험이 포함된 전원 소켓: AC220V 50Hz, 보험 튜브 사양은 10A, Φ5×20mm(이 장치는 AC110V50/60Hz 제품 사용자 정의를 지원합니다) 2. 총 전력: 150W 이하(외부 진공 펌프 제외) 3. 코팅 호스트 캐비티(재질): 폴리프로필렌 4. 시료 트레이(척 + 흡착컵): 척형 시료 트레이: Φ100 폴리프로필렌 진공 흡입 컵: 1 5. 작동 모드: 12개의 프로그램 세트를 저장할 수 있으며, 각 프로그램 세트에는 6개의 작동 단계가 포함되어 있습니다. 6. 코팅 속도: 500rpm-6000rpm 7. 가속 및 감속률: 각 가속 및 감속 설정 범위: 100 rpm -2000 rpm 8. 코팅 시간: 각 시간 범위: 0-60s 9. 속도 안정성: ±1% 10. 제어 모드: PCB 단일 칩 마이크로컴퓨터 버튼 제어 LMC LCD 디스플레이 11. 오일 프리 진공 펌프(샘플링 진공): 모델: AP-1400C/V 호스트와 연결 전원 공급 장치: AC220V 50/60Hz 2A 0.45KW 최대진공 : -0.0933MPa 속도 : 150L/분 12. 기계식 진공 펌프(코팅 챔버 진공): 모델: VRD-8 독립 전원 공급 장치: AC220V 50Hz 2.5A 0.4KW 최대 압력: 5X10-²아빠

에스표준 액세서리

아니요.	이름	수량	그림
1	진공척(Φ100mm)	1개
2	클램핑 플레이트 2", 3", 4"	1개
3	중앙 포지셔너/로케이터(포지셔닝 스터드 4개 포함)	1개
4	에폭시 주입기/주사기	1개
5	오일리스 진공 펌프	1개
6	더블 클릭 로터리 베인 진공 펌프 VRD-8	1개

영형옵션 액세서리

아니요.	이름	기능성 유형	그림
1	기타사양의 진공척	(선택 과목)
2	피펫(중국산)	(선택 과목)
3	피펫(수입품)	(선택 과목)
4	VRD-16 기계식 펌프	(선택 과목)