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진공 및 대기 제어 스핀 코터
비티씨-200PV 진공 스핀 코터는 반도체 공정, 크리스털, 광디스크, 제판 및 표면 코팅 등에 적합합니다. 비티씨-200PV 진공 스핀 코터의 챔버는 완전 진공 상태에서 샘플을 코팅할 수 있도록 진공화될 수 있으며, 이는 공기 중에서 쉽게 산화되고 열화되는 필름 소재에 적합합니다. 챔버가 진공화될 때 클램프를 사용하여 샘플을 고정합니다. 이 장비는 12세트의 프로그램을 저장할 수 있으며, 각 세트에는 6개의 실행 단계가 있습니다.
- Shenyang Kejing
- 중국 선양
- 10일 근무
- 50세트
- 정보
제품 소개
비티씨-200PV 진공 스핀 코터는 반도체, 크리스털, 광 디스크, 리소그래피 및 관련 분야의 표면 코팅 공정에 적합하도록 설계되었습니다. 강산 또는 강알칼리 용액을 이용한 코팅 준비에 적합합니다.
이 시스템은 코팅 챔버를 진공 상태로 만들어 샘플을 완전 진공 상태에서 코팅할 수 있습니다. 이 기능은 공기 중에서 산화되거나 분해되기 쉬운 박막 소재에 특히 적합합니다. 진공 작업 중에는 샘플 척을 사용하여 샘플을 고정합니다.
진공 배기를 사용하지 않을 경우, 샘플은 진공 흡착을 통해 기판 홀더에 고정됩니다. 이 시스템은 최대 12개의 프로그램을 저장할 수 있으며, 각 프로그램은 6개의 순차적인 단계로 구성됩니다. 각 단계에 대해 서로 다른 회전 속도를 설정할 수 있어 코터가 최대 속도까지 점진적으로 가속됩니다. 이를 통해 재료 낭비를 최소화하면서 샘플 표면에 균일한 박막을 형성할 수 있습니다.
비티씨-200PV 진공 스핀 코터는 간편한 조작, 편리한 세척, 컴팩트한 디자인 등의 장점을 갖추고 있어 대학 및 연구 기관의 실험실에서 박막 제조에 널리 사용됩니다.
주요 특징
1. 본 장비는 12세트의 프로그램을 저장할 수 있으며, 각 세트는 6단계의 실행 단계로 구성됩니다. 각 단계의 가속 및 감속 속도 설정 범위는 100rpm/s~2000rpm/s이고, 각 단계의 시간 범위는 0~60초입니다.
2. 샘플은 진공 흡착을 통해 고정되지만, 본딩이나 클램핑을 통해서도 고정할 수 있어 조작이 간편합니다.
3. 진공도는 -0.08MPa에 도달할 수 있습니다.
4. 위치 조정 도구를 사용하면 샘플을 쉽게 중앙에 배치하여 정렬 불량으로 인한 진동이나 튀어나옴을 줄일 수 있습니다.
5. 샘플 사양에 따라 다양한 척을 사용할 수 있으며, 교체가 편리하고 간편합니다.
6. 24V 브러시리스 직류 모터를 채택하여 신뢰성이 높고 적응성이 강하며 수리 및 유지 보수가 간편하고 소음이 적고 진동이 적으며 작동이 안정적이며 시동이 빠르고 안정적이며 가속 후 작동이 안정되어 코팅 두께의 일관성과 균일성을 보장합니다.
7. 오일리스 평행봉 진공 펌프는 진공흡착을 통해 샘플을 고정할 때 사용되며, 크기가 작고 구조가 간단하며 조작이 간편하고 유지관리가 편리하며 환경오염이 없다는 장점이 있습니다.
8. 코팅은 불활성 가스 분위기(예: 아르, N2)에서 수행될 수 있습니다.
9. 진공 상태에서 코팅을 실시하는 경우, 샘플 기판은 접합이나 클램핑을 통해 고정됩니다.
10. 챔버는 화학적 부식에 대한 저항 능력과 우수한 응력 균열에 대한 저항 능력을 향상시키기 위해 더 긴 사용 수명을 가진 피피 재질로 만들어졌으며, 기계 본체는 내구성이 뛰어나고 무게가 가벼운 주조 알루미늄 구조를 채택했습니다.
11. 영어 운영체제
12. 덮개 열림 방지 기능이 있습니다. 코팅 과정 중 또는 코팅 종료 시 상단 덮개가 열리면 기계가 즉시 감속하여 정지합니다.
13. 컨트롤러는 액정표시장치 숫자 디스플레이가 있는 제어 상자를 채택하여 직관적이고 안정적입니다.
티기술적 매개변수
제품명 | 비티씨-200PV 진공 스핀 코터 |
제품 모델 | 비티씨-200PV |
설치 조건 | 1. 온도 및 습도: 10-85%RH(25℃에서 결로가 없을 것) 온도: 0-45℃. 2. 장비 주변에 강한 지진원이 없고 부식성 가스가 없습니다. 3. 물: 장비에는 하수 배출구가 장착되어 있습니다. 4. 전기: 단상: AC220V 50Hz 10A. 5. 가스 : 진공 음압(진공 펌프) 배기 유량은 70L/분 이상(장비는 보호 불활성 가스를 통과시킬 수 있음) 6. 작업대 : 1500mm×600mm를 권장합니다.mm×700mm이고 100kg 이상의 하중을 견뎌야 합니다(견고한 시멘트 플랫폼이 더 좋습니다) 7. 환기 장치 : 특별한 요구 사항 없음 |
주요 매개변수 (사양) | 1. 전원 공급 인터페이스: 퓨즈형 전원 소켓: AC220V, 50Hz; 퓨즈 사양: 10A, φ5×20mm. 2. 총 전력: ≤600W(450W 오일프리 진공 펌프 연결 포함). 3. 메인 챔버(재질): 폴리프로필렌. 4. 기판 홀더(척 + 진공 척): 표준 구성: 척 유형 기판 홀더 1개(2인치, 3인치, 4인치 샘플에 맞게 조정 가능) 및 Ø100mm 폴리프로필렌 진공 척 1개. 5. 작동 모드: 최대 12개의 프로그램을 저장할 수 있으며, 각 프로그램은 6개의 연속 단계로 구성됩니다. 6. 회전 속도: 500–6000 분당 회전수(효과적). 7. 단계별 가속/감속 속도: 조정 가능 범위: 100~2000rpm/s. 8. 단계별 시간: 조정 가능 범위: 0~60초. 9. 속도 안정성: ±1%. 10. 제어 시스템: 키패드 작동이 가능한 PCB 마이크로컨트롤러와 엘엠씨 액정표시장치 디스플레이. 11. 제품 크기 및 무게: · 본체 : Ø250mm × 360mm · 제어박스 : 330mm × 380mm × 150mm · 무게 : 25kg 12. 지원 장비: · 모델: AP-1400C/V, 메인 유닛 연결 소켓을 통해 전원 공급 · 전압 : AC220V, 50/60Hz, 2A, 0.45kW · 최대 진공도: –0.0933 MPa · 펌핑 속도: 150 L/분 · 기계식 진공 펌프(코팅 챔버 배기용) · 모델: VRD-8, 독립 소켓을 통해 전원 공급 · 전압 : AC220V, 50Hz, 2.5A, 0.4kW · 최대 진공도: 5×10⁻² 아빠 · 펌핑 속도: 8m³/h |
에스표준 액세서리
아니요. | 이름 | 수량 | 그림 |
1 | 진공척(φ100mm) | 1개 | |
2 | 클램핑 플레이트 2인치, 3인치, 4인치 | 1개 | |
3 | 중앙 위치 지정기/위치 지정기(4개의 위치 지정 스터드 포함) | 1개 | |
4 | 에폭시 주입기/주사기 | 1개 |
|
5 | 오일리스 진공 펌프 | 1개 | |
6 | 더블클릭 로터리 베인 진공 펌프 VRD-8 | 1개 |
그만큼옵션 액세서리
아니요. | 이름 | 기능 유형 | 그림 |
1 | 다른 사양의 진공 척 | (선택 과목) |
|
2 | 피펫(중국산) | (선택 과목) |
|
3 | 피펫(수입) | (선택 과목) | |
4 | VRD-16 기계식 펌프 | (선택 과목) |
보증
1년 제한 보증, 평생 지원(부적절한 보관 조건으로 인한 녹슨 부품 제외)
기호 논리학