고진공 플라즈마 강화 화학 기상 증착 시스템(PECVD)

설치 조건

1. 주위 온도: 10℃~35℃

2. 상대 습도: 75% 이하

3. 전원 공급 장치: 220V, 단상, 50±0.5Hz

4. 장비 전력 : 4kW 미만

5. 급수 : 수압 0.2MPa~0.4MPa, 수온 15℃~25℃

6. 장비 주변 환경은 깨끗하고, 공기가 깨끗해야 하며, 전기용품이나 기타 금속 표면을 부식시키거나 금속간 전도를 일으킬 수 있는 먼지나 가스가 없어야 합니다.

주요 매개변수

(사양)

1. 시스템은 단일 튜브 구조와 수동 전면 도어를 채택합니다.

2. 진공 챔버 구성 요소 및 액세서리는 모두 고품질 스테인레스 스틸(304), 아르곤 아크 용접으로 만들어졌으며 표면은 유리 분사 및 전기 화학적 연마 및 부동태 처리로 처리됩니다. 육안 관찰창과 배플/셔터가 장착되어 있습니다. 진공 챔버의 크기는 Φ300mm×300mm입니다.

3. 진공도 한계 : 8.0×10^-5잘

(베이킹 및 탈기 후 600L/S 분자 펌프를 사용하여 공기를 펌핑하고 앞 단계에 4L/S를 사용합니다.)

시스템 진공 누출 감지 누출율: ≤5.0×10^-7아빠.L/S;

시스템은 대기에서 8.0×10로 공기를 펌핑하기 시작합니다.^-4Pa는 40분 안에 도착할 수 있습니다. 펌프가 12시간 동안 정지된 후의 진공도: 20Pa 이하

4. 하단에 시료가 있고 상단에 스프링클러가 있는 용량성 결합 방식;

5. 시료의 최대 가열 온도: 500℃, 온도 조절 정확도: ±1℃, 온도 조절에는 온도 조절 미터가 사용됩니다.

6. 스프링클러 헤드 크기: Φ90mm, 스프링클러 헤드와 샘플 사이의 전극 간격은 스케일 인덱스 디스플레이를 통해 15~50mm 사이에서 온라인으로 지속적으로 조정 가능합니다(프로세스 요구 사항에 따라 조정 가능).

7. 증착 작업 진공 : 13.3-133Pa (프로세스 요구 사항에 따라 조정 가능)

8. RF 전원 공급 장치: 주파수 13.56MHz, 최대 전력 300W 자동 매칭

9. 가스 유형(사용자 제공), 표준 구성은 2채널 100sccm 품질 컨트롤러이며, 사용자는 공정 요구 사항에 따라 가스 회로 구성을 변경할 수 있습니다.

10. 시스템 배기가스 처리 시스템(사용자 제공)