초음파 스핀 스프레이 코터(300-3000 분당 회전수, 최대 12인치 웨이퍼)

비티씨-300USS

1. 온도 및 습도: 10-85%RH(25℃에서 결로가 없을 것) 온도: 0-45℃.

2. 장비 주변에 강한 지진원이 없고 부식성 가스가 없습니다.

3. 물: 하수 배수

4. 전기 : 단상 : AC220V 50Hz 10A.

5. 가스 : ① 진공 부압(진공펌프) 흡입유량 70L/분 이상

               ② 압축가스(공기압축기)

6. 작업대 : 권장 1500mm×600mm×700mm 하중 지지 100kg 이상 (견고한 시멘트 플랫폼이 더 좋습니다)

7. 환기 장치 : 특별한 요구 사항 없음

회전 호스트

1. 호스트 전원 공급 포트 보험이 있는 전원 소켓: AC220V 50Hz 10A

2. 호스트 전력 ≤300W

3. 샘플 트레이(흡착컵) 폴리프로필렌 진공흡착컵: φ203mm, 흡착기판 직경 상한: φ305mm

4. 작동 모드: 단방향 반시계 방향 작동

5. 스핀들 속도: 100-3000rpm 효과적

6. 속도 안정성：±2%

7. 스핀들 제어 모드: 무단계 속도 조절

8. 스윙암 스윙 각도：30°-75°

9. 스윙암 제어 모드: 무단계 속도 조절

10. 총 중량：65kg

11. 장비 크기: 540mm×720mm×240mm

초음파 분무

1. 초음파 전원 공급 포트: AC220V 50Hz

2. 초음파 출력: 200W

3. 입자 크기 : 10-20um

4. 유량 : 0.6pl-4ml/분

5. 점도: ≤100cps

6. 고형분 함량 : ≤10%

7. 유체 점도 범위: 1-50mpa.s(씨피)

8. 수용액에 권장되는 압축 공기 범위: ~2psi

9. 분무 노즐: 원통형 팁: 좁은 분무 직경 ~20mm 1개

10. 초음파 노즐 주파수 : 40KHz±10% : 진폭 파워 기어 : 1, 2, 3 기어 조절 가능

1. 펌프 전원 포트 DC24V (표준 "전원 어댑터 으으으으 입력: AC100-240V 50/60Hz 출력: DC24V 3.75A)

2. 펌프 전력: ≤50W

3. 크기: 250×65×50mm

4. 사출 속도: 0.001-20 mm/분

5. 미세 조정 속도: 0.001-10 mm/분

6. 주사기 직경: 0.04-30 mm

7. 표준 바늘 용량: 20ml

8. 스트로크 설정 범위: 0.01-90mm

1. 가열 전력: 2kW

2. 난방 전원 공급 장치: AC220V 50Hz

3. 호스트 크기: 660mm×410mm×635mm

4. 가열방식 : 적외선 가열램프 : 복사 베이킹

5. 가열 온도 : RT-80℃

난방 램프 및 제어 장치

열전대와 온도 조절 장치가 있는 듀얼 가열 램프(최대 1000W, 최대 80ºC)로 기판을 복사로 가열(12" 금속 기판에서 최대 65ºC)