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진공 및 대기 제어 스핀 코터
VTC-200PV 진공 스핀 코터는 반도체 공정, 크리스탈, 광 디스크, 제판 및 표면 코팅 등에 적합합니다. VTC-200PV 진공 스핀 코터의 챔버는 진공화되어 완전 진공 상태에서 샘플을 코팅할 수 있으므로 다음과 같은 작업에 적합합니다. 공기 중에서 쉽게 산화되고 변질되는 필름 재료. 챔버가 진공화될 때 샘플을 고정하기 위해 클램프가 사용됩니다. 장비는 12개의 프로그램 세트를 저장할 수 있으며 각 세트에는 6개의 실행 단계가 포함되어 있습니다.
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10000RPM 초고속 스핀코터
VTC-100PAX 진공 스핀 코터는 고성능 정밀 접착제 레벨링 기계입니다. 이는 고급 설계 개념을 채택하고 고정밀 및 고균일성 접착제 분배 작업을 위한 정밀 모션 제어 시스템과 협력합니다. 6개 그룹의 프로그램을 저장할 수 있으며 각 프로그램은 9단계에 도달할 수 있습니다. 속도, 가속도, 회전 시간 등과 같은 모든 작동 매개변수를 장치에서 쉽게 설정할 수 있습니다.
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20000RPM 초고속 스핀코터
VTC-100PAH 진공 회전 Coater는 반도체 공정, 크리스탈, 광디스크, 제판, 표면 코팅 등에 적합합니다. 진공 흡착 방식으로 시료를 고정하므로 시료를 자유롭게 채취하고 배치할 수 있습니다. 모터는 빠르고 안정적으로 시작하므로 코팅 두께의 일관성과 균일성을 보장할 수 있습니다.
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글로브박스에 사용하기 위한 데스크탑 무진공 스핀 코터
비티씨씨-50A-직류 회전 Coater는 모터부와 제어부에 독립된 전원 공급 시스템을 채택하고 속도 제어 시스템은 제어에 대한 간섭 방지가 높은 단일 칩 마이크로 컴퓨터를 채택하여 회전 속도가 매우 빠르고 안정적입니다. 1000-8000RPM. 코터는 작동 중 두 단계, 즉 저속 시간의 T1 단계와 고속 시간의 T2 단계를 갖습니다.
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고속 스핀 코터(10K rpm 및 최대 5") 글러브박스에 사용
VTC-100PA-DC 진공 회전 Coater에는 다양한 크기의 진공척(표준용) 3개가 장착되어 있으며, 시료의 크기에 따라 다양한 진공척을 장착할 수 있습니다. 작업 중에 VTC-100-DC 진공 스핀 코터는 진공 플레이트 흡착 방식을 사용하여 샘플을 샘플 플레이트에 고정합니다. 장비는 속도를 제어하기 위해 2단계 프로그램을 사용합니다.
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스핀 스프레이 코팅기(2000rpm 및 최대 6") 가열 커버 포함
VTC-200-4P 적외선 가열 스프레이 스핀 코터(접착제 레벨러, 개발자, 접착제 스피너, 회전 코터)는 상부 커버의 가열 기능을 가지며 주로 반도체 및 제판 기술의 그래픽 및 표면 코팅 개발에 사용됩니다. 글루 레벨링 또는 현상 공정 후에 콜로이드 필름의 용매는 가장 낮은 함량으로 증발합니다. 작업 과정에서 현상액이나 콜로이드를 미스트 형태로 샘플에 분사하여 용액이 샘플 표면에 고르게 분포되도록 하여 필름의 원활한 성능과 현상 과정에 도움이 됩니다.
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부식방지 스핀코터 (6K RPM &앰프; 6" 웨이퍼 맥스.) -
VTC-200P 진공 회전 Coater는 반도체 공정, 크리스탈, 광 디스크, 제판 및 표면 코팅 등에 적합합니다. 장비는 12개의 프로그램 세트를 저장할 수 있으며 각 세트에는 6개의 실행 단계가 포함되어 있습니다. 챔버의 상부 커버는 샘플을 가열할 수 있으며(옵션 기능), 이는 점도가 높은 박막 재료의 코팅 공정에 유리합니다.
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