자외선 커버가 있는 고속 스핀 코터(10,000rpm 및 최대 5인치)

비티씨-100PA-자외선 자외선 스핀 코터는 반도체 공정, 크리스털, 광디스크, 제판 및 표면 코팅 등에 적합합니다. 상단 커버는 자외선 광원을 채택하여 특히 UV에 민감한 소재에 적합하며, 코팅된 필름을 빠르게 경화시킬 수 있습니다. 또한, 자외선 램프는 중합 기능을 갖추고 있어 단량체를 중합하여 고분자 필름을 형성할 수 있습니다.

브랜드: Shenyang Kejing
제품 산지: 중국 선양
납품 가격: 10일 근무
공급 능력: 50세트

정보

제품 소개

비티씨-100PA-자외선 스핀 코터(포토레지스트 코터, 스핀 코터 또는 스핀 코팅 시스템이라고도 함)는 반도체 제조, 결정, 광 디스크, 리소그래피 및 표면 코팅과 같은 공정을 위해 설계되었습니다.

이 챔버는 폴리프로필렌으로 제작되어 뛰어난 내식성과 긴 수명을 제공하며, 강산 및 강알칼리 용액을 사용하는 코팅 작업에 적합합니다. 상단 커버에는 자외선 램프 조사 기능이 있어 특히 UV에 민감한 레지스트에 적합합니다. 코팅된 레지스트의 빠른 경화를 가능하게 하며, 단량체를 고분자 필름으로 변환하는 중합 반응을 촉진합니다.

액체 주입구는 상단 덮개 중앙에 있으며, 마개가 장착되어 있습니다. 밀폐된 챔버 환경이 필요한 경우 마개를 삽입해야 합니다. 챔버에는 가스 주입구도 있어 스핀 코팅 공정 중 보호 가스를 주입할 수 있습니다.

샘플은 진공 흡착 방식으로 고정되어 조작이 간편하고 로딩/언로딩이 편리합니다. 전용 센터링 도구를 사용하면 샘플을 척 중앙에 정확하게 배치하여 편심 진동을 줄이고 웨이퍼 파손을 방지할 수 있습니다. 샘플 크기에 따라 다양한 척을 선택할 수 있으며, 교체가 간편하고 편리합니다.

이 시스템은 정밀 무브러시 DC 모터로 구동되어 빠른 시동과 안정적인 속도를 제공하며 코팅 두께의 일관성과 균일성을 보장합니다.

주요 특징

1. 샘플은 진공 흡착을 통해 고정되므로 조작이 간편하고 샘플을 채취하고 놓기가 편리하며, 필요에 따라 사용자 정의가 가능합니다.

2. 상단 커버는 자외선 광원을 채택하여 강도를 일정 범위 내에서 조절할 수 있습니다.

3. 주입구는 상부 커버의 중앙에 위치하며, 챔버에 밀폐된 환경이 필요할 때 적용되는 고무 플러그가 장착되어 있습니다.

4. 챔버 내의 가스 유입구는 보호가스를 연결하는 데 사용됩니다.

5. 모터부와 자외선 제어부는 독립적으로 제어됩니다. 모터 속도 조절 시스템은 단일 보드 컴퓨터와 액정표시장치 화면으로 제어되며, 수치 표시는 더욱 직관적이고 안정적입니다. 자외선은 강력한 간섭 방지 기능을 갖춘 PLC 컨트롤러로 제어됩니다.

6. 이 기계의 코팅 속도는 500~1000RPM입니다. 12개 그룹의 프로그램을 저장할 수 있으며, 각 프로그램 그룹에는 6개의 작동 단계가 포함되어 있으며, 각 단계의 작동 매개변수를 독립적으로 설정하여 속도를 천천히 한계까지 높일 수 있습니다. 이는 샘플 표면에 균일한 필름을 형성하는 데 도움이 되며 낭비가 심하지 않습니다.

7. 자외선 진공 스핀 코터는 빠르게 시작되고 회전 속도가 안정적이어서 필름 두께의 균일성과 일관성을 보장할 수 있습니다.

8. 설치 구조상 작동 시 소음을 줄이기 위한 충격 흡수 대책을 취합니다.

9. 챔버는 화학적 부식에 대한 저항 능력과 우수한 응력 균열에 대한 저항 능력을 향상시키기 위해 더 긴 수명을 가진 피피 재질로 만들어졌으며, 기계 본체는 내구성이 뛰어나고 무게가 가벼운 주조 알루미늄 구조를 채택했습니다.

티기술적 매개변수

제품명	비티씨-100PA-자외선 자외선 스핀 코터
제품 모델	비티씨-100PA-자외선
설치 조건	1. 온도 및 습도: 10-85%RH(25℃에서 결로가 없을 것) 온도: 0-45℃. 2. 장비 주변에 강한 진동원이나 부식성 가스가 없어야 합니다. 3. 물: 필요 없음. 4. 전기: 단상: AC220V 50Hz 10A. 5. 가스 : 진공 음압(진공 펌프) 공기 유량은 70L/분 이상(장비는 보호 불활성 가스를 통과시킬 수 있음). 6. 작업대 : 800mm×600mm를 권장합니다.mm×700mm이고 50kg 이상의 하중을 견딜 수 있어야 합니다(견고한 시멘트 플랫폼이 더 좋습니다). 7. 환기장치: 특별한 요구사항 없음.
주요 매개변수	1. 전원 공급 인터페이스: 보험이 있는 전원 소켓: AC220V 50Hz, 보험관 사양은 10A, φ5×20mm(이 장치는 AC110V 50/60Hz 제품 맞춤 제작을 지원합니다). 2. 총 전력: ≤180W(외부 진공 펌프 제외). 3. 코팅 호스트 캐비티(소재): 폴리프로필렌. 4. 샘플 트레이(흡착컵): 폴리프로필렌 흡착컵 Φ19mm, Φ60mm씩. 5. 동작 모드: 12개의 프로그램 세트를 저장할 수 있으며, 각 프로그램 세트에는 6개의 동작 단계가 포함되어 있습니다. 6. 코팅 속도: 500rpm-10000rpm이 효과적입니다. 7. 가속 및 감속률: 각 가속 및 감속률의 설정 범위는 100rpm~2000rpm입니다. 8. 코팅 시간: 각 시간 범위: 0~60초. 9. 속도 안정성: ±1%. 10. 호스트 제어 모드: PCB 단일 칩 마이크로컴퓨터 키 제어 엘엠씨 액정표시장치 디스플레이. 11. 경화 방법: 16개의 주도의 보라색 빛 구슬. 12. 경화 시간: 보라색 빛 시간 설정 범위: 1~800초. 13. 경화력: 보라색 빛 출력 범위: 5-30W 조절 가능. 14. 경화 제어 방식 : 터치스크린(보라색 조명 시스템의 독립적인 제어, 호스트 제어와 관련 없음).
	15. 제품 사양 · 치수: 450mm×280mm×340mm · 무게 : 18kg

표준 액세서리

아니요.	이름	수량	이미지 링크
1	진공 흡입 컵(O-링 포함)(Ø19mm 및 Ø60mm)	2
2	센터 로케이터	1
3	오일프리 진공 펌프	1

옵션 액세서리

아니요.	이름	기능적 범주	이미지 링크
1	다른 크기의 진공컵	(선택 과목)
2	국내용 피펫건	(선택 과목)
3	수입 피펫	(선택 과목)