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탁상용 진공리스 스핀 코터
VTC -50A 회전 Coater는 모터부와 제어부에 독립적인 전원 공급 시스템을 채택하고 속도 제어 시스템은 제어에 높은 간섭 방지 기능을 갖춘 단일 칩 마이크로 컴퓨터를 채택하여 회전 속도가 1000 범위에서 매우 높고 안정적입니다. -8000RPM. 코터는 작동 중에 두 단계, 즉 저속 시간의 T1 단계와 고속 시간의 T2 단계로 구성됩니다.
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스핀 코터(8K rpm , 최대 4" 웨이퍼) 진공 척 3개 포함
VTC -100 진공 스핀 코터는 크기가 다른 3개의 진공 척(표준용)이 장착되어 있으며 샘플의 크기에 따라 다른 진공 척을 사용할 수 있습니다. 작업하는 동안 VTC -100 진공 스핀 코터는 진공 플레이트 흡착 방식을 사용하여 샘플을 샘플 플레이트에 고정합니다. 장비는 2단계 프로그램을 사용하여 속도를 제어합니다.
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소형 회전 코터 (8K rpm , 4" 웨이퍼 최대 .) 낮은 척 디자인
VTC -100B 진공 스핀 코터는 VTC -100 진공 스핀 코터의 업그레이드 버전입니다. 개폐가 가능하도록 접힌 상부 덮개와 안전 잠금 장치가 장착되어 있습니다. 동시에 작업자의 안전을 더 잘 보장하기 위해 덮개를 여는 보호 기능이 있습니다.
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프로그래밍 가능한 진공 척 스핀 코팅기(500-6000rpm, 최대 8")
VTC -200 진공 스핀 코터는 간단한 작동, 편리한 청소 및 작은 크기의 장점이 있습니다. 그것은 주로 대학 및 과학 연구 기관의 실험실에서 필름 성장 과정에 사용됩니다. VTC -200 진공 스핀 코터는 작업 중에 진공 플레이트 흡착 방식을 사용하여 샘플을 샘플 플레이트에 고정합니다. 장비는 2단계 프로그램을 사용하여 속도를 제어합니다.
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고속 스핀 코팅기(10K rpm 및 최대 5")
VTC -100PA 진공 스핀 코터는 반도체 공정, 결정, 광 디스크, 제판 및 표면 코팅 등에 적합합니다. 강산 및 강알칼리 코팅 용액에 사용할 수 있습니다. 장비는 시료의 크기에 따라 크기가 다른(표준용) 2개의 진공 척이 장착되어 있습니다. 장비는 12개의 프로그램 세트를 저장할 수 있으며 각 세트에는 6개의 실행 단계가 포함되어 있습니다.
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100ºC 가열 커버가 있는 고속 스핀 코터
VTC -100PA-I 진공 스핀 코터는 반도체 공정, 결정, 광 디스크, 제판 및 표면 코팅 등에 적합합니다. 강산 및 강알칼리 코팅 용액에 사용할 수 있습니다. 장비는 시료의 크기에 따라 크기가 다른(표준용) 2개의 진공 척이 장착되어 있습니다. 장비는 12개의 프로그램 세트를 저장할 수 있으며 각 세트에는 6개의 실행 단계가 포함되어 있습니다.
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200ºC 가열 커버가 있는 고속 스핀 코터
VTC -100PA-II 진공 스핀 코터는 반도체 공정, 결정, 광 디스크, 제판 및 표면 코팅 등에 적합합니다. 강산 및 강알칼리 코팅 용액에 사용할 수 있습니다. 장비는 시료의 크기에 따라 크기가 다른(표준용) 2개의 진공 척이 장착되어 있습니다. 장비는 12개의 프로그램 세트를 저장할 수 있으며 각 세트에는 6개의 실행 단계가 포함되어 있습니다.
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커버가 있는 - (10K 및 5" )
-100PA- Coater는 반도체 공정, 크리스탈, 광 디스크, 제판 및 표면 코팅 등에 적합합니다. 상부 커버는 광원을 채택하고 특히 빛에 민감한 재료에 적합하여 빠르게 응고시킬 수 있습니다. 코팅 필름. 또한 램프에는 중합 기능이 있어 모노머를 폴리머 필름으로 중합할 수 있습니다.
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부식 방지 스핀 코터 (6K RPM &앰프 ; 6" 웨이퍼 최대 .)
VTC -200P 진공 스핀 코터는 반도체 공정, 크리스탈, 광 디스크, 제판 및 표면 코팅 등에 적합합니다. 장비는 12 세트의 프로그램을 저장할 수 있으며 각 세트에는 6개의 실행 단계가 있습니다. 챔버 상부 커버는 시료를 가열할 수 있어(옵션 기능) 점도가 높은 박막 소재의 코팅 공정에 유리합니다.
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