3개의 진공 척이 있는 스핀 코터(8K rpm, 최대 4인치 웨이퍼)

제품 소개

VTC-100 진공 스핀 코터는 반도체 제조, 포토리소그래피, 표면 코팅 등의 공정에 적합합니다. 간편한 조작, 편리한 세척, 그리고 콤팩트한 디자인을 특징으로 하며, 주로 대학 및 연구 기관의 실험실에서 박막 제조에 사용됩니다.

이 장비는 샘플 고정을 위해 진공 척킹 방식을 채택하여 기존의 복잡한 작업 단계를 줄이면서 샘플을 쉽게 장착하고 탈착할 수 있습니다. 세 개의 폴리프로필렌 진공 척(φ25mm, φ50mm, φ100mm)이 기본으로 제공되어 실리콘 웨이퍼 및 다양한 크기의 소재 코팅에 적합합니다.

내부 전원 시스템은 모터 섹션과 제어 섹션을 분리하며, 각 섹션에는 독립적인 전원 공급 장치가 있습니다. 속도 제어 시스템은 간섭 저항성이 뛰어난 마이크로컨트롤러를 사용하여 1000~8000 rpm 범위에서 안정적인 회전을 보장합니다. 스핀 코터는 빠르게 작동하여 안정적인 속도를 유지하여 필름 두께의 균일성과 일관성을 보장합니다. 또한, 설치 구조에 진동 감쇠 장치를 적용하여 장비 작동 시 안정성을 높이고 소음을 줄였습니다.

주요 특징

1. 속도는 2단계 프로그램으로 제어됩니다. 첫 번째 저속 단계에서 접착제를 주입하고 두 번째 고속 단계에서 접착제를 평평하게 합니다.

2. 샘플은 진공 흡착 방식으로 고정되므로 조작이 간편하고 샘플을 채취하고 놓기가 편리합니다.

3. 알루미늄 주조 구조로 안정적인 작동 및 저소음

4. 모터와 컨트롤러의 전원은 독립적으로 공급됩니다.

5. 속도 조절은 높은 내간섭성을 갖춘 단일 칩 컴퓨터로 제어되며, 속도는 1000~8000rpm 범위 내에서 매우 안정적입니다.

6. LED 디지털 디스플레이, 스핀 코팅 카운트다운 디스플레이 기능

7. 오일리스 평행봉 진공펌프는 크기가 작고, 구조가 간단하며, 조작이 간편하고, 유지관리가 편리하며, 환경오염이 없다는 장점이 있습니다.

티기술적 매개변수

에스표준 액세서리

아니요.	이름	수량	그림
1	진공 척 (PP,Ø25mm,Ø50mm,Ø100mm)	각 1개
2	주입기/주사기	1개
3	오일리스 진공 펌프	1개

그만큼옵션 액세서리

보증

    1년 제한 보증, 평생 지원(부적절한 보관 조건으로 인한 녹슨 부품 제외)

기호 논리학