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고 RF 전원 공급 장치가 있는 플라즈마 세정기
PCE-6V 소형 플라즈마 세정기는 RF 플라즈마 생성 기술, 컴퓨터 제어 기술, 소프트웨어 프로그래밍 기술을 통합하여 가스를 세정 매체로 사용하여 액체 세정 매체로 인한 2차 오염을 효과적으로 방지합니다. PCE-6V 소형 플라즈마 세정기의 샘플 스테이지에는 가열 기능을 장착할 수 있으며, 음의 바이어스 전압을 인가하여 샘플의 플라즈마 에칭을 수행할 수 있습니다. 또한, 특정 조건에서 필요에 따라 특정 재료 표면의 특성을 변경할 수 있습니다.
- Shenyang Kejing
- 중국 선양
- 10일 근무
- 50세트
- 정보
주요 특징
1. 가스를 세척 매체로 사용하면 액체 세척 매체로 인한 2차 오염을 방지할 수 있습니다.
2. 유기오염물질을 단시간에 철저히 세척할 수 있습니다.
3. 세척 정도는 분자 수준에 도달할 수 있습니다.
4. 일부 재료 표면의 속성은 특정 조건 하에서 필요에 따라 변경될 수 있습니다.
5. 세척 과정에서 발생하는 글로우 방전은 일부 특수 재료의 접착력, 호환성 및 습윤성을 향상시키고 살균 및 소독 효과를 얻을 수 있습니다.
6. 샘플 스테이지에는 가열 기능을 장착할 수 있으며, 플라즈마 에칭을 위해 음의 바이어스를 추가할 수 있습니다.
7. 광학, 광전자/광전자, 전자, 재료 과학, 생명 과학, 고분자 과학, 생물 의학, 미세 유체 및 기타 분야에서 널리 사용됩니다.
기술적 매개변수
제품명 | PCE-6V 소형 플라즈마 세정기 | |
제품 모델 | PCE-6V | |
주요 매개변수 (사양) | 1. 전압 : AC220V 10A 2. 소비전력 : <500W (진공펌프 포함) 3. RF 전원 공급 장치: 출력 전력 100W, 출력 주파수 13.56MHz 4. 챔버: Ø190mm×98mm 5. 석영관 : Ø180mm×55mm, 벽두께 7mm 6. 내부 챔버: Ø165mm×55mm 7. 세척 전극 : Ø120mm 8. 샘플 스테이지 : Ø150mm, 유효 크기 Ø140mm 9. 샘플 스테이지와 전극 사이의 거리 : 15mm~50mm 조절 가능 10. 배기관 : Ø12mm 11. 최대 진공도: 0.1Pa 12. 작동 진공도: 60Pa-500Pa 13. 공기 채널 수: 2개(선택 사항) 14. 유량 제어기 수: 1, 2 15. 유량 표시기: 2채널 16. 공압 인터페이스: Ø6mm 17. 가열 샘플 스테이지: Ø100mm, 가열 샘플 온도 200℃-500℃ (옵션) 18. 냉각수 압력 : 0.2kPa-0.4kPa 19. 작업 환경: 온도 5℃-35℃, 습도 <80%(상대 습도) 결로 현상 없음. | |
제품 크기 및 무게 | 치수: 245mm×235mm×460mm (진공펌프 제외) 무게 : 20kg (진공 펌프 제외) |
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옵션 액세서리
| 아니요. | 이름 | 기능 범주 | 영상 |
| 1 | 가열 샘플 스테이지 | 선택 과목 | - |
| 2 | 유량 제어기(범위 10, 50, 100, 채널 수 ≤ 2 추가 가능) | 선택 과목 | - |
보증
1년 제한 보증, 평생 지원(부적절한 보관 조건으로 인한 녹슨 부품 제외)
기호 논리학
