높은 RF 전원 공급 장치를 갖춘 플라즈마 클리너
브랜드 Shenyang Kejing
제품 산지 중국 선양
납품 가격 영업일 기준 10일
공급 능력 50세트
PCE-6V 소형 플라즈마 클리너는 RF 플라즈마 생성 기술, 컴퓨터 제어 기술 및 소프트웨어 프로그래밍 기술을 통합하고 가스를 세척 매체로 사용하여 액체 세척 매체로 인한 2차 오염을 효과적으로 방지합니다. PCE-6V 소형 플라즈마 클리너의 샘플 스테이지에는 가열 기능이 장착될 수 있으며, 샘플의 플라즈마 에칭을 위해 음의 바이어스 전압을 인가할 수 있습니다. 또한 특정 조건에서 필요에 따라 특정 재료 표면의 특성을 변경할 수 있습니다.
주요 특징
1. 가스를 세척제로 사용하면 액체 세척제로 인한 2차 오염을 방지할 수 있습니다.
2. 유기오염물질을 단시간에 철저하게 청소할 수 있습니다.
3. 청소 정도는 분자 수준에 도달할 수 있습니다.
4. 일부 재료 표면의 특성은 특정 조건에서 필요에 따라 변경될 수 있습니다.
5. 세척 과정에서 글로우 방전은 일부 특수 목적 재료의 접착력, 호환성 및 습윤성을 향상시킬 수 있으며 소독 및 살균이 가능합니다.
6. 샘플 스테이지에는 가열 기능이 장착될 수 있으며 플라즈마 에칭을 위해 네거티브 바이어스를 추가할 수 있습니다.
7. 광학, 광전자공학/광전자공학, 전자공학, 재료과학, 생명과학, 고분자과학, 생물의학, 미세유체공학 및 기타 분야에서 널리 사용됩니다.
티기술적 매개변수
상품명 | PCE-6V 소형 플라즈마 클리너 |
제품 모델 | PCE-6V |
주요 매개변수 (사양) | 1. 전압: AC220V 10A 2. 전력 소비: <500W(진공 펌프 포함) 3. RF 전원 공급 장치: 출력 전력 100W, 출력 주파수 13.56MHz 4. 챔버 : Ø190mm×98mm 5. 석영관: Ø180mm×55mm, 벽 두께 7mm 6. 내부 챔버: Ø165mm×55mm 7. 청소전극 : Ø120mm 8. 샘플 스테이지: Ø150mm, 유효 크기 Ø140mm 9. 샘플 스테이지와 전극 사이의 거리: 15mm-50mm 조정 가능 10. 배기관 : Ø12mm 11. 최대 진공도: 0.1Pa 12. 작동 진공도 : 60Pa-500Pa 13. 공기 채널 수: 2(선택 사항) 14. 유량 컨트롤러 수: 1, 2 15. 흐름 표시기: 2채널 16. 공압 인터페이스: Ø6mm 17. 가열 샘플 스테이지: Ø100mm, 가열 샘플 온도 200℃-500℃(옵션) 18. 냉각수 압력: 0.2kPa-0.4kPa 19. 작업 환경: 온도 5℃-35℃, 습도 <80%(상대 습도), 응축 없음, 고도 0-2000m |
제품 크기 및 무게 | 치수: 245mm×235mm×460mm (진공 펌프 제외) 무게: 20kg(진공 펌프 제외)
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옵션 액세서리 | 1. 가열 샘플 스테이지 2. 유량 컨트롤러(범위 10, 50, 100, 채널 추가 가능 2개 이하) |
보증
평생 지원으로 1년 제한(부적절한 보관 조건으로 인해 녹슨 부품 제외)
물류 센터
