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진공 펌프가 있는 플라즈마 세정기
PCE-6 소형 플라즈마 세정기의 플라즈마 챔버는 Ø160mm×190mm 크기의 석영 챔버입니다. 사용하는 RF 전력은 3.0MHz(1%)이며, 출력 전력은 7.2W, 10.2W, 29.6W의 세 가지 단계로 조절 가능합니다. 이 장비는 주로 공기, 산소 또는 아르곤 및 기타 가스의 플라즈마를 통해 기판의 산화막과 오염 물질을 제거하며, 물체 표면의 특성(친수성, 소수성 등)을 변화시킬 수도 있습니다.
- Shenyang Kejing
- 중국 선양
- 10일 근무
- 50세트
- 정보
제품 소개
그만큼PCE-6 컴팩트 플라즈마 클리너Ø160mm × 190mm 크기의 석영 플라즈마 챔버를 갖추고 있으며, 3.0MHz(±1%)에서 작동하는 RF 전원 공급 장치가 장착되어 있으며, 7.2W, 10.2W, 29.6W의 세 가지 조절 가능한 출력 전력 레벨을 제공합니다.
이 시스템은 공기, 산소, 아르곤 등의 가스에서 생성된 플라즈마를 이용하여 기판의 산화물과 오염 물질을 제거하는 동시에 표면 특성(예: 친수성 또는 소수성)을 변화시킵니다. 기판 세정 및 박막 처리에 이상적입니다.
PCE-6는 소형이고 공간 절약형이어서 실험실 환경에 적합합니다. 이중 회전식 진공 펌프가 장착되어 있어 챔버를 진공화하는 동시에 아르곤과 같은 가스를 주입할 수 있어 산화되기 쉬운 물질을 세척하는 데 특히 적합합니다.
주요 특징
1. 제어판의 버튼과 스위치를 통해 RF 전력, 진공 펌프의 개폐, 세척 시간을 제어하고 조절할 수 있습니다.
2. 시간, 전력, 진공도 등의 정보는 4개의 디지털 튜브 그룹에 표시됩니다.
3. 3방향 밸브가 장착되어 흡입 공기 흐름을 정밀하게 제어하고 대기 공기로 챔버를 정화합니다. 흡입 인터페이스는 6mm 카드 슬리브 인터페이스입니다.
4. 플라즈마 에칭 및 애싱 실험을 수행하기 위해 고전력 RF 전원 공급 장비를 선택했습니다.
티기술적 매개변수
제품명 | PCE-6 소형 플라즈마 세정기 |
제품 모델 | PCE-6 |
주요 매개변수 (사양) | 1. 전원 공급 : AC220V 50/60Hz 2. 출력 전력: 7.2W, 10.2W, 29.6W 3. 진공 펌프 전력: <500W 4. 총 전력: <600W 5. RF 주파수 : 3.0MHz, 전력은 3단계로 수동 조절 가능 6. 플라스마 챔버 : Ø160mm×190mm의 고순도 석영 챔버, 플랜지에 Ø45mm의 관찰창이 있는 알루미늄 접이식 플랜지로 밀봉됨 7. 진공 펌프 : 120L/분, 직결형 2단 회전 진공 펌프 8. 최대 진공도: 50mtorr 9. 가스 도입 : 플라즈마를 생성하기 위해 N2와 같은 다양한 가스를 도입할 수 있습니다.2, 아르, H2, O2, 공기 및 혼합가스(재료 특성에 따라 선택)를 사용하여 세척 및 에칭 |
제품 크기 및 무게 | 치수: 400mm×300mm×300mm 안에여덟:10.2kg |
옵션 액세서리
| 아니요. | 이름 | 기능 범주 | 영상 |
| 1 | 2"-6" 석영 보트/캐리어(기질 고정용) | 선택 과목 | - |
| 2 | 2-4채널 양성자 또는 부유 가스 혼합 시스템 | 선택 과목 | - |
보증
1년 제한 보증, 평생 지원(부적절한 보관 조건으로 인한 녹슨 부품 제외)
기호 논리학
