고속 스핀 코터(10,000rpm 및 최대 5인치)

제품 소개

비티씨-100PA 진공 스핀 코터는 반도체, 크리스털, 광디스크 및 포토리소그래피 분야의 표면 코팅 공정에 적합하도록 설계되었습니다. 또한 강산 또는 강알칼리 코팅 용액을 사용하여 필름을 제조하는 데에도 적합합니다.

이 장치에는 크기가 다른 두 개의 진공 척이 기본으로 제공되어 사용자가 샘플 크기에 따라 적절한 척을 선택할 수 있습니다. 작동 중 비티씨-100PA는 진공 흡입을 통해 샘플을 척에 고정합니다. 이 장치는 최대 12개의 프로그램을 저장할 수 있으며, 각 프로그램은 6단계로 구성됩니다. 각 단계는 서로 다른 회전 속도에 대응하여 코터가 최대 속도까지 점진적으로 상승할 수 있도록 합니다. 이를 통해 샘플 표면에 균일한 필름이 형성되는 동시에 재료 낭비를 줄이고 효율성을 향상시킵니다.

비티씨-100PA 진공 스핀 코터는 간편한 작동, 편리한 세척, 작은 설치 공간 등의 특징을 갖추고 있어 대학, 연구소, R&D 시설의 실험실에서 박막 제조에 널리 사용됩니다.

주요 특징

1. 진공흡착방식으로 시료를 고정하므로 조작이 간편합니다.

2. 진공도는 -0.08MPa에 도달할 수 있습니다.

3. 위치 조정 도구를 사용하면 샘플을 쉽게 중앙에 배치하여 정렬 불량으로 인한 진동이나 튀어나옴을 줄일 수 있습니다.

4. 샘플 사양에 따라 다양한 척을 사용할 수 있으며, 교체가 편리하고 간편합니다.

5. 24V 브러시리스 직류 모터를 채택하여 높은 신뢰성, 강력한 적응성, 간단한 수리 및 유지 보수, 낮은 소음, 작은 진동, 안정적인 작동, 빠르고 안정적인 시동, 가속 후 안정적인 작동으로 코팅 두께의 일관성과 균일성을 보장합니다.

6. 오일리스 평행봉 진공펌프는 크기가 작고, 구조가 간단하며, 조작이 간편하고, 유지관리가 편리하며, 환경오염이 없다는 장점이 있습니다.

7. 챔버는 화학적 부식에 대한 저항 능력과 우수한 응력 균열에 대한 저항 능력을 향상시키기 위해 더 긴 사용 수명을 가진 피피 재질로 만들어졌으며, 기계 본체는 내구성이 뛰어나고 무게가 가벼운 주조 알루미늄 구조를 채택했습니다.

8. 코팅은 불활성 가스 분위기(예: 아르, N₂).

9. 영어 운영체제

10. 덮개 열림 방지 기능이 있습니다. 코팅 과정 중 또는 코팅 종료 시 상단 덮개가 열리면 기계가 즉시 감속하여 정지합니다.

11. 제어 인터페이스는 터치스크린과 싱글보드 컴퓨터 제어 시스템을 채택하여 수치 표시가 더욱 직관적이고 안정적입니다.

티기술적 매개변수

에스표준 액세서리

그만큼옵션 액세서리

아니요.	이름	기능 유형	그림
1	다른 사양의 진공 척	(선택 과목)
2	피펫(중국산)	(선택 과목)
3	피펫(수입)	(선택 과목)

보증

    1년 제한 보증, 평생 지원(부적절한 보관 조건으로 인한 녹슨 부품 제외)

기호 논리학