고속 스핀 코팅기(10K rpm 및 최대 5")

브랜드 Shenyang Kejing

제품 산지 중국 선양

납품 가격 영업일 기준 10일

공급 능력 50세트

VTC-100PA 진공 회전 Coater는 반도체 공정, 크리스탈, 광디스크, 제판, 표면코팅 등에 적합합니다. 강산성, 강알칼리성 코팅용액에도 사용 가능합니다. 장비에는 시료의 크기에 따라 크기가 다른(표준용) 두 개의 진공 척이 장착되어 있습니다. 장비는 12개의 프로그램 세트를 저장할 수 있으며 각 세트에는 6개의 실행 단계가 포함되어 있습니다.

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고속 스핀 코팅기(10K rpm 및 최대 5")

주요 특징

1. 시료는 진공 흡착 방식으로 고정되므로 조작이 간편합니다.

2. 진공도는 -0.08MPa에 도달할 수 있습니다.

3. 위치 지정 도구를 사용하여 샘플을 쉽게 중앙에 배치하여 오정렬로 인한 진동이나 튀어나오는 현상을 줄일 수 있습니다.

4. 샘플 사양에 따라 다양한 척을 사용할 수 있으며 교체가 편리하고 간단합니다.

5. 24V 브러시리스 DC 모터가 채택되었으며 높은 신뢰성, 강력한 적응성, 간단한 수리 및 유지 관리, 저소음, 작은 진동, 안정적인 작동, 빠르고 안정적인 시동, 가속 후 안정적인 작동 등의 장점을 가지고 있어 일관성을 보장하고 코팅 두께의 균일성

6. 오일리스 평행봉 진공 펌프는 작은 크기, 간단한 구조, 쉬운 작동, 편리한 유지 관리 및 환경 오염이 없다는 장점이 있습니다.

7. 챔버는 화학적 부식 및 우수한 응력 균열에 대한 저항성을 향상시키기 위해 수명이 긴 PP 재질로 만들어졌으며 기계 본체는 내구성이 뛰어나고 무게가 가벼운 주조 알루미늄 구조를 채택했습니다.

8. 불활성 가스 분위기(아르곤, N2 등)에서도 코팅이 가능합니다.

9. 영어 운영 체제

10. 오픈커버 보호기능이 있습니다. 코팅 작업 중이나 코팅이 끝난 후 탑 커버를 열면 기계는 즉시 정지할 때까지 급격하게 감속합니다.

11. 제어 인터페이스는 터치 스크린과 단일 보드 컴퓨터 제어 시스템을 채택하고 수치 표시가 더욱 직관적이고 안정적입니다.

티기술적 매개변수

상품명	VTC-100PA 진공 스핀 코터
제품 모델	VTC-100PA
설치 조건	본 장비는 고도 1000m 이하, 온도 25℃±15℃, 습도 55%Rh±10%Rh에서 사용해야 합니다. 1. 물 : 물 입구와 출구가 장착되어 있습니다. 2. 전기 : AC220V 50Hz, 접지가 양호해야합니다. 3. 가스: 해당 없음 4. 작업대: 크기 600mm×600mm×700mm, 50kg 이상 베어링 5. 환기 장치: 필요
주요 매개변수 (사양)	1. 전원 공급 장치: 220V 50Hz 2. 모터 전력 : 400W 3. 속도 범위: 500rpm-10000rpm 4. 프로그램 작동: 12개의 프로그램 그룹을 저장할 수 있으며 각 그룹에는 6개의 실행 단계가 포함되어 있으며 각 단계의 시간 범위는 0-60초입니다. 5. 가속 및 감속 속도 설정 범위: 100rpm/s-2000rpm/s 6. 기계에는 가열 기능이 장착될 수 있습니다. * VTC-100PA-II: RT-200℃, 전체 챔버와 척은 PTFE로 제작되어 고온 및 부식에 더욱 강합니다. * VTC-100PA-I : RT-100℃, 척은 PTFE로 제작되었으며, 상부커버와 싱크/물탱크는 폴리프로필렌으로 제작되었습니다. * 온도는 호스트 프로그램 제어와 관련이없는 독립 컨트롤러를 사용합니다.
제품 크기 및 무게	차원: 450mm×280mm×340mm 무게:20kg

에스표준 액세서리

아니요.	이름	수량	그림
1	진공 척(O링 포함) (Ø19mm 그리고Ø60mm)	2개
2	중앙 포지셔너/로케이터(포지셔닝 스터드 4개 포함)	1개
3	에폭시 주입기/주사기(20ml)	1개
4	주입기/주사기 브래킷	1개
5	오일리스 진공 펌프	1개
6	고무파이프(클램프 포함)	1개