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고속 스핀 코팅기(10K rpm 및 최대 5")
VTC-100PA 진공 회전 Coater는 반도체 공정, 크리스탈, 광디스크, 제판, 표면코팅 등에 적합합니다. 강산성, 강알칼리성 코팅용액에도 사용 가능합니다. 장비에는 시료의 크기에 따라 크기가 다른(표준용) 두 개의 진공 척이 장착되어 있습니다. 장비는 12개의 프로그램 세트를 저장할 수 있으며 각 세트에는 6개의 실행 단계가 포함되어 있습니다.
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100°C 가열 커버를 갖춘 고속 스핀 코터
VTC-100PA-I 진공 회전 Coater는 반도체 공정, 크리스탈, 광디스크, 제판, 표면 코팅 등에 적합합니다. 강산성, 강알칼리성 코팅 용액에도 사용할 수 있습니다. 장비에는 시료의 크기에 따라 크기가 다른(표준용) 두 개의 진공 척이 장착되어 있습니다. 장비는 12개의 프로그램 세트를 저장할 수 있으며 각 세트에는 6개의 실행 단계가 포함되어 있습니다.
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200°C 가열 커버를 갖춘 고속 스핀 코터
VTC-100PA-II 진공 회전 Coater는 반도체 공정, 크리스탈, 광디스크, 제판, 표면코팅 등에 적합합니다. 강산성, 강알칼리성 코팅용액에도 사용 가능합니다. 장비에는 시료의 크기에 따라 크기가 다른(표준용) 두 개의 진공 척이 장착되어 있습니다. 장비는 12개의 프로그램 세트를 저장할 수 있으며 각 세트에는 6개의 실행 단계가 포함되어 있습니다.
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10000RPM 초고속 스핀코터
VTC-100PAX 진공 스핀 코터는 고성능 정밀 접착제 레벨링 기계입니다. 이는 고급 설계 개념을 채택하고 고정밀 및 고균일성 접착제 분배 작업을 위한 정밀 모션 제어 시스템과 협력합니다. 6개 그룹의 프로그램을 저장할 수 있으며 각 프로그램은 9단계에 도달할 수 있습니다. 속도, 가속도, 회전 시간 등과 같은 모든 작동 매개변수를 장치에서 쉽게 설정할 수 있습니다.
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20000RPM 초고속 스핀코터
VTC-100PAH 진공 회전 Coater는 반도체 공정, 크리스탈, 광디스크, 제판, 표면 코팅 등에 적합합니다. 진공 흡착 방식으로 시료를 고정하므로 시료를 자유롭게 채취하고 배치할 수 있습니다. 모터는 빠르고 안정적으로 시작하므로 코팅 두께의 일관성과 균일성을 보장할 수 있습니다.
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고속 스핀 코터(10K rpm 및 최대 5") 글러브박스에 사용
VTC-100PA-DC 진공 회전 Coater에는 다양한 크기의 진공척(표준용) 3개가 장착되어 있으며, 시료의 크기에 따라 다양한 진공척을 장착할 수 있습니다. 작업 중에 VTC-100-DC 진공 스핀 코터는 진공 플레이트 흡착 방식을 사용하여 샘플을 샘플 플레이트에 고정합니다. 장비는 속도를 제어하기 위해 2단계 프로그램을 사용합니다.
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