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20000 분당 회전수 초고속 스핀 코터
비티씨-100PAH 진공 스핀 코터는 반도체 공정, 크리스털, 광디스크, 제판 및 표면 코팅 등에 적합합니다. 진공 흡착 방식으로 샘플을 고정하여 자유롭게 채취하고 배치할 수 있습니다. 모터는 빠르고 안정적으로 작동하여 코팅 두께의 일관성과 균일성을 보장합니다.
- Shenyang Kejing
- 중국 선양
- 22일 근무
- 50세트
- 정보
제품 소개
비티씨-100PAH 진공 스핀 코터는 반도체 공정, 크리스털, 광 디스크 및 리소그래피 분야의 표면 코팅 준비를 위해 설계되었습니다. 고성능 정밀 스핀 코터인 비티씨-100PAH는 정밀 모션 제어 시스템과 결합된 첨단 설계 컨셉을 채택하여 고정밀 및 고균일 스핀 코팅 작업을 가능하게 합니다.
챔버는 폴리프로필렌으로 제작되어 뛰어난 내열성, 전기 절연성, 그리고 높은 내마모성 가공 성능을 자랑합니다. 챔버 자체는 진공이 불가능하며, 작동 중 진공 척과 가스 파이프라인이 외부 진공 펌프에 연결되어 샘플을 기판 홀더에 단단히 고정합니다. 이러한 구성 덕분에 작동이 간편하고 샘플 로딩 및 언로딩이 용이하며, 척 진공은 최대 -0.08 MPa까지 도달합니다.
회전 스핀들은 고속 브러시리스 DC 모터로 구동되어 저소음, 최소 진동, 부드러운 작동, 높은 신뢰성, 폭넓은 적응성, 그리고 간편한 유지보수를 제공합니다. 모터는 빠른 시동과 가속 후 안정적인 작동을 통해 균일하고 균일한 코팅 두께를 보장합니다.
간단한 작동, 편리한 세척, 컴팩트한 디자인을 갖춘 비티씨-100PAH 진공 스핀 코터는 대학과 연구소 실험실에서 박막 제조를 위해 널리 사용됩니다.
주요 특징:
1. 진공흡착방식으로 시료를 고정하므로 조작이 간편합니다.
2. 진공도는 -0.08MPa에 도달할 수 있습니다.
3. 샘플 사양에 따라 다양한 척을 사용할 수 있으며, 교체가 편리하고 간편합니다.
4. 높은 신뢰성, 강력한 적응성, 간단한 수리 및 유지 보수, 낮은 소음, 작은 진동, 안정적인 작동, 빠르고 안정적인 시동, 가속 후 안정적인 작동, 코팅 두께의 일관성 및 균일성 보장
5. 오일리스 평행봉 진공펌프는 크기가 작고, 구조가 간단하며, 조작이 간편하고, 유지관리가 편리하며, 환경오염이 없다는 장점이 있습니다.
6. 챔버는 화학적 부식에 대한 저항 능력과 우수한 응력 균열에 대한 저항 능력을 향상시키기 위해 더 긴 수명을 가진 폴리프로필렌 재질로 만들어졌으며, 기계 본체는 내구성이 뛰어나고 무게가 가벼운 주조 알루미늄 구조를 채택했습니다.
7. 진공 감지 기능과 덮개 열림 감지 기능을 갖추고 있으며, 상단 덮개에는 보호 잠금 장치가 있습니다.
8. 덮개 열림 방지 기능이 있습니다. 코팅 과정 중 또는 코팅 종료 시 상단 덮개가 열리면 기계가 즉시 감속하여 정지합니다.
9. 중국어/영어 전환 가능 운영 체제
10. 조작 인터페이스는 터치스크린을 채택하여 숫자 표시가 더욱 직관적이고 안정적입니다.
티기술적 매개변수:
제품명 | 비티씨-100PAH 진공 스핀 코터 | |
제품 모델 | 비티씨-100PAH | |
1. 온도 및 습도: 10–85%RH(25℃, 비응축); 온도: 0–45℃. 2. 환경: 장비 주변에 강한 진동원이나 부식성 가스가 없어야 합니다. 4. 전원 공급 장치: AC100–240V, 50/60Hz 10A. 5. 공기 공급: 진공 음압(진공 펌프)으로 펌핑 속도가 최소 70L/min입니다. 6. 작업대: 권장 크기 800×600×700mm, 하중 용량 ≥ 50kg(견고한 콘크리트 테이블이 좋습니다). 7. 환기: 특별한 요구 사항 없음. | ||
주요 매개변수 | 1. 장비 전원 공급 : DC24V 표준 어댑터 : 안에 AC100-240V 50/60Hz 밖으로 DC24V 15A 2. 전원: 150W(외부 진공 펌프는 포함되지 않음) 3. 메인 챔버(소재): 폴리프로필렌 + 아크릴 4.흡입컵 사양: 2인치, 4인치 5. 운영 프로그램: 16개의 운영 단계 포함 6. 속도 범위: 설정: 1500-20000rpm (증분 증가: 단위로 100rpm) 7. 각 섹션 증가 속도 설정 범위: 100rpm~6000rpm. 8. 감속 및 주차 속도 범위: 100rpm~3000rpm. 9. 시간 범위: 1~99초(설정 속도 범위: 1500~10000rpm) 1-60초(설정 속도 범위: 10000~20000rpm 이상) 10. 진공 인터페이스: 퀵 커넥트 커넥터, φ8 PU 튜브와 연결됨. 11. 조작 인터페이스 : 7인치 터치스크린 | |
제품 크기 및 무게 | 12. 제품 사양 · 치수 : 250mm×340mm×320mm · 무게 : 12kg | |
표준 액세서리:
| 아니요. | 이름 | 수량 | 그림 |
| 1 | 진공 척(O링 포함) (2인치와 4인치) | 2개 |  |
| 2 | 에폭시 주입기/주사기(20ml) | 1개 |  |
| 3 | 오일리스 진공 펌프 | 1개 |  |
| 4 | 어댑터 24V/15A | 1개 |  |
선택 사양 액세서리:
| 아니요. | 이름 | 기능 유형 | 그림 |
| 1 | 다른 사양의 진공 척 | (선택 과목) |  |
| 2 | 피펫(중국산) | (선택 과목) |  |
| 3 | 피펫(수입) | (선택 과목) |  |
보증:
1년 제한 보증, 평생 지원(부적절한 보관 조건으로 인한 녹슨 부품 제외)
기호 논리학:
