10000 분당 회전수 초고속 스핀 코터

비티씨-100PAX 진공 스핀 코터는 고성능 정밀 접착제 레벨링 기계입니다. 첨단 설계 컨셉을 채택하고 정밀 모션 제어 시스템과 연동하여 고정밀 및 고균일 접착제 도포 작업을 수행합니다. 6개 그룹의 프로그램을 저장할 수 있으며, 각 프로그램은 최대 9단계까지 설정할 수 있습니다. 속도, 가속도, 회전 시간 등 모든 작동 매개변수는 장치에서 간편하게 설정할 수 있습니다.

브랜드: Shenyang Kejing
제품 산지: 중국 선양
납품 가격: 22일 근무
공급 능력: 50세트

정보

제품 소개

비티씨-100PAX 진공 스핀 코터는 반도체 공정, 크리스털, 광디스크, 리소그래피 및 관련 분야의 표면 코팅 준비를 위해 설계되었습니다. 고성능 정밀 스핀 코터인 비티씨-100PAX는 첨단 설계 컨셉과 정밀 모션 제어 시스템을 결합하여 고정밀 및 고균일 코팅 작업을 가능하게 합니다.

이 시스템은 각각 9개의 순차적인 단계로 구성된 6개의 프로그램을 저장할 수 있습니다. 각 단계의 매개변수는 독립적으로 설정될 수 있으며, 이를 통해 코터는 최대 속도까지 점진적으로 가속됩니다. 이를 통해 재료 낭비를 최소화하면서 시료 표면에 균일한 박막 형성이 보장됩니다.

챔버는 폴리프로필렌으로 제작되어 뛰어난 내열성, 전기 절연성, 그리고 높은 내마모성을 자랑합니다. 챔버 자체는 진공 상태가 아니며, 작동 중 샘플은 로터 샤프트 가스 라인을 통해 외부 진공 펌프에 연결된 진공 척을 통해 기판 홀더에 단단히 고정됩니다. 이러한 구조 덕분에 작동이 간편하고 샘플 로딩/언로딩이 편리하며, 척 진공은 최대 -0.08 MPa까지 도달합니다.

회전 스핀들은 고속 브러시리스 직류 모터로 구동되어 저소음, 최소 진동, 부드러운 작동, 높은 신뢰성, 뛰어난 적응성, 간편한 유지보수를 제공합니다. 모터는 빠르게 시동되고 가속 후 안정적으로 작동하여 일관되고 균일한 코팅 두께를 보장합니다.

간단한 조작, 쉬운 세척, 컴팩트한 디자인 등의 장점을 갖춘 비티씨-100PAX 진공 스핀 코터는 대학과 연구 기관의 실험실에서 박막 제조에 널리 사용됩니다.

티나기술적 매개변수

제품명	비티씨-100PAX 진공 스핀 코터
제품 모델	비티씨-100PAX
설치 조건	1. 온도 및 습도: 10-85%RH(25℃에서 결로가 없을 것) 온도: 0-45℃. 2. 장비 주변에 강한 진동원이나 부식성 가스가 없어야 합니다. 3. 물: 장비에는 하수 배출구가 장착되어 있습니다. 4. 전기: 단상: AC220V 50Hz 10A. 5. 가스 : 진공 음압(진공 펌프) : 0.06-0.09Mpa 6. 작업대 : 800mm×600mm×700mm 권장 지지 중량 50kg 이상 (견고한 시멘트 플랫폼이 더 좋음) 7. 환기 장치 : 특별한 요구 사항 없음
주요 매개변수	1. 전원 공급 인터페이스: 보험이 있는 전원 소켓: AC220V 50Hz, 보험관 사양은 10A, φ5×20mm 2. 총 전력: ≤150W (외부 진공 펌프 제외) 3. 코팅 호스트 캐비티(소재): 폴리프로필렌 4. 샘플 트레이(흡착컵) : 폴리프로필렌 진공흡착컵 : 1인치(φ25 샘플 적용), 3인치(φ76 샘플 적용) 각 5. 동작 모드: 6세트의 프로그램을 저장할 수 있으며, 각 프로그램 세트에는 9개의 동작 단계가 포함되어 있습니다. 6. 코팅 속도: 500-10000rpm 효과적 7. 가감속률 : 증감속도 설정범위의 각 구간 : 100~2000rpm 8. 코팅 시간: 각 섹션 시간 범위: 0-999초 9. 속도 안정성: ±1% 10. 제어 모드: PCB 단일 칩 마이크로컴퓨터 키 제어 엘엠씨 액정표시장치 디스플레이
제품 크기 및 무게	11. 제품 사양 · 크기 : 270mm(폭) × 430mm(깊이) × 400mm(높이) · 무게 : 12kg