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고진공 마그네트론 플라즈마 스퍼터링 코터
1. 듀얼 타겟 마그네트론 스퍼터링 코터의 입력 전력은 220V/50Hz이고, 캐비티의 내경은 Ø300mm입니다.
2. 듀얼 타겟 마그네트론 스퍼터링 코터의 타겟 건 냉각 방식은 수냉을 채택합니다.
3. 듀얼 타겟 마그네트론 스퍼터링 코터의 가스 충진 시스템은 2-웨이 질량 유량계(1-웨이 아르곤 100scc, 2-웨이 아르곤 200scc)를 사용합니다. 특수 가스는 사용자 정의가 가능합니다.
- Shenyang Kejing
- 선양, 중국
- 10일 근무일
- 50세트
- 정보
듀얼 헤드 마그네트론 스퍼터링 코터 소개:
비티씨씨-600-2HD-1000 듀얼 헤드 마그네트론 스퍼터링 코터는 당사에서 새롭게 개발한 고진공 코팅 장비입니다. 단층 또는 다층 강유전체 필름, 전도성 필름, 합금 필름, 반도체 필름, 세라믹 필름, 유전체 필름, 광학 필름, 산화 필름, 경질 필름, 폴리테트라플루오로에틸렌 필름 등을 제조하는 데 사용할 수 있습니다. 듀얼 헤드 마그네트론 스퍼터링 코터에는 두 개의 타겟 건과 두 개의 전원 공급 장치가 장착되어 있으며, 하나의 RF 전원 공급 장치는 비전도성 재료의 스퍼터링 코팅에 사용되고 하나의 직류 전원 공급 장치는 전도성 재료의 스퍼터링 코팅에 사용됩니다. 듀얼 헤드 마그네트론 스퍼터링 코터에는 강자성 재료의 스퍼터링 코팅을 위한 강력한 자기 타겟이 장착될 수 있습니다. 유사한 장비와 비교할 때 듀얼 헤드 마그네트론 스퍼터링 코터는 크기가 작고 조작이 간편하며 사용할 수 있는 재료의 범위가 넓다는 장점이 있습니다. 실험실에서 다양한 재료 필름을 제조하는 데 이상적인 장비입니다.
듀얼 헤드 마그네트론 플라즈마 스퍼터링 코터의 장점:
1. 듀얼 헤드 마그네트론 플라즈마 스퍼터링 코터에는 두 개의 타겟 건이 장착되어 있습니다. 하나는 비전도성 타겟 재료의 스퍼터링 코팅을 위한 RF 전원 공급 장치가 있고, 다른 하나는 전도성 재료의 스퍼터링 코팅을 위한 직류 전원 공급 장치가 있습니다.
2. 듀얼 헤드 마그네트론 플라즈마 스퍼터링 코터는 다양한 박막을 제조할 수 있으며 응용 범위가 넓습니다.
3. 듀얼 헤드 마그네트론 플라즈마 스퍼터링 코터는 크기가 작고 조작이 매우 쉽습니다.
듀얼 타겟 마그네트론 스퍼터링 코터의 기술적 매개변수:
| 제품 이름 | 비티씨씨-600-2HD-1000 듀얼 헤드 마그네트론 스퍼터링 코터 |
| 제품 모델 | 비티씨씨-600-2HD-1000 |
| 설치 조건 | 본 장비는 25℃±15℃의 온도와 55%Rh±10%Rh의 습도에서 사용해야 합니다. 1. 물: 장비에는 자체 순환 냉각수 기계(순수 또는 탈이온수로 채워짐)가 장착되어 있습니다. 2. 전기 : AC220V 50Hz, 접지가 잘 되어 있어야 합니다. 3. 가스: 장비 챔버는 아르곤(순도 99.99% 이상)으로 채워야 하며, 아르곤 가스 실린더(Ø6mm 이중 페룰 커넥터 포함)와 감압 밸브를 직접 준비해야 합니다. 4. 작업대 : 크기 1500mm×600mm×700mm, 하중 지지 용량 200kg 이상. 5. 환기장치 : 필수. |
| 주요 매개변수 | 1. 입력 전원: 220V/50Hz. 2. 스퍼터링 타겟의 수 : 2개. 3. 챔버 내경 : Ø300mm. 4. 표적총의 냉각방식 : 수냉. 5. 최종 진공도: 9.0x10-4Pa. 6. 진공 챔버 사양: Φ300×330 mm. 7. 진공 시스템: VRD-16 기계식 펌프 FF-100/150 터보 분자 펌프. 8. 진공 회복: 시스템을 대기에서 5.0E-3pa≤30분으로 펌핑합니다(시스템을 단시간 대기에 노출시킵니다). 9. 팽창 시스템: 2방향 질량 유량계(1방향 아르곤 100scc, 2방향 아르곤 200scc) 특수 가스도 맞춤 제작 가능. 10. 스퍼터링 타겟 사양: Φ2", 두께 0.1-5mm (두께는 타겟 재료에 따라 다름). 11. 샘플 스테이지: Φ140mm/회전 가능(1-20rpm)/가열 가능(실온-1000℃). |
| 제품 사양 | 호스트 크기 : 폭 900mm × 깊이 650mm × 높이 1100mm |
우리에 대하여:
제품이 공장을 떠나기 전에 당사 직원은 제품의 정확성과 안정성을 보장하기 위해 포괄적인 테스트를 실시합니다. 동시에 당사는 전문적인 애프터 서비스 팀도 보유하고 있습니다. 제품에 대한 질문이 있으면 당사 팀이 적시에 답변하여 장비가 오랫동안 안정적으로 작동할 수 있도록 합니다.
