3개의 스퍼터링 소스를 갖춘 플라즈마 스퍼터링 코터

VTC-600-3HD 쓰리엘-머리 마그네트론 스퍼터링 Coater는 당사에서 새롭게 개발한 코팅 장비로 단층 또는 다층 강유전체막, 도전막, 합금막, 반도체막, 세라믹막, 유전체막 등을 제조하는데 사용됩니다. , 광학 필름, 산화 필름, 경질 필름, PTFE 필름 등 VTC-600-3HD 3헤드 마그네트론 스퍼터링 코터에는 3개의 타겟 건과 비전도성 재료의 스퍼터 코팅을 위한 1개의 RF 전원 공급 장치, 2개의 DC 전원이 장착되어 있습니다. 전도성 재료의 스퍼터 코팅용 소모품.

브랜드: Shenyang Kejing
제품 산지: 중국 선양
납품 가격: 22 영업일
공급 능력: 50세트

정보

주요 특징

1. 3개의 표적 Gun이 장착되어 있으며, 1개의 RF 전원은 비전도성 재료의 스퍼터 코팅에 사용되며, 2개의 DC 전원은 전도성 재료의 스퍼터 코팅에 사용됩니다. (표적 Gun은 고객의 요구에 따라 교체 가능) .

2. 다양한 용도로 다양한 박막을 제조할 수 있습니다.

3. 크기가 작고 조작이 쉽습니다.

4. 전체 기계의 모듈식 설계; 진공 챔버, 진공 펌프 그룹 및 제어 전원 공급 장치의 분리/분할형 설계로 사용자의 실제 요구에 따라 조정될 수 있습니다.

5. 사용자의 실제 필요에 따라 전원 공급 장치를 선택할 수 있습니다. 하나의 전원 공급 장치가 여러 개의 표적 총을 제어할 수 있거나 여러 전원 공급 장치가 하나의 단일 표적 총을 제어할 수 있습니다.

티기술적 매개변수

상품명	VTC-600-3HD 3개 헤드 마그네트론 스퍼터링 코터
제품 모델	VTC-600-3HD
설치 조건	본 장비는 고도 1000m 이하, 온도 25℃±15℃, 습도 55%Rh±10%Rh에서 사용해야 합니다. 1. 물: 장비에는 자체 순환식 물 냉각기가 장착되어 있습니다(순수 또는 탈이온수 충전). 2. 전기 : AC220V 50Hz, 접지가 양호해야합니다. 3. 가스: 장비 챔버에는 아르곤 가스(순도 99.99% 이상)가 채워져 있어야 하며, 아르곤 가스 실린더(Ø6mm 이중 페럴 조인트 포함)와 감압 밸브는 사용자가 준비해야 합니다. 4. 작업대: 크기 1500mm×600mm×700mm, 200kg 이상 베어링 5. 환기 장치: 필요
주요 매개변수 (사양)	1. 전원 전압 : 220V 50Hz 2. 전력: <2.5kW 3. 진공도 한계 : E-6mbar (당사 장비와 함께 사용시 E-5mbar 도달 가능) 4. 가열 온도: RT-500℃, 정확도 ±1℃ (온도는 실제 필요에 따라 증가될 수 있습니다.) 5. 표적 총의 수: 3 PC 6. 표적총의 냉각방식 : 수냉식 7. 대상 재료의 크기: Ø2″, 두께 0.1-5mm(다른 대상 재료로 인해 두께가 다름) 8. DC 스퍼터링 전력: 500W(옵션) 9. RF 스퍼터링 전력: 300W/500W(옵션) 10. 샘플 스테이지: Ø140mm, 고객 요구 사항에 따라 옵션 바이어스 전압 기능을 설치하여 더 높은 코팅 품질을 얻을 수 있습니다. 11. 샘플 스테이지 속도: 1rpm ~ 20rpm 내에서 조정 가능 12. 작동 가스: 아르곤, N₂및 기타 불활성 가스 13. 흡입 공기 경로: 질량 유량계는 2개의 공기 흡입 경로를 제어합니다. 하나는 100SCCM이고 다른 하나는 200SCCM입니다.
제품 크기 및 무게	주요 기계 치수: 500mm×560mm×660mm 전반적인 차원: 1300mm×660mm×1200mm 무게: 160kg
표준 액세서리	1. DC 전원 제어 시스템: 2 세트 2. RF 전력 제어 시스템: 1 세트 3. 필름 두께 모니터 시스템: 1 세트 4. 분자 펌프(독일에서 수입): 1개 5. 워터 쿨러: 1개 6.폴리에스테르 PU 파이프(Ø6mm) : 4m
옵션 액세서리	1. 금, 인듐, 은, 백금 등 다양한 타겟재료 2. 마스크 3. 진동 샘플 스테이지