싱글 헤드 고진공 마그네트론 플라즈마 스퍼터링 코터

제품 모델

비티씨-600-1HD

설치 조건

본 장비는 25℃±15℃의 온도와 55%Rh±10%Rh의 습도에서 사용해야 합니다.

1. 물: 장비에는 자체 순환식 물 냉각기(순수 또는 탈이온수로 채움)가 장착되어 있습니다.

2. 전기 : AC220V 50Hz, 접지가 잘 되어야 함

3. 가스: 장비 챔버는 아르곤 가스(순도 99.99% 이상)로 채워야 하며, 아르곤 가스 실린더(Ø6mm 이중 페룰 조인트 포함)와 감압 밸브는 사용자가 제공해야 합니다.

4. 작업대 : 크기 1500mm×600mm×700mm, 200kg 이상 지지

5. 환기 장치 : 필요

주요 매개변수

(사양)

1. 전원 전압 : 220V 50Hz

2. 전력 : <1kW (진공펌프 제외)

3. 챔버 내경: Ø300mm

4. 진공도 한계 : 9.0×10^-4잘

5. 샘플 스테이지 가열 온도: RT-500℃, 정확도 ±1℃ (실제 필요에 따라 온도를 높일 수 있습니다.)

6. 타겟포 수량 : 1개 (옵션으로 다른 수량도 가능)

7. 타깃포 냉각방식 : 수냉

8. 타겟 소재 크기 : Ø2″, 두께 0.1-5mm (타겟 소재에 따라 두께가 다름)

9. DC 스퍼터링 전력: 500W; RF 스퍼터링 전력: 300W (타겟 전원 공급 장치 유형은 선택 사항입니다: DC 전원 공급 장치 1개 또는 RF 전원 공급 장치 1개.)

10. 샘플 스테이지: Ø140mm, 고객 요구 사항에 따라 선택적 바이어스 전압 기능을 설치하여 더 높은 코팅 품질을 달성할 수 있습니다.

11. 샘플 스테이지 속도 : 1rpm~20rpm 이내에서 조절 가능

12. 작동 가스: 아르 및 기타 불활성 가스

13. 흡입 공기 경로: 질량 유량계는 2개의 공기 흡입 경로를 제어하는데, 하나는 100SCCM이고 다른 하나는 200SCCM입니다.

1. 주요 기계 치수: 500mm×560mm×660mm

2. 전체 치수: 1300mm×660mm×1200mm

3. 체중 : 160kg

4. 진공 챔버 크기: φ300×300mm