고진공 마그네트론 스퍼터링 코터

비티씨씨-1HD-제이에프2

1. 진공 챔버 : φ324X330

최대진공 8.0X10-5Pa (분자펌프시스템)

누설률 : 2.0x10-10Pa.m3/s

소재는 304 스테인리스 스틸 용접, 전기화학적 표면 연마 처리입니다.

활성 부분은 고무 씰 링으로 밀봉되어 있으며, 비활성 부분은 구리 씰 링으로 밀봉되어 있습니다.

동력 전달은 자기 결합 연결을 채택합니다.

진공 챔버에는 자기 제어 대상 위치, 증발 전극 세트(2개), 빔 소스로 작동하는 로 위치 2개(표준 1 빔 소스로 작동하는 로)가 있습니다.

φ150 유리 관찰창과 C35 플랜지 인터페이스가 있는 유량계 한 세트(아르곤 가스 한 세트)가 예약되어 있습니다.

2. 스퍼터링 타겟 헤드 : 2인치(φ50.8mm)

작동 진공 : 10Pa~0.2Pa.

타겟소재 활용률 : 씨씨씨35% (표준 3mm 구리 타겟, 타겟 표면 진공 0.5Pa)

최대 전력: <240W(완전 냉각)

절연전압 : >2000V (1500W 직류 전원공급)

3. 저항 증발:

증발 출력 전압: 교류 0-8V 지속적으로 조정 가능.

한계 증발 전류는 200A입니다.

최대 증발 전력 <1.6KW.

온도는 조절하거나 측정할 수 없습니다.

4. 빔소스로: 도가니 용량: 3CC.

가열 온도: 실온~800°C.

가열 온도는 측정, 조절 및 제어가 가능합니다.

온도 제어 정확도: ±0.5°C.

표준으로 방수판과 열전대가 장착된 석영 도가니입니다.

전원 공급 장치: 500W, 36V.

5. 샘플 스테이지 : φ120.

온도 조절: 실온 - 500°C.

속도: 1-20rpm.

샘플 스테이지는 수동으로 올리고 내릴 수 있으며, 최대 조정 스트로크는 50mm입니다.

6. 이큐-TM106-1 필름 두께 측정기.

1) 전원 공급 : 직류 5V (±10%), 최대 전류 400mA.

2) 주파수 분해능: ±0.03Hz.

3) 필름 두께 분해능: 0.0136Å(알루미늄).

4) 필름 두께 정확도: ±0.5%, 특히 센서 위치, 재료 응력, 온도 및 밀도와 같은 프로세스 조건에 따라 달라집니다.

5) 측정 속도: 100ms-1s/시간, 조정 가능.

6) 측정 범위: 500000Å(알루미늄).

7) 표준 센서 크리스털: 6MHz.

8) 컴퓨터 인터페이스 : RS-232/485 직렬 인터페이스 (통신 속도 1200, 2400, 4800, 9600, 19200, 38400 설정 가능, 데이터 비트: 8, 정지 비트: 1, 체크: 없음)

9) 아날로그 출력 : 8비트 분해능, PWM 펄스 폭 변조 출력(오픈 컬렉터 또는 내부 5V 출력)

10) 작업환경 : 온도 0~50℃, 습도 5%~85%RH, 결로 현상 없음.

11) 크기: 90mm×50mm×18mm.

9. 제품 사양:

크기 : 약 1300mm×660mm×1200mm.

무게 : 약 160kg.