고진공 마그네트론 스퍼터링 코터

1. 싱글 헤드 스퍼터링 코터의 최대 진공도는 8.0X10-5Pa에 도달할 수 있습니다.
2. 싱글 헤드 스퍼터링 코터는 증발 가열 보트 1개, 빔 소스로 2개의 스테이션(빔 소스로 1개가 표준), φ150 유리 관찰창이 있는 유량계 1세트(아르곤 가스 1세트)를 갖추고 있습니다.
3. 싱글 헤드 스퍼터링 코터를 수령하신 후에도 원격 안내 등 종합적인 애프터 서비스를 제공해 드립니다.

브랜드: Shenyang Kejing
제품 산지: 중국 선양
납품 가격: 10일 근무
공급 능력: 50세트

정보

고진공 마그네트론 스퍼터링 코터 소개:

비티씨-1HD-ZF2 고진공 마그네트론 스퍼터링 코터는 단일 타겟 마그네트론 스퍼터링 장비를 포함한 다기능 고진공 코팅 장비입니다. 고진공 마그네트론 스퍼터링 코터는 단층 또는 다층 강유전체막, 전도성막, 합금막, 반도체막, 세라믹막, 유전체막, 광학막, 산화막, 경질막, 폴리테트라플루오로에틸렌막 등을 제조하는 데 사용할 수 있습니다.

High vacuum magnetron sputtering coater

마그네트론 플라즈마 스퍼터링 코터의 장점:

1. 마그네트론 플라즈마 스퍼터링 코터에는 산소에 민감한 금속 박막(예: 티, 알, 오 등)의 증착에 특히 적합한 증착 가열 보트가 장착되어 있습니다. 마그네트론 플라즈마 스퍼터링 코터의 가열 보트 위에는 회전식 배플이 있으며, 빔 소스 퍼니스 스테이션 2개(빔 소스 퍼니스 1개는 기본 사양)가 있습니다. φ150 유리 관찰창이 있는 유량계 1세트(아르곤 가스 1세트)도 있습니다.

2. 마그네트론 플라즈마 스퍼터링 코터의 적용 범위: 페로브스카이트 소재, 2차원 소재, 태양광 전지 등의 장치 제작

3.3. 단일 헤드 전원 입력 스퍼터링 코터: AC220V/50Hz. 전력 <3.5KW.

마그네트론 플라즈마 스퍼터링 코터의 기술적 매개변수:

제품명	비티씨-1HD-ZF2 고진공 마그네트론 스퍼터링 코터
제품 모델	비티씨-1HD-ZF2
주요 매개변수	1. 진공 챔버 : φ324×330 얼티밋 진공 8.0×10^-5아빠(분자 펌프 시스템) 누출률: 2.0×10^-10팜³/에스 소재는 304 스테인리스 스틸 용접, 전기화학적 표면 연마 처리입니다. 활성 부분은 고무 씰 링으로 밀봉되고, 비활성 부분은 구리 씰 링으로 밀봉됩니다. 동력 전달은 자기 결합 연결을 채택합니다. 진공 챔버에는 자기 제어 대상 위치, 증발 전극 세트(2개), 빔 소스로 작동하는 퍼니스 위치 2개(표준 1 빔 소스로 작동하는 퍼니스)가 있습니다. φ150 유리 관찰창과 C35 플랜지 인터페이스가 있는 유량계 한 세트(아르곤 가스 한 세트)가 예약되어 있습니다.
	2. 스퍼터링 타겟 헤드 : 2인치(φ50.8mm) 작동 진공도: 10Pa~0.2Pa. 타겟 소재 활용률 : 쉿35% (표준 3mm 구리 타겟, 타겟 표면 진공 0.5Pa) 최대 전력: ＜240W (완전 냉각) 절연 전압 : ＞2000V (1500W DC 전원 공급 시)
	3. 저항 증발: 증발 출력 전압: AC 0-8V 연속 조정 가능. 최대 증발 전류는 200A입니다. 최대 증발 전력 ＜1.6KW. 온도는 조절하거나 측정할 수 없습니다.
	4. 빔 소스로: 도가니 용량: 3CC. 가열 온도: 실온 ~ 700°C. 난방 온도는 측정, 조절, 제어가 가능합니다. 온도 제어 정확도: ±0.5°C. 표준으로 방벽과 열전대가 장착된 석영 도가니입니다. 전원 공급 장치: 500W, 36V.
	5. 샘플 스테이지: φ120. 온도 조절: 실온 - 500°C. 속도: 1-20rpm. 샘플 스테이지는 최대 50mm의 조정 가능한 스트로크로 수동으로 올리고 내릴 수 있습니다.
	6. 이퀄라이저-TM106-1 필름 두께 측정기. 1) 전원 공급 : DC 5V (±10%), 최대 전류 400mA. 2) 주파수 분해능: ±0.03Hz. 3) 필름 두께 분해능: 0.0136Å(알루미늄). 4) 필름 두께 정확도: ±0.5%, 특히 센서 위치, 재료 응력, 온도 및 밀도와 같은 공정 조건에 따라 달라집니다. 5) 측정 속도: 100ms-1s/시간, 조정 가능. 6) 측정 범위: 500000Å(알루미늄). 7) 표준 센서 크리스털: 6MHz. 8) 컴퓨터 인터페이스: RS-232/485 직렬 인터페이스(통신 속도 1200, 2400, 4800, 9600, 19200, 38400 설정 가능, 데이터 비트: 8, 정지 비트: 1, 체크: 없음) 9) 아날로그 출력 : 8비트 분해능, PWM 펄스폭 변조 출력(오픈 컬렉터 또는 내부 5V 출력) 10) 작업 환경: 온도 0-50℃, 습도 5%-85%RH, 결로 현상이 없어야 합니다. 11) 크기: 90mm×50mm×18mm.
	7. 본 장비에는 냉각기(KJ5000 모델)가 기본으로 장착되어 있습니다. 고객님께서는 냉각기와 탈이온수 또는 정제수를 직접 준비하셔야 합니다.
	8. 전체 기기의 전원 입력: AC220V/50Hz. 전력 <3.5KW.
	9. 제품 사양: 크기: 약 1100mm×650mm×1100mm. 무게: 약 160kg.

회사 소개:

저희는 모든 제품이 국제 기준을 충족하도록 최첨단 생산 설비와 엄격한 품질 관리 시스템을 갖추고 있습니다. 특히, 단일 헤드 스퍼터링 코터는 산소에 민감한 금속 박막 증착에 특히 적합합니다. 안정적인 성능을 자랑하며 재료 연구 분야에서 널리 사용되고 있습니다. 저희 R&D 팀은 시장 수요와 고객 피드백을 결합하여 더욱 정확하고 효율적인 솔루션을 제공하기 위해 끊임없이 혁신하고 있습니다. 다년간의 업계 경험과 축적된 기술력을 바탕으로 업계에서 좋은 평판을 쌓았을 뿐만 아니라 많은 고객으로부터 높은 평가를 받고 있습니다.

Magnetron plasma sputtering coater