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고진공 박막 제조 장비
1. 박막 제조 도구는 선양 케징의 기술로 개발되었으며 내구성과 안정성이 뛰어납니다.
2. 회사 자체 공장에서 박막 제조 장비를 생산하고 테스트하여 품질과 코팅 수준을 보장합니다.
3. 우리는 전체 서비스를 제공하므로 안심하고 사용할 수 있으며 박막 제조 장비의 역할을 극대화할 수 있습니다.
- Shenyang Kejing
- 중국 선양
- 22일 근무
- 50세트
- 정보
연구를 위한 진공 코팅 장비 소개:
비티씨-600GD 마그네트론 스퍼터링 코팅 장비는 새롭게 독자 개발한 코팅 장비로, 단층 또는 다층 강유전체 박막, 전도성 박막, 합금 박막, 반도체 박막, 세라믹 박막, 유전체 박막, 광학 박막, 산화물 박막, 경질 박막, 폴리테트라플루오로에틸렌 박막 등을 제조하는 데 사용할 수 있습니다. 비티씨-600GD 마그네트론 스퍼터링 코팅 장비는 최대 4개의 타겟 건을 장착할 수 있으며, 비전도성 타겟 재료의 스퍼터링 코팅을 위한 RF 전원 공급 장치와 전도성 재료의 스퍼터링 코팅을 위한 DC 전원 공급 장치를 갖추고 있습니다. 마그네트론 스퍼터링 코팅 장비는 유사 장비에 비해 널리 사용될 뿐만 아니라 소형이고 조작이 간편하다는 장점이 있습니다. 특히 고체 전해질 및 OLED 관련 실험실 연구에 적합한 재료 박막의 실험실 제조에 이상적인 장비입니다.
연구를 위한 진공 코팅 장비의 주요 특징:
1. 최대 4개의 타겟 건을 선택할 수 있으며, 매칭되는 RF 전원 공급 장치는 비전도성 타겟 재료의 스퍼터링 코팅에 사용되고, 매칭되는 DC 전원 공급 장치는 전도성 재료의 스퍼터링 코팅에 사용됩니다(타겟 건은 고객 요구에 따라 자유롭게 교체 가능).
2. 다양한 종류의 박막을 제조할 수 있으며, 응용분야도 광범위합니다.
3. 연구용 진공코팅 장비는 크기가 작고 조작이 간편합니다.
4. 박막 제조 장비는 전체 기계가 모듈형으로 설계되었으며, 진공 챔버, 진공 펌프 그룹, 제어 전원 공급 장치는 분리형으로 설계되어 사용자의 실제 요구에 따라 조정할 수 있습니다.
5. 박막 제조 장비는 사용자의 실제 필요에 따라 전원을 선택할 수 있습니다. 하나의 전원 공급 장치로 여러 개의 표적 총을 제어할 수도 있고, 여러 개의 전원 공급 장치로 하나의 표적 총을 제어할 수도 있습니다.
연구를 위한 진공 코팅 장비의 기술적 매개변수:
제품명 | 비티씨-600GD 마그네트론 스퍼터링 코팅 장비 |
제품 모델 | 비티씨-600GD |
설치 조건 | 본 장비는 25℃±15℃의 온도와 55%Rh±10%Rh의 습도에서 사용해야 합니다. 1. 물: 연구용 진공 코팅 장비에는 자체 순환 냉각수 장치(순수 또는 탈이온수로 채워짐)가 장착되어 있습니다. 2. 전기 : AC220V 50Hz, 접지가 잘 되어야 함 3. 가스 : 장비 챔버는 아르곤(순도 99.99% 이상)으로 채워야 하며, 아르곤 가스 실린더(Ø6mm 이중 페룰 커넥터 포함)와 감압 밸브를 직접 준비해야 합니다. 4. 작업대 : 크기 1500mm×600mm×700mm, 하중 지지력 200kg 이상 5. 환기 장치 : 필수 |
주요 매개변수 | 1. 전원 전압: 220V 50Hz. 2. 총 전력: <3.5KW. 3. 챔버 내경: Ø300mm. 4. 얼티밋 진공 3.0x10-5잘. 5. 작동 온도: RT-500℃, 정확도 ±1℃(실제 필요에 따라 온도를 높일 수 있음). 6. 표적포의 수: 4개. 7. 표적총의 냉각방식 : 수냉. 8. 타겟 크기: Ø2″, 두께 0.1mm-5mm(두께는 타겟 소재에 따라 다름). 9. DC 스퍼터링 전력: 500W(옵션). 10. RF 스퍼터링 전력: 300W. 11. 샘플 스테이지: Ø140mm. 12. 샘플 단계 속도: 1rpm-20rpm 내에서 조정 가능. 13. 보호가스 : 아르, N2및 기타 불활성 가스. 14. 유입 가스 경로: 질량 유량계는 2개의 유입 경로를 제어하며, 1개의 유량은 100 SCCM이고, 1개의 유량은 200 SCCM입니다. |
15. 제품 사양: · 치수: ·본체 치수 : 850mm × 760mm × 660mm · 체중 : 190kg |
마그네트론 스퍼터링 코팅 장비의 표준 부속품:
| 아니요. | 이름 | 수량 | 그림 |
| 1 | DC 전력 제어 시스템(선택 과목) | 1세트 | - |
| 2 | RF 전력 제어 시스템 | 1세트 | - |
| 3 | 필름 두께 모니터 시스템 | 1세트 | - |
| 4 | 분자 펌프 | 1개 단위 | - |
| 5 | 냉각기 | 1개 단위 | - |
| 6 | 폴리에스터 PU 튜브(Ø6mm) | 4개월 | - |
박막 제조 장비의 옵션 액세서리:
| 아니요. | 이름 | 기능 | 그림 |
| 1 | 금, 인듐, 은, 백금 등 다양한 대상 | (선택 과목) | - |
| 2 | 강자성 재료의 스퍼터링 코팅에는 옵션으로 강력한 자기 타겟을 사용할 수 있습니다. | (선택 과목) | - |
보증:
1년 제한 보증, 평생 지원(부적절한 보관 조건으로 인한 녹슨 부품 제외)
기호 논리학:
회사 소개：
저희는 코팅 장비의 연구 개발 및 생산에 주력하는 첨단 기술 기업으로, 업계를 선도하고 있습니다. 모든 제품은 설계자에 의해 신중하게 설계되고 엄격한 테스트를 거쳤으며, 높은 수준의 장비 성능과 정확도를 자랑합니다. 저희는 단순히 제품 자체에만 집중하는 것이 아니라 기술 혁신과 고객 관계에도 주의를 기울이며, 전 세계 고객에게 최고 수준의 실험 장비를 제공하기 위해 최선을 다하고 있습니다.
상담부터 애프터서비스까지 모든 고객에게 최고의 서비스를 제공합니다. 저희 전문 팀은 고객님께 적합한 장비를 추천해 드리고, 제품 사용 중 기술 지원을 제공하며, 문의 사항에 답변하고, 프로젝트를 더욱 원활하게 진행할 수 있도록 도와드립니다. 저희는 오랜 경험을 바탕으로 더 많은 기업이 목표를 달성할 수 있도록 도울 수 있다고 확신합니다.
선양 케징은 실용적, 헌신적, 근면성, 팀워크, 신뢰성, 혁신적, 책임감, 고객 중심의 고품질 제품, 선진 서비스를 모토로 삼아 국내외 고객에게 뛰어난 제품과 서비스를 제공하기 위해 최선을 다하고 있습니다.
업계 동료 및 고객과의 긴밀한 관계를 유지하기 위해 국내외 주요 산업 전시회에도 적극적으로 참여하고 있습니다. 매년 여러 주요 산업 전시회에서 최신 기술과 제품을 선보이고 있습니다. 이러한 플랫폼을 통해 고객과 직접 소통하며 더 많은 사람들이 저희를 이해하고 지지해 줄 수 있습니다. 지난 몇 년간 이러한 플랫폼을 통해 많은 고객과 협력 계약을 체결해 왔습니다. 이는 단순히 저희의 성과를 보여주는 것뿐만 아니라, 업계와 더욱 가까워지는 중요한 기회이기도 합니다.
